专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
专利下载VIP
公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
更多 »
专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
更多 »
钻瓜专利网为您找到相关结果46个,建议您升级VIP下载更多相关专利
  • [发明专利]集成SBD的碳化硅平面MOSFET及其制造方法-CN202211250200.3在审
  • 陈显平;钱靖 - 深圳平创半导体有限公司;重庆平创半导体研究院有限责任公司
  • 2022-10-13 - 2022-11-11 - H01L29/06
  • 本发明涉及功率半导体技术领域,具体提供一种集成SBD的碳化硅平面MOSFET及其制造方法,其中方法包括:N型衬底,在N型衬底上生长N型外延层;在N型外延层上离子注入JFET区;在N型外延层上离子注入两个Pwell区;在两个Pwell区上分别离子注入P+区;在两个Pwell区上分别离子注入N+区;在两个Pwell区上分别离子注入沟道区;刻蚀栅极结构;在两个栅极结构之间形成肖特基接触区;肖特基接触区与栅极结构之间设有绝缘氧化层;在P+区、部分N+区的上方以及N型衬底的下表面金属溅射欧姆接触区;在栅极结构和位于P+区、部分N+区的上方的欧姆接触区的上方金属淀积第一金属层形成源极、栅极金属接触;在N型衬底下表面的欧姆接触区的下表面淀积第二金属层形成漏极金属接触。
  • 集成sbd碳化硅平面mosfet及其制造方法
  • [发明专利]碳化硅JFET器件结构及其制备方法-CN202210849869.8有效
  • 陈显平;钱靖 - 深圳平创半导体有限公司;重庆平创半导体研究院有限责任公司
  • 2022-07-20 - 2022-10-21 - H01L29/06
  • 本发明涉及半导体功率器件技术领域,提供一种碳化硅JFET器件结构及其制备方法,包括自下而上依次设置的碳化硅N+衬底、碳化硅N‑第一外延层、P基区、碳化硅N‑第二外延层、P+欧姆接触区和P+栅极注入区、栅电极区、绝缘介质层、发射极欧姆接触层和发射极肖特基接触层,并且在碳化硅N+衬底下方和绝缘介质层、发射极欧姆接触层、发射极肖特基接触层上方设置金属电极。本发明设置双外延结构,在第一外延层嵌入P基区,第二外延层嵌入P+栅极注入区,两者之间形成导电沟道结构,减少栅极氧化层结构,降低器件导通损耗,减少反向漏电流;同时形成肖特基二极管结构,能提升器件反向恢复损耗。
  • 碳化硅jfet器件结构及其制备方法
  • [发明专利]沟槽型SiC JFET器件及其制备方法-CN202210525584.9有效
  • 陈显平;钱靖 - 深圳平创半导体有限公司;重庆平创半导体研究院有限责任公司
  • 2022-05-16 - 2022-08-16 - H01L29/808
  • 本发明涉及功率半导体技术领域,具体提供一种沟槽型SiC JFET器件及其制备方法,其中器件包括:漏极金属层;N+型衬底层,形成在漏极金属上,形成器件的背面漏极欧姆接触;N型缓冲层,形成在N+型衬底层上;N‑型漂移区,形成在N型缓冲层上,并且其远离N型缓冲层的一侧具有两个对称的离子注入区;P型掺杂区,形成在N‑型漂移区的两个离子注入区的侧壁上;P+欧姆接触区,形成在P型掺杂区上;栅极金属层,形成在P+欧姆接触区上;N+欧姆接触区,位于P+欧姆接触区之上,连接P型掺杂区和N‑型漂移区;源极金属层,形成在所述N+欧姆接触区上;所述N‑型漂移区上的两个所述离子注入区之间通过两个离子注入区中形成的P型掺杂区和P+欧姆接触区形成垂直沟道。
  • 沟槽sicjfet器件及其制备方法

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top