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[实用新型]一种槽式高效烘干系统-CN202021710199.4有效
发明人：陶俊;朱鹤囡;王瑞银 -专利权人： 无锡琨圣科技有限公司
申请日： 2020-08-17 - 公布日： 2021-02-09 - 主分类号： F26B9/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种槽式高效烘干系统，涉及硅片烘干设备领域，其中烘干槽采用PVDF材质，烘干槽设有主槽和副槽，副槽底部设有匀流管，匀流管内壁均匀分布小孔，加热装置将加热后的空气通过小孔均匀的送入槽内，槽盖两侧均匀分布孔洞，使得潮湿空气能够正常排出，加热装置置于烘干槽外部，上述设计改善了传统烘干槽槽壁因长期靠近高温灯管产生变形，喷氟物脱落导致的金属污染等问题，本实用新型烘干系统效率更高，能耗低，便于安装维护，烘干效果更好，能进一步缩短烘干时间提升产能。
一种高效烘干系统

[发明专利]一种槽式高效烘干系统-CN202010825504.2在审
发明人：陶俊;朱鹤囡;王瑞银 -专利权人： 无锡琨圣科技有限公司
申请日： 2020-08-17 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： F26B9/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种槽式高效烘干系统，涉及硅片烘干设备领域，其中烘干槽采用PVDF材质，烘干槽设有主槽和副槽，副槽底部设有匀流管，匀流管内壁均匀分布小孔，加热装置将加热后的空气通过小孔均匀的送入槽内，槽盖两侧均匀分布孔洞，使得潮湿空气能够正常排出，加热装置置于烘干槽外部，上述设计改善了传统烘干槽槽壁因长期靠近高温灯管产生变形，喷氟物脱落导致的金属污染等问题，本发明烘干系统效率更高，能耗低，便于安装维护，烘干效果更好，能进一步缩短烘干时间提升产能。
一种高效烘干系统

[实用新型]一种便于校准的补液系统-CN201921614662.2有效
发明人：陶俊;张三洋;翟连方 -专利权人： 无锡琨圣科技有限公司
申请日： 2019-09-26 - 公布日： 2020-10-20 - 主分类号： G05D9/12 文献下载
摘要：本实用新型一种便于校准的补液系统，涉及半导体清洗设备领域，包括有补液桶、照明灯、气动阀、手动阀、补液管，所述补液桶外表面刻有刻度线，补液桶顶部设有磁致伸缩液位计，紧邻刻度线位置一侧固定有照明灯，照明灯固定在机台框架上，所述气动阀设置在补液桶主管路上，所述补液管是主管路的两个分管，其中一个补液管接通机台槽体内部，另一个补液管接通到机台外部，所述手动球阀分别设置在两个分管路上，本实用新型实现在机台外部进行化学品校准，简单方便，使用安全，在补液桶上标注液位刻度线，结合灯光照射，可以直观看到补液时液位波动情况，便于判断补液是否准确。
一种便于校准补液系统

[实用新型]一种臭氧气源供应系统-CN201922309442.5有效
发明人：陶俊;石烨炜;薛帅;陈磊;孔祥才 -专利权人： 无锡琨圣科技有限公司
申请日： 2019-12-20 - 公布日： 2020-10-20 - 主分类号： F17D1/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种臭氧气源供应系统，涉及氧化硅薄膜的制备，包括有臭氧发生器、尾气处理系统、储存瓶、反应室，氧气通过主管路在V1阀的控制下通入臭氧发生器，臭氧发生器产生的臭氧通过V2阀通入超纯水的储存瓶，所述储存瓶外装有液位感应器，V3阀一端管路接通储存瓶，另一端管路接通主管路，V5阀设置V2阀、V3阀之间的主管路上，臭氧与高纯水混合后一同通入反应室，所述尾气处理系统通过V6阀与主管路接通，为了对主管路进行高压保护。本实用新型工艺时间短、薄膜质量高、有效提升单机产能，提升电池效率。臭氧气体通源管路直接和水蒸汽结合在一条管路上，可携带供应也可单独供应气源控制方便。
一种臭氧供应系统

[实用新型]一种LPCVD双层炉管结构-CN201921614657.1有效
发明人：邵玉林;陶俊;张三洋 -专利权人： 无锡琨圣科技有限公司
申请日： 2019-09-26 - 公布日： 2020-09-29 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种LPCVD双层炉管结构，涉及多晶硅制造领域，包括有双层炉管，所述双层炉管包括有石英内管、石英外管、炉门、内管法兰、外管法兰、管内支撑装置、密封圈，石英内管作为工艺管，石英外管作为真空密封管，管内支撑装置包括有支撑块，所述支撑块设置在石英内管与石英外管之间，石英外管通过外管法兰与加热炉腔固定在一起，内管法兰、外管法兰均加工有密封垫和密封圈凹槽，两个法兰衔接处通过密封圈进行密封，炉门前端为实心表面平整圆形构造，尾端采用开孔，尾端通过内管法兰、外管法兰共同固定。本实用新型杜绝了多晶硅在外管内侧沉积导致的外观破损，提升了设备工艺稳定性，提升了产能，减少了设备维护成本。
一种 lpcvd 双层炉管结构

[实用新型]一种链式热氧化炉-CN201921615197.4有效
发明人：邵玉林;陶俊;张三洋 -专利权人： 无锡琨圣科技有限公司
申请日： 2019-09-26 - 公布日： 2020-09-29 - 主分类号： C30B33/02 文献下载
摘要：本实用新型公开一种链式热氧化炉，包括有石英腔体、加热灯管、弥散管、陶瓷滚轮、抽风装置、所述石英腔体表面包覆一层保温层，所述保温层采用硅酸铝材质，石英腔体上方平行于陶瓷滚轮方向均匀安装加热灯管，所述灯管外部为具有保护作用的陶瓷护套，石英腔体内部打有孔洞，所述弥散管与孔洞连通用于均匀通入氧气，陶瓷滚轮安设于石英腔体下方，通过陶瓷轴承和动力装置同步转动，实现硅片的水平横向移动，所述陶瓷轴承通过陶瓷轴承座固定，陶瓷滚轮下方设有抽风装置，本实用新型节省了氧化工序的设备包括生产成本，设备可以和链式机很好的整合在一起，下料处硅片可直接通入帘和链式去PSG槽式机，可进一步提升产能。
一种链式氧化

[发明专利]一种高浓度臭氧水制备系统-CN201911324697.7在审
发明人：陶俊;石烨炜;宋准;翟连方;张三洋 -专利权人： 无锡琨圣科技有限公司
申请日： 2019-12-20 - 公布日： 2020-05-12 - 主分类号： B01J7/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种高浓度臭氧水制备系统，包括臭氧产生模块，循环混合模块和温度控制模块，所述臭氧产生模块包括臭氧发生器，所述循环混合模块包括混合塔和水槽，水槽与混合塔连通，所述臭氧发生器与混合塔底部连通，所述温度控制模块包括换热器，换热器具有冷却水进口和冷却水出口，换热器与混合塔顶部连通，换热器与水槽连通。本发明的一种高浓度臭氧水制备系统，通过磁力泵和填充鲍尔环的混合塔的作用使臭氧气体和水充分混合，同时在循环管路上增加换热器，臭氧在较低的温度下溶解度更高，换热器使臭氧水维持在稳定且较低的温度下，确保臭氧水具有较高的浓度和很好的稳定性。
一种浓度臭氧制备系统

[发明专利]一种制绒机机械臂-CN201711006644.1有效
发明人：邵玉林 -专利权人： 无锡琨圣科技有限公司
申请日： 2017-10-25 - 公布日： 2020-05-05 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明属于晶体硅太阳能电池生产设备技术领域，公开了一种制绒机机械臂，设置有助力轴；所述助力轴后侧嵌装在液压装置前侧；所述助力轴前侧通过连接法兰固定有旋转臂，所述旋转臂一端嵌装有机械夹取装置，所述旋转臂一端嵌装有喷淋装置；所述液压装置下侧通过螺丝固定在升降臂顶部，所述升降臂安装在控制基座上方。该制绒机机械臂功能丰富，操作简单。通过旋转臂、升降臂等灵活性结构元件，并采用感应装置控制机械臂动作，提高了装置的灵活性；同时，在完成硅表面液体喷涂、清洗，实现清洗后产品的搬运，降低了企业的运营成本。
一种制绒机机械

[发明专利]一种PERC电池的加工方法-CN201910916276.7在审
发明人：邵玉林;陶俊;张三洋 -专利权人： 无锡琨圣科技有限公司
申请日： 2019-09-26 - 公布日： 2020-02-04 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种PERC电池的加工方法，包括背蚀刻工艺，背蚀刻工艺包括以下步骤S1：预处理，通过采用KOH和H2O2预清洗去除硅片表面脏污；S2：漂洗，采用纯水对硅片进行漂洗；S3：碱背抛，采用强碱和碱背抛添加剂，碱背抛添加剂能够进一步抑制KOH和正面PSG反应，加速KOH与背面硅进行刻蚀；S4：后清洗，清洗添加剂残留；S5：酸洗，采用HF和HCL的混合溶液进行清洗；S6：漂洗，采用纯水对硅片进行漂洗；S7：慢提拉，慢提拉水温设置为60～90度；S8：烘干，对硅片进行烘干。本发明具有以下优势：碱背抛成本低，无氮排放，且能进一步提升电池效率，将热氧和磷硅玻璃PSG清洗整合在一起。简化了碱背抛工艺流程，减少了操作人员数量，降低了生产成本。
漂洗硅片清洗蚀刻工艺烘干提拉添加剂预处理强碱清洗添加剂电池效率硅片表面混合溶液磷硅玻璃水温设置工艺流程氮排放预清洗刻蚀去除热氧酸洗脏污整合生产成本背面残留电池加工

[实用新型]一种臭氧发生器-CN201920442691.9有效
发明人：邵玉林;陶俊;石烨炜 -专利权人： 无锡琨圣科技有限公司
申请日： 2019-04-03 - 公布日： 2020-01-31 - 主分类号： C01B13/11 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种臭氧发生器，包括高压端板，绝缘隔离层，绝缘介质层，间隙垫片，低压导电层和低压端板，所述高压端板和低压端板之间具有腔室，所述绝缘隔离层位于腔室中且位于高压端板下方，绝缘介质层设置在绝缘隔离层下方，低压导电层位于绝缘介质层下方，低压导电层和绝缘介质层之间具有间隙垫片，所述绝缘介质层和低压导电层之间形成放电室，所述绝缘隔离层、绝缘介质层和低压导电层为圆形。本实用新型的臭氧发生器电场均匀性好，污染小，放电间隙较小，冷却散热效果较好的臭氧发生器。
绝缘介质层导电层绝缘隔离层臭氧发生器高压端本实用新型间隙垫片低压端腔室冷却散热效果电场均匀性放电间隙放电室污染

[实用新型]一种单晶制绒槽防倒灌排液装置-CN201920549784.1有效
发明人：陶俊;邱凯坤;宋准;张三洋 -专利权人： 无锡琨圣科技有限公司
申请日： 2019-04-22 - 公布日： 2020-01-31 - 主分类号： C30B33/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单晶制绒设备的防倒灌装置，主要涉及单晶制绒设备领域，包括有制绒槽、主排阀、U型管、溢流管、液位光电感应器、缓冲槽、液位管、排液管，所述U型管加装在单晶制绒槽排液管路和缓冲槽中间，U型管设计增加了废液从低液位端倒灌回高液位处的难度，排液管路用于连接制绒槽和缓冲槽，同时将废液排出到废液处理站，本实用新型通过U型管、缓冲槽、主排阀相互间的配合解决的技术问题是可以完全杜绝单晶制绒槽的倒灌异常，保证了单晶制绒工艺稳定性。
单晶制绒缓冲槽本实用新型制绒槽废液防倒灌装置工艺稳定性光电感应器废液处理排液管路设备领域低液位高液位排液管液管路液位管溢流管槽排加装排出液位配合保证

[发明专利]一种黑硅制绒清洗机的进液系统-CN201710579570.4有效
发明人：邵玉林 -专利权人： 无锡琨圣科技有限公司
申请日： 2017-07-17 - 公布日： 2019-12-06 - 主分类号： C30B33/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种黑硅制绒清洗机的进液系统，包括导液装置及设置在导液装置内部的搅拌装置；所述导液装置包括呈球形中空状的混料器及设置在混料器下端的导液管；所述混料器侧壁上具有若干均布设置的进液口，上端具有一螺纹孔；所述搅拌装置包括由上至下依次设置的调节装置、搅拌球及螺旋杆；所述搅拌球设置在混料器内部，侧壁具有若干倾斜设置的导液板，上端嵌套设置在连接杆下端的嵌槽内；所述螺旋杆与导液管同轴设置，并延伸至导液管内。本发明在进液管路中设计了合理的液体搅拌装置，可以将从进液口流进的不同液体在混料器中进行搅拌，并使混合均匀的液体从导液管中流出，结构设计合理，避免传统结构搅拌效率差，投入成本高的问题。
混料器导液管导液装置搅拌装置上端搅拌球进液口螺旋杆侧壁液体搅拌装置嵌套制绒清洗机传统结构调节装置搅拌效率进液管路进液系统均布设置倾斜设置同轴设置依次设置导液板连接杆螺纹孔中空状黑硅嵌槽流出延伸

[实用新型]一种单面制绒黑硅分片机-CN201822255474.7有效
发明人：陶俊;张三洋;翟连方 -专利权人： 无锡琨圣科技有限公司
申请日： 2018-12-29 - 公布日： 2019-12-06 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单面制绒黑硅分片机，包括加工台，所述加工台的顶部设有顶部为开口的加工座，所述加工座的两侧内壁上均焊接有矩形座，两个矩形座上均开设有矩形腔，两个矩形腔相互靠近的一侧内壁上均固定安装有电机，两个电机的输出轴上均焊接有第一锥形齿轮，两个矩形腔的顶侧内壁上均转动安装有转柱，两个转柱上均焊接有第二锥形齿轮，两个第二锥形齿轮分别与两个第一锥形齿轮相啮合，两个转柱的底端均焊接有啮合轮，两个矩形腔的底侧内壁上均焊接有限位柱，两个限位柱上均滑动安装有矩形柱，两个矩形柱上均焊接有齿条。本实用新型便于调节喷嘴，使得硅片清洗更加彻底，提高分片的效率，结构简单，使用方便。
焊接锥形齿轮矩形腔转柱本实用新型加工台加工座矩形柱矩形座内壁电机啮合单面制绒硅片清洗滑动安装两侧内壁转动安装喷嘴侧内壁分片机啮合轮输出轴限位柱齿条底端顶侧黑硅位柱开口

[实用新型]一种水底传输花篮过渡水槽-CN201920170522.4有效
发明人：陶俊;翟连方 -专利权人： 无锡琨圣科技有限公司
申请日： 2019-01-31 - 公布日： 2019-12-06 - 主分类号： B08B3/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种水底传输花篮过渡水槽包括驱动装置，龙骨链结构，花篮承接车，链条，导向轴，从动传输装置，所述驱动装置将电能转化机械能驱动所述龙骨链结构上的齿轮进行圆周运动，通过齿轮旋转带动所述链条运动，链条另一端套合在从动装置齿轮上，链条左右两侧设置有所述导向轴，导向轴两端固定在水槽内部两侧，所述花篮承接车底部对应导向轴设置有两个导向轨槽，所述导向轨槽与导向轴配合前后滑动，且所述花篮承接车与链条固定连接，可与链条同步运动，此装置用于化学清洗生产线酸碱隔离，生产过程中防止酸碱气体互串，零件清洗传输采用水下传输的方式，提高设备的使用寿命，减少工艺环境污染，提高化学品使用寿命。
导向轴链条花篮承接导向轨槽驱动装置使用寿命龙骨链结构齿轮酸碱机械能从动传输装置水槽本实用新型齿轮旋转从动装置电能转化过渡水槽化学清洗链条运动两端固定零件清洗前后滑动生产过程水下传输同步运动圆周运动左右两侧传输化学品套合隔离驱动配合

[实用新型]一种带有溢流保护的计量补液桶-CN201822038203.6有效
发明人：邵玉林;陶俊 -专利权人： 无锡琨圣科技有限公司
申请日： 2018-12-06 - 公布日： 2019-12-06 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：本实用公开了一种带有溢流保护的计量补液桶，包括磁致伸缩液位计，桶本体，补液管路，安装法兰，溢流管，底部接头，手动球阀，气动球阀，补液固定平台，所述磁致伸缩液位计设置在桶本体正上方，且磁致伸缩液位计通过所述安装法兰固定在桶本体上，所述补液管路设置在桶本体右侧，所述溢流管通过热熔方式与弯头连接固定在桶本体上，所述底部接头设置在桶本体底部中间位置，本实用新型一种带有溢流保护的计量补液桶具有高液位保护、溢流保护功能，顶部有密封保护且便于拆卸、调整、更换磁致伸缩，补液桶用耐腐蚀透明PVC，可直接观察液位的变化，实际安装调试后，达到预期精准补液，完全满足工艺需求。
磁致伸缩液位计补液桶溢流安装法兰补液管路底部接头溢流管计量底部中间位置本实用新型安装调试保护功能便于拆卸磁致伸缩工艺需求固定平台精准补液连接固定密封保护气动球阀热熔方式手动球阀直接观察透明PVC 高液位耐腐蚀补液弯头液位

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