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[发明专利]焦点探测装置及方法-CN202010901393.9有效
发明人： 李道萍 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2020-08-31 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明提供一种焦点探测装置及方法，成像单元将照明光束会聚至被测工件并产生调焦光束进入探测单元，通过沿光轴方向平移所述探测单元中的第一聚焦透镜或针孔光阑，以改变所述第一聚焦透镜和所述针孔光阑的相对位置，并通过标尺记录所述第一聚焦透镜或所述针孔光阑的平移位置，根据探测器获取透过所述针孔光阑的光功率建立被测工件的离焦量与所述标尺的读数的函数关系，进而获取被测工件的离焦位置。本发明提供的焦点探测装置，对于不同反射率的被测工件都能够准确判断其离焦位置，具有较强的工艺适应性。
焦点探测装置方法

[发明专利]调焦调平装置及光刻机-CN202110736679.0在审
发明人：彭俊;李道萍;孙建超;王晓庆;陈小娟;庄亚政;徐荣伟 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种调焦调平装置及光刻机，扫描反射组件包括驱动单元及驱动单元，反射镜单元具有一个或至少两个周向分布的反射面，驱动单元通过驱动反射镜单元旋转以将投影光斑扫描成像在基底的表面，无需克服反射镜单元自身质量产生的惯性，通过提高旋转速度即可提高调制频率，进而提高调焦调平装置的探测信噪比，并降低测量误差，且当反射镜单元具有至少两个反射面时，反射镜单元旋转一圈可以提供多次光强调制，从而进一步提高调制频率。
调焦平装光刻

[发明专利]调焦调平装置及光刻机-CN202110739483.7在审
发明人：彭俊;李道萍;孙建超;王晓庆;陈小娟;庄亚政;徐荣伟 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种调焦调平装置及光刻机，投影微镜阵列组件的j个投影微镜组将入射至其上的所述检测光束转换为j个投影光斑并投影成像在基底的表面，探测微镜阵列组件的j个探测微镜组分别将j个探测光斑分光后形成j个第一标记光斑和j个第二标记光斑，投影微镜阵列组件和探测微镜阵列组件空间同步调制，根据需要改变j的大小以及j个所述投影微镜组和j个探测微镜组的位置即可改变投影光斑、第一标记光斑和第二标记光斑的数量和位置，可以减少调焦调平装置测量过程中因基底的表面采用了不同工艺图案和工艺膜系所导致的工艺适应性误差。
调焦平装光刻

[实用新型]焦点探测装置、检测装置及光刻机-CN202121482197.9有效
发明人： 李道萍;彭俊 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型提供一种焦点探测装置、检测装置及光刻机。其中，在第一光偏转器的作用下，光照偏离光轴且呈一定的倾斜角传播。并且第一光偏转器可自转调节，增大测量范围，使得待测物表面不同位置处都可以检测到。同时，因能扫描待测物表面的多个位置，故可以采用缩小光斑直径的方式提高测量灵敏度。此外，在第二光偏转器的作用下，光照会恢复至与光轴重合的状态，以保证对第一探测器及第二探测器的探测没有影响。因此，本实用新型不仅扩大检测范围，提高检测的精度及灵敏度，还能测量出待测物表面多个位置处与物镜之间的垂向距离，进而测出待测物的倾斜角，更加精准地定位待测物，利于在检测关键尺寸及套刻误差时调整待测物的位置，提高检测精度。
焦点探测装置检测光刻

[发明专利]掩模对准标记组合、掩模对准系统及对准方法、光刻装置-CN201911144194.1有效
发明人： 李道萍;孙建超 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2019-11-20 - 公布日： 2021-08-27 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种掩模对准标记组合、掩模对准系统及对准方法、光刻装置，掩模板的X方向和Y方向均包括两组对准标记，X方向上的两组对准标记及Y方向上的两组对准标记均关于掩模板的中心对称设置，在进行掩模对准时，辐射探测组件接收依次经过掩模对准标记组合、投影组件及基准参考标记组合的对准光束，并得到对应每组对准标记的对准位置信息，计算组件可以根据多个所述对准位置信息得到所述基准板的位姿信息，而所述基准板的位姿信息能够更准确的表达所述基准板与所述掩模板的相对位置关系。
对准标记组合系统方法光刻装置

[发明专利]一种焦点探测信号调制装置及方法-CN201911380243.1在审
发明人： 李道萍;庄亚政;季桂林 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2019-12-27 - 公布日： 2021-06-29 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种焦点探测信号调制装置及方法，焦点探测信号调制方法为一种差分测量方案，根据调制组件对调焦光束进行调制，提取出每一个离焦位置对应的光功率的差分信号，标定出每一个物方离焦位置与差分信号的关系。根据标定的差分信号与离焦量的关系，通过获取预设时间间隔内的光功率计算得到差分信号，反推得到物方离焦量。本发明提供的一种焦点探测信号调制方法，可运用在多种应用场合，如焦点探测，三维重构等，能够显著提升测量信噪比，提高调焦精度。本发明提供的焦点探测信号装置易于实现，操作简单。
一种焦点探测信号调制装置方法

[发明专利]一种投影镜头-CN201710840184.6有效
发明人：张婧京;李润芝;江剑宇;李道萍;王雅楠;黄鹏程 -专利权人：上海理鑫光学科技有限公司
申请日： 2017-09-18 - 公布日： 2020-04-03 - 主分类号： G02B13/18 文献下载
摘要：本发明实施例涉及光学成像技术，公开了一种投影镜头。投影镜头包括：显示芯片，用于调制从照明系统来的光束，以显示微图像；棱镜，用于将照明系统出来的光线全反射到所述显示芯片上；所述折射透镜组，用于平衡所述微图像经所述折射透镜组所成图像的像差；反射镜组，用于转折光路，并校正所述折射透镜组所成图像的残留像差。本发明实施例的技术方案，实现在降低投射比的前提下，保证加工精度，控制加工的成本。
一种投影镜头

[发明专利]基于衍射光学元件的激光雷达多点测距系统-CN201610810425.8有效
发明人：杨波;李道萍;李润芝;潘政行;王雅楠;张婧京;江剑宇;黄鹏程 -专利权人：上海理鑫光学科技有限公司
申请日： 2016-09-08 - 公布日： 2019-10-11 - 主分类号： G01S17/08 文献下载
摘要：本发明涉及机械技术领域。基于衍射光学元件的激光雷达多点测距系统，包括一激光信号发射装置、一激光信号接收装置、一信号处理系统，信号处理系统均连接激光信号发射装置与激光信号接收装置，激光信号发射装置包括脉冲激光器，脉冲激光器的发光方向上依次设有一准直系统、扩束系统、衍射光栅、半透半反镜；脉冲激光器的发光方向位于半透半反镜的透射方向上，半透半反镜的反射方向上设有激光信号接收装置。本发明通过衍射光栅将脉冲激光器发射出的激光为多个等角度或不等角度的光束，经半透半反镜透射后朝向待测距介质，并经待测距介质反射后，经半透半反镜反射至激光信号接收装置。
基于衍射光学元件激光雷达多点测距系统

[发明专利]一种大视场多点三维振动测量方法-CN201710067567.4有效
发明人： 李道萍;杨波;张婧京;李润芝;江剑宇;黄鹏程 -专利权人：上海理工大学
申请日： 2017-02-07 - 公布日： 2019-08-30 - 主分类号： G01H9/00 文献下载
摘要：一种大视场多点三维振动测量方法，分析两个不同位置的相机拍摄到振源的视频的图像上的的标志点来测量振源的振动频率和振幅，包括以下步骤：步骤一，对同一个相机采集到的视频中图像中的标志点进行特征匹配；步骤二，对两个相机在同一时刻采集到的视频中图像的标志点进行特征匹配；步骤三，将步骤一和步骤二中得到的特征匹配结果进行分析运算，根据标志的坐标变化和图像的间隔计算得到振源的振动频率和振幅。通过分析两个不同位置的相机拍摄到振源的视频的图像上的的标志点来测量振源的振动频率和振幅，只需要使用高速相机作为采集元件来进行信号采集就可以通过本发明的测量方法来测量计算得到目标物体的振动信息。
一种视场多点三维振动测量方法

[发明专利]紧凑型测距望远镜-CN201610323544.0有效
发明人： 李道萍;张婧京;李润芝 -专利权人：上海理鑫光学科技有限公司
申请日： 2016-05-16 - 公布日： 2019-03-29 - 主分类号： G02B23/02 文献下载
摘要：本发明涉及测距装置技术领域。紧凑型测距望远镜，包括望远镜主体，望远镜主体包括一壳体，壳体上设有目镜，壳体内设有一激光测距模块，激光测距模块包括红外发射器、红外接收器，红外接收器连接一信号处理模块，信号处理模块连接一用于显示测量距离的显示屏；显示屏位于壳体内，显示屏发出的光线朝向目镜。本发明优化了传统测距望远镜，缩小了体积的同时，保证测距精度。
紧凑型测距望远镜

[发明专利]一种彩色全息聚合物分散液晶光栅的制备方法-CN201510407609.5有效
发明人：王康妮;郑继红;高辉;陆飞跃;李道萍;桂坤;陈轶阳;王青青;郑拓;庄松林 -专利权人：上海理工大学;上海罗曼照明科技股份有限公司
申请日： 2015-07-13 - 公布日： 2018-06-26 - 主分类号： G02F1/1334 文献下载
摘要：本发明涉及一种彩色全息聚合物分散液晶光栅的制备方法，搭建多波段曝光光路，使用反射式液晶空间光调制器，在其上加载不同黑白条纹图片，制备不同子光栅，实现在曝光时无需对光路的器件做任何的移动，方便快捷，重复率高；另外由于采用红绿蓝三原色激光曝光，并且曝光角度保持不变，根据全息记录和再现原理，使得显示器上R、G、B三种颜色光均能以相同的出射角度出射，实现无色差的立体显示图像分束；使用的聚合物分散液晶材料为多光引发剂与协引发剂共同作用的材料，最终所得的聚合物分散液晶材料具有可在红光632.8nm、绿光532nm、蓝光441.6nm等多波段曝光的特性。实现立体显示中的左、右眼图像分束功能。具有较高的图像分束效果且完全无色差的优点。
分束制备聚合物分散液晶材料聚合物分散液晶光栅彩色全息立体显示多波段无色出射曝光图像红绿蓝三原色空间光调制器反射式液晶光引发剂黑白条纹激光曝光角度保持曝光光路全息记录三种颜色协引发剂右眼图像重复率子光栅红光加载蓝光绿光显示器移动图片

[发明专利]一种基于mems的曲面反射式超短焦投影镜头-CN201610119047.9有效
发明人：杨军;张婧京;李道萍;潘政行 -专利权人：上海理鑫光学科技有限公司
申请日： 2016-03-02 - 公布日： 2018-04-27 - 主分类号： G03B21/14 文献下载
摘要：本发明涉及光学领域。一种基于mems的曲面反射式超短焦投影镜头，包括一短焦投影镜头主体，短焦投影镜头主体包括一激光光源模块、一扫描模块、一自由曲面反射镜；激光光源模块发出的光线依次途径扫描模块、自由曲面反射镜。本发明具有足够的光强度，分辨率高、色域广。激光光源模块的出射光入射至激光扫描模块，然后经扫描模块出射后入射至自由曲面反射镜上，经自由曲面反射镜反射至屏幕上，实现投影。
一种基于 mems 曲面反射超短投影镜头

[发明专利]设有激光投影机的焊接装置及焊接方法-CN201610296814.3有效
发明人：王雅楠;张婧京;李道萍;李润芝 -专利权人：上海理鑫光学科技有限公司
申请日： 2016-05-06 - 公布日： 2018-04-13 - 主分类号： B23K26/21 文献下载
摘要：本发明涉及机械领域。设有激光投影机的焊接装置，包括焊接装置主体，焊接装置主体包括激光投影机，激光投影机包括一半导体激光器，半导体激光器的发光方向朝向待焊接工件，待焊接工件通过激光投影机焊接。本发明通过采用激光投影机进行激光焊接，光束在空间中自由传播，无需光纤导光，系统结构简单，可靠性高。适用性广，不同工件工件的焊接只需要更改投影图样，预制件成本极低。设备成本低，相对于激光导轨焊接，没有复杂的导轨运动机构，相对于光纤导光焊接，无需预制光纤分光导波器件及固定装夹机构，设备硬件构成成本低，且日常使用维护成本低。
设有激光投影机焊接装置方法

[实用新型]一种超短焦投影镜头-CN201721169002.9有效
发明人：张婧京;李润芝;江剑宇;李道萍;王雅楠;黄鹏程 -专利权人：上海理鑫光学科技有限公司
申请日： 2017-09-13 - 公布日： 2018-04-03 - 主分类号： G02B13/00 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开了一种超短焦投影镜头。该超短焦投影镜头包括显示芯片，用于调制从投影机照明系统出射的光束，以显示微图像，且用于充当投影镜头的物面；第一透镜组，设置于所述显示芯片的成像光路上，用于平衡所述投影镜头的像差；孔径光阑，设置于所述第一透镜组之后，用于限制成像光束；第二透镜组，设置于所述孔径光阑之后，用于平衡所述投影镜头的像差；非球面反射镜，设置于所述第二透镜组之后，用于校准所述第一透镜组和所述第二透镜组的场曲和畸变，并反射成像光束，使图像成像于屏幕上。本实施例提供的超短焦投影镜头，能够实现短距离投影大图像，并且提高成像质量。
一种超短投影镜头

[实用新型]一种大视场多点三维振动测量装置-CN201720114033.8有效
发明人： 李道萍;杨波;张婧京;李润芝;江剑宇;黄鹏程 -专利权人：上海理工大学
申请日： 2017-02-07 - 公布日： 2017-09-12 - 主分类号： G01H9/00 文献下载
摘要：一种大视场多点三维振动测量装置，用于测量振源的振动，其特征在于，包括测量平板，用于和振源固定连接；至少一个回返膜标志，贴在测量平板上；至少两台正对着测量平板设置的相机，用于拍摄测量平板和回返膜标志，并形成图像；光源，朝向测量平板设置；数据采集处理装置，与相机连接，接收采集到的图像并处理得到振动的参数，其中，相机为高速相机，且该高速相机具有大视场镜头。通过分析两个不同位置的相机拍摄到振源的视频的图像上的标志点来测量振源的振动频率和振幅，只需要使用高速相机作为采集元件来进行信号采集就可以通过本实用新型的测量方法来测量计算得到目标物体的振动信息。
一种视场多点三维振动测量装置

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