专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种冷光源曝光机-CN202022484676.6有效
  • 李健儿;冯永;胡仲波;敬春云;宋勇;王一超;李慕轩 - 四川上特科技有限公司
  • 2020-10-30 - 2021-06-15 - G03F7/20
  • 一种冷光源曝光机,包括支架、载片台、曝光机构和竖向调节机构,载片台水平固定于支架的下端,竖向调节机构用于调节曝光机构的高度,曝光机构包括紫外灯源、多面镜组、反光镜组、机械快门和罩壳,多面镜组和反光镜组均置于罩壳内,多面镜组包括若干呈环形均匀紧密布置的反光片,紫外灯源置于多面镜组的中心点位置处,反光镜组包括第一反光镜和第二反光镜,第一反光镜与第二反光镜平行对峙布置、并与水平方向呈夹角45°布置,第一反光镜置于紫外灯源正下方,机械快门横置于第一反光镜和第二反光镜之间,第二反光镜正下方还设有准直镜。其避免了曝光机载片台上热面积累积,提高了曝光效率,大大降低了紫外光的能量衰减,扩大了曝光面积。
  • 一种光源曝光
  • [实用新型]一种半导体芯片裂片机-CN202022481501.X有效
  • 李健儿;冯永;胡仲波;敬春云;宋勇;王一超;李慕轩 - 四川上特科技有限公司
  • 2020-10-30 - 2021-05-04 - H01L21/78
  • 本实用新型公开了一种半导体芯片裂片机,包括机体和滑动连接于该机体的龙门架;以及轧辊,用于辊压芯片;以及升降辊架,配置于该龙门架、连接于该轧辊;还包括一对调节装置,配置于该龙门架与该升降辊架之间、用于调整该轧辊的水平角度;该对调节装置对称配置于该轧辊的两端;一对距离检测装置,配置于该龙门架、分别对应于该轧辊的两端;该对距离检测装置设置于同一高度,该距离检测装置用于检测该轧辊两端部之间的高度差。本实用新型能够提高轧辊水平角度的调整效率,提高轧辊水平角度的调整精度,在生产过程中实现轧辊水平角度的快速调整,提高生产效率。
  • 一种半导体芯片裂片
  • [实用新型]一种硅片清洗系统-CN202022483281.4有效
  • 李健儿;冯永;胡仲波;敬春云;宋勇;王一超;李慕轩 - 四川上特科技有限公司
  • 2020-10-30 - 2021-05-04 - H01L21/677
  • 本实用新型涉及硅片处理领域,公开了一种硅片清洗系统,包括依次连接的上料机构和清洗机构,上料机构包括规整筒,规整筒上方设有水平滑轨,水平滑轨滑动连接有升降杆,升降杆底端连有取料吸盘,还包括平料传送带,平料传送带终端设有立片导槽,立片导槽终端竖直向下,立片导槽下方设有竖料传送带,竖料传送带设有立片传送槽,立片传送槽槽宽与硅片厚度相匹配,立片传送槽的槽壁与槽底均铺设有软质层,清洗机构包括清洗池,清洗池上方通过升降机构连有清洗框,清洗框的入口与竖料传送带终端匹配,清洗框内平行设有若干插片槽。其能够自动上料,使硅片平行且间隔地插入清洗框,有效提升清洗效率,降低人工成本,避免硅片表面污染。
  • 一种硅片清洗系统
  • [发明专利]一种硅片清洗系统-CN202011196895.2在审
  • 李健儿;冯永;胡仲波;敬春云;宋勇;王一超;李慕轩 - 四川上特科技有限公司
  • 2020-10-30 - 2021-02-02 - H01L21/677
  • 本发明涉及硅片处理领域,公开了一种硅片清洗系统,包括依次连接的上料机构和清洗机构,上料机构包括至少一条平料传送带,平料传送带终端设有立片导槽,立片导槽终端竖直向下,立片导槽下方设有竖料传送带,竖料传送带沿传送方向设有至少一条立片传送槽,立片传送槽槽宽与硅片厚度相匹配,立片传送槽与立片导槽终端平行且一一对应,清洗机构包括清洗池,清洗池上方通过升降机构连有清洗框,以使清洗框能够进出清洗池,清洗框的入口与竖料传送带终端匹配,清洗框内平行设有若干插片槽,插片槽与立片传送槽平行且一一对应。其能够自动上料,使硅片平行且间隔地插入清洗框,有效提升清洗效率,降低人工成本,避免硅片表面污染。
  • 一种硅片清洗系统
  • [发明专利]一种半导体芯片裂片机-CN202011196888.2在审
  • 李健儿;冯永;胡仲波;敬春云;宋勇;王一超;李慕轩 - 四川上特科技有限公司
  • 2020-10-30 - 2021-01-08 - H01L21/78
  • 本发明公开了一种半导体芯片裂片机,包括机体和滑动连接于该机体的龙门架;以及轧辊,用于辊压芯片;升降辊架,配置于该龙门架、连接于该轧辊;还包括一对调节装置,配置于该龙门架与该升降辊架之间、用于调整该轧辊的水平角度;该对调节装置对称配置于该轧辊的两端;一对距离检测装置,配置于该龙门架、分别对应于该轧辊的两端;该对距离检测装置设置于同一高度,该距离检测装置用于检测该轧辊两端部之间的高度差。本发明能够提高轧辊水平角度的调整效率,提高轧辊水平角度的调整精度,在生产过程中实现轧辊水平角度的快速调整,提高生产效率。
  • 一种半导体芯片裂片
  • [发明专利]一种冷光源曝光机-CN202011192267.7在审
  • 李健儿;冯永;胡仲波;敬春云;宋勇;王一超;李慕轩 - 四川上特科技有限公司
  • 2020-10-30 - 2021-01-05 - G03F7/20
  • 一种冷光源曝光机,包括支架、载片台、曝光机构和竖向调节机构,载片台水平固定于支架的下端,竖向调节机构用于调节曝光机构的高度,曝光机构包括紫外灯源、多面镜组、反光镜组、机械快门和罩壳,多面镜组和反光镜组均置于罩壳内,多面镜组包括若干呈环形均匀紧密布置的反光片,紫外灯源置于多面镜组的中心点位置处,反光镜组包括第一反光镜和第二反光镜,第一反光镜与第二反光镜平行对峙布置、并与水平方向呈夹角45°布置,第一反光镜置于紫外灯源正下方,机械快门横置于第一反光镜和第二反光镜之间,第二反光镜正下方还设有准直镜。其避免了曝光机载片台上热面积累积,提高了曝光效率,大大降低了紫外光的能量衰减,扩大了曝光面积。
  • 一种光源曝光

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