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- [发明专利]一种多色化微型LED阵列及其制作方法-CN201810732702.7有效
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武良文
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江西兆驰半导体有限公司
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2018-07-05
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2022-04-01
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G09F9/302
- 本发明公开一种多色化微型LED阵列及其制作方法,包括目标基板和微型LED转移单元,其中:所述复数个的微型LED转移单元以固定的规则排列于所述目标基板上,所述微型LED转移单元由两种或两种以上不同发光波长的发光元件构成,通过多个发光元件的组合,实现多色发光的功能,所述发光元件包括外延层、导电电极层和焊接层,所述外延层之间通过焊接层相互连接。本发明的优点:通过外延片焊接的方式将多种波长的外延层整合在同一晶圆片上,后续经芯片制程可实现不同波长的发光LED在同一晶圆片上,并可将不同波长的发光LED整合成一个转移单元,后续微型LED芯片转移可一次转移一个转移单元,提高微型LED阵列转移效率。
- 一种多色微型led阵列及其制作方法
- [发明专利]一种紫外发光二极管外延结构层的制备方法-CN201810765799.1有效
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武良文
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江西兆驰半导体有限公司
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2018-07-12
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2021-07-30
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H01L33/00
- 本发明公开一种紫外发光二极管外延结构层的制备方法。本发明包括通过溅射镀膜的方式实现在蓝宝石基板上依次生长出的AlN缓冲层、非掺杂AlN薄膜层、n型掺杂AlN层以及通过MOCVD方式生长的有源层,和通过溅射镀膜的方式生长的p型掺杂AlN层。本发明的优点:通过物理溅射的方式生长MOCVD不易生长的高质量AlN材料并实现了n型Si掺杂和p型Mg掺杂,在此基础上,MOCVD生长更高Al含量的AlGaN有源层更易实现,让紫外发光二极管可以发出更短波长的紫外光,这些不仅简化了紫外发光二极管的外延结构设计,降低了紫外发光二极管的制备难度,还因为不用制作会吸收紫外光的p型掺杂GaN欧姆接触外延层而提高了紫外发光二极管的整体出光效率。
- 一种紫外发光二极管外延结构制备方法
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