专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]抛光设备-CN201610859516.0有效
  • 路新春;赵德文;许振杰;王同庆;李昆 - 清华大学;天津华海清科机电科技有限公司
  • 2016-09-28 - 2019-04-02 - B24B29/02
  • 本发明公开了一种抛光设备,包括:抛光装置,所述抛光装置包括:抛光盘以及位于所述抛光盘上表面的抛光垫,所述抛光装置沿所述抛光垫的中心轴线方向旋转;清洗装置,所述清洗装置位于所述抛光装置的上方,所述清洗装置设有至少一个向所述抛光垫喷射水的喷水孔,所述喷水孔的喷射方向与竖直方向呈一定夹角且与所述抛光装置的旋转方向相对。根据本发明实施例的抛光设备,喷水孔的喷射方向与竖直方向呈一定夹角且与抛光装置的旋转方向相对,从而提高了清洗装置的清洗效果,避免了晶片被刮伤,提高了晶片的产品质量。
  • 抛光设备
  • [发明专利]一种代码检查方法及装置-CN201610669614.8有效
  • 王同庆;黄河峰;崔晓军 - 中国银行股份有限公司
  • 2016-08-15 - 2019-02-19 - G06F11/36
  • 本发明提供了一种代码检查方法及装置,所述代码检查方法包括:获取待修改代码文件列表;根据预设的代码分析规则,对所述待修改代码文件列表进行错误类检查、警告类检查及提示类检查,生成检查结果并输出。利用本发明可扫描待修改代码文件列表中的所有代码,将其中不符合开发规范的代码检查出来,可以纠正网银开发人员开发过程中不好的编码习惯,使其向标准的编码规范靠拢,进而提升代码质量,提高了代码检查的效率,其并缩短代码检查时间。另外,本发明实施例提供的代码检查装置采用Eclipse插件开发的方式,投入少、见效快、可定制、源码开放,可以满足目前及以后网银代码复查的要求。
  • 一种代码检查方法装置
  • [发明专利]抛光设备的抛光平面度控制方法、装置和抛光设备-CN201710774883.5有效
  • 张敬业;路新春;沈攀;王同庆 - 清华大学;天津华海清科机电科技有限公司
  • 2017-08-31 - 2019-01-18 - B24B37/005
  • 本发明公开了一种抛光设备的抛光平面度控制方法、装置和抛光设备。该方法包括以下步骤:对抛光设备所加工的晶圆的多个施压区域分别施加对应的抛光压力以进行抛光处理;获取多个施压区域中每个施压区域的抛光厚度,并获取抛光时间;根据每个施压区域的抛光厚度和抛光时间计算每个施压区域的实际去除速率;根据每个施压区域的实际去除速率和对应的基准去除速率计算每个施压区域的去除速率漂移量;根据每个施压区域的去除速率漂移量调整抛光液的落点位置。根据本发明的抛光设备的抛光平面度控制方法,可以延长抛光垫的使用周期、提高抛光设备的使用效率、降低生产成本、提高晶圆的良品率,且简单有效、稳定性高。
  • 抛光设备平面控制方法装置

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