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[实用新型]一种电感式提篮检测装置-CN202222288156.7有效
发明人：陶俊;张三洋;翟连方 -专利权人：无锡琨圣智能装备股份有限公司
申请日： 2022-08-30 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： G01R27/26 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种电感式提篮检测装置，包括固定座，固定座上竖直贯穿设置有导向孔，导向孔内设置有导向杆，导向杆与导向孔滑动连接，导向杆的上端设置有限位块，导向杆的下端设置有重锤；固定座内置有电感式传感器，电感式传感器的感应芯片位于导向孔的旁侧，导向杆的内部设置有感应金属块。本实用新型提供的电感式提篮检测装置，对于花篮是否正常提起进行检测，防止压篮情况发生，提高了设备稳定性和产品良率。
一种电感提篮检测装置

[实用新型]一种具有排气泡功能的链式机-CN202121755712.6有效
发明人：陶俊;翟连方;张三洋;张雷 -专利权人：无锡琨圣智能装备股份有限公司
申请日： 2021-07-30 - 公布日： 2022-01-07 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种具有排气泡功能的链式机，包括主槽和副槽，主槽的两侧或四周设置有溢流槽，溢流槽通过回流管与副槽连接，副槽通过循环泵和出液循环管与主槽的底部连接，主槽底部对应设置有若干第一出液口，主槽顶部设置有输送滚轮，第一出液口的上方罩设有至少一个排气罩，每个排气罩的底部侧面设置有第二出液口，每个排气罩的顶部设置有排气管，排气管的上端位于主槽的边缘并从任意两个相邻输送滚轮之间伸出。本实用新型提供的具有排气泡功能的链式机，增加了排气罩和排气管结构，能够将气泡顺畅排出，有效避免了过刻情况的发生。
一种具有气泡功能链式

[实用新型]一种提高药液均匀性的槽式清洗机-CN202121755658.5有效
发明人：陶俊;翟连方;张三洋 -专利权人：无锡琨圣智能装备股份有限公司
申请日： 2021-07-30 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种提高药液均匀性的槽式清洗机，包括主槽和副槽，主槽位于副槽的内部，主槽的顶部低于副槽的顶部，副槽外部设置有泵，泵通过集液管与副槽连接，泵通过送液管与主槽连接，主槽内部的底部设置有若干匀流管，匀流管与送液管连通；主槽内部的底部设置有若干鼓泡管，鼓泡管与设置在副槽外部的氮气罐连接。本实用新型提供的提高药液均匀性的槽式清洗机，对主槽内部结构进行改进，增加药液均匀性的同时避免药液直接对硅片进行冲刷。
一种提高药液均匀清洗

[实用新型]一种具有称重功能的自动上下料台-CN202120485410.5有效
发明人：陶俊;王雪楠;张三洋;翟连方 -专利权人：无锡琨圣智能装备股份有限公司
申请日： 2021-03-08 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： B65G47/74 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有称重功能的自动上下料台，包括上料台面，所述上料台面上设有若干直线导轨，所述直线导轨上方设有顶升装置，所述上料台面的端面上分别设有称重装置和传感器；可兼容机器人自动上下料装置，机器人将花篮放至上料台后整个上料过程可实现完全自动化，通过顶升机构传送花篮可以避免因皮带磨损断裂导致的设备异常，再者上下料各配备有称重模块，每个批次的称重数据可实时记录到电脑中其差值除以每批次总数量400即为每片硅片的腐蚀重量，可以对每批次产品的腐蚀重量进行监控，当数值超过正常范围值时，设备还会进行报警提示，工艺人员也可以及时进行处理，极大的提升了机台的稳定性。
一种具有称重功能自动上下

[实用新型]一种高效磁致伸缩补液装置-CN202120499080.5有效
发明人：陶俊;翟连方;张三洋;王雪楠 -专利权人：无锡琨圣智能装备股份有限公司
申请日： 2021-03-09 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：一种高效磁致伸缩补液装置，包括高液位溢流保护装置、补液桶、浮球、手动阀门、供液阀、第一补液阀和第二补液阀，所述高液位溢流保护装置固定安装在所述补液桶的外部的顶端，所述补液桶的内部竖直设置有金属杆，所述金属杆与所述补液桶同轴，所述浮球安装在所述金属杆的底部，所述浮球相对所述金属杆上下移动，所述补液桶的外部的底部中间位置固定安装有手动阀门，所述手动阀门的进液口与所述补液桶的内部连通，所述手动阀门的出液口固定安装有第一三通，所述第一三通的第二接口的底部固定安装有第一补液阀，所述第一三通的第三接口与所述第二补液阀的进液口固定连接，所述手动阀门的底部中间位置固定安装有供液阀。
一种高效伸缩补液装置

[实用新型]一种循环吹气式烘干槽-CN202120632351.X有效
发明人：陶俊;翟连方;张三洋 -专利权人：无锡琨圣智能装备股份有限公司
申请日： 2021-03-29 - 公布日： 2021-10-19 - 主分类号： F26B21/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种循环吹气式烘干槽，包括外槽体和内槽体，外槽体和内槽体均开口朝上且内槽体设置在外槽体的内部，外槽体的开口端与内槽体外壁之间采用密封连接并形成第一腔体，内槽体的开口端设置有槽盖形成第二腔体，内槽体和/或槽盖连接有鼓风泵，槽盖上设置有排湿口，内槽体的侧壁上设置有若干第一进气孔，内槽体底部设置有抽气口，外槽体的底部设置有离心涡轮风机，离心涡轮风机的叶轮位于第一腔体内抽气口的下方。本实用新型提供的循环吹气式烘干槽，采用吹气加吸气的组合，使槽体内形成气流循环，并对气体进行加热，提高烘干效果，缩短烘干时间，同时增加多重过滤，保证槽内的洁净度，防止硅片受到污染。
一种循环吹气烘干

[实用新型]一种管式吹气烘干槽-CN202023072940.1有效
发明人： 翟连方;张三洋 -专利权人：无锡琨圣智能装备股份有限公司
申请日： 2020-12-18 - 公布日： 2021-10-19 - 主分类号： F26B21/00 文献下载
摘要：本实用新型属于高纯清洗领域，提供了一种管式吹气烘干槽，包括箱体，箱体包括箱体侧壁和箱体底板，箱体底板上间隔设置有两两一组的花篮固定座，每组花篮固定座上放置有花篮，箱体内部在花篮的两侧设置有若干侧面吹风管，侧面吹风管通过加热器连接有鼓风泵，每组花篮固定座的两个花篮固定座之间设置有吹风管组，每个吹风管组包括若干平行排列的底部吹风管，底部吹风管共同连接有集气管，集气管连接有送气管，送气管连接有进气管路，进气管路与加热器连接。本实用新型提供的管式吹气烘干槽，采用吹气管结构代替原有的气腔腔体结构，吹气效果好且吹气管内各处受力均匀，不会出现变形的情况，保证烘干工作的稳定进行。
一种吹气烘干

[实用新型]一种具有抽液功能的烘干槽-CN202022888334.0有效
发明人：陶俊;张三洋;翟连方 -专利权人：无锡琨圣智能装备股份有限公司
申请日： 2020-12-04 - 公布日： 2021-07-20 - 主分类号： F26B21/00 文献下载
摘要：本实用新型属于高纯清洗领域，提供了一种具有抽液功能的烘干槽，包括箱体，箱体包括箱体侧壁和箱体底板，箱体底板上间隔设置有花篮固定座，花篮固定座上放置有花篮，箱体内部在花篮的两侧设置有若干吹风管，吹风管通过加热器连接有鼓风泵，吹风管朝向花篮的侧面均匀设置有若干吹风孔，箱体底板上在花篮的下方设置有若干抽气风刀，箱体底板的下方设置有抽气盒，每个抽气风刀均与抽气盒连通，抽气盒通过抽气管连接有抽气泵。本实用新型提供的具有抽液功能的烘干槽，能够将花篮底杆部分的水滴快速抽走，提高整体烘干效果，防止二次污染，提高产品良率。
一种具有功能烘干

[外观设计]PVC补液桶-CN202130111283.8有效
发明人：陶俊;张三洋;王军;翟连方 -专利权人：无锡琨圣智能装备股份有限公司
申请日： 2021-03-01 - 公布日： 2021-07-20 - 主分类号： 23-01 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：PVC补液桶。2.本外观设计产品的用途：用于光伏、半导体等行业，主要用途为电池产线中对液体清洗反应机台的化学品补加。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
pvc 补液

[发明专利]一种高效磁致伸缩补液装置-CN202110256166.X在审
发明人：陶俊;翟连方;张三洋;王雪楠 -专利权人：无锡琨圣智能装备股份有限公司
申请日： 2021-03-09 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：一种高效磁致伸缩补液装置，包括高液位溢流保护装置、补液桶、浮球、手动阀门、供液阀、第一补液阀和第二补液阀，所述高液位溢流保护装置固定安装在所述补液桶的外部的顶端，所述补液桶的内部竖直设置有金属杆，所述金属杆与所述补液桶同轴，所述浮球安装在所述金属杆的底部，所述浮球相对所述金属杆上下移动，所述补液桶的外部的底部中间位置固定安装有手动阀门，所述手动阀门的进液口与所述补液桶的内部连通，所述第一三通的第一接口固定安装在所述手动阀门的出液口，所述第一三通的第二接口的底部固定安装有第一补液阀，所述第一三通的第三接口与所述第二补液阀的进液口固定连接，所述手动阀门的底部中间位置固定安装有供液阀。
一种高效伸缩补液装置

[实用新型]一种便于校准的补液系统-CN201921614662.2有效
发明人：陶俊;张三洋;翟连方 -专利权人：无锡琨圣科技有限公司
申请日： 2019-09-26 - 公布日： 2020-10-20 - 主分类号： G05D9/12 文献下载
摘要：本实用新型一种便于校准的补液系统，涉及半导体清洗设备领域，包括有补液桶、照明灯、气动阀、手动阀、补液管，所述补液桶外表面刻有刻度线，补液桶顶部设有磁致伸缩液位计，紧邻刻度线位置一侧固定有照明灯，照明灯固定在机台框架上，所述气动阀设置在补液桶主管路上，所述补液管是主管路的两个分管，其中一个补液管接通机台槽体内部，另一个补液管接通到机台外部，所述手动球阀分别设置在两个分管路上，本实用新型实现在机台外部进行化学品校准，简单方便，使用安全，在补液桶上标注液位刻度线，结合灯光照射，可以直观看到补液时液位波动情况，便于判断补液是否准确。
一种便于校准补液系统

[发明专利]一种高浓度臭氧水制备系统-CN201911324697.7在审
发明人：陶俊;石烨炜;宋准;翟连方;张三洋 -专利权人：无锡琨圣科技有限公司
申请日： 2019-12-20 - 公布日： 2020-05-12 - 主分类号： B01J7/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种高浓度臭氧水制备系统，包括臭氧产生模块，循环混合模块和温度控制模块，所述臭氧产生模块包括臭氧发生器，所述循环混合模块包括混合塔和水槽，水槽与混合塔连通，所述臭氧发生器与混合塔底部连通，所述温度控制模块包括换热器，换热器具有冷却水进口和冷却水出口，换热器与混合塔顶部连通，换热器与水槽连通。本发明的一种高浓度臭氧水制备系统，通过磁力泵和填充鲍尔环的混合塔的作用使臭氧气体和水充分混合，同时在循环管路上增加换热器，臭氧在较低的温度下溶解度更高，换热器使臭氧水维持在稳定且较低的温度下，确保臭氧水具有较高的浓度和很好的稳定性。
一种浓度臭氧制备系统

[实用新型]一种单面制绒黑硅分片机-CN201822255474.7有效
发明人：陶俊;张三洋;翟连方 -专利权人：无锡琨圣科技有限公司
申请日： 2018-12-29 - 公布日： 2019-12-06 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单面制绒黑硅分片机，包括加工台，所述加工台的顶部设有顶部为开口的加工座，所述加工座的两侧内壁上均焊接有矩形座，两个矩形座上均开设有矩形腔，两个矩形腔相互靠近的一侧内壁上均固定安装有电机，两个电机的输出轴上均焊接有第一锥形齿轮，两个矩形腔的顶侧内壁上均转动安装有转柱，两个转柱上均焊接有第二锥形齿轮，两个第二锥形齿轮分别与两个第一锥形齿轮相啮合，两个转柱的底端均焊接有啮合轮，两个矩形腔的底侧内壁上均焊接有限位柱，两个限位柱上均滑动安装有矩形柱，两个矩形柱上均焊接有齿条。本实用新型便于调节喷嘴，使得硅片清洗更加彻底，提高分片的效率，结构简单，使用方便。
焊接锥形齿轮矩形腔转柱本实用新型加工台加工座矩形柱矩形座内壁电机啮合单面制绒硅片清洗滑动安装两侧内壁转动安装喷嘴侧内壁分片机啮合轮输出轴限位柱齿条底端顶侧黑硅位柱开口

[实用新型]一种水底传输花篮过渡水槽-CN201920170522.4有效
发明人：陶俊;翟连方 -专利权人：无锡琨圣科技有限公司
申请日： 2019-01-31 - 公布日： 2019-12-06 - 主分类号： B08B3/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种水底传输花篮过渡水槽包括驱动装置，龙骨链结构，花篮承接车，链条，导向轴，从动传输装置，所述驱动装置将电能转化机械能驱动所述龙骨链结构上的齿轮进行圆周运动，通过齿轮旋转带动所述链条运动，链条另一端套合在从动装置齿轮上，链条左右两侧设置有所述导向轴，导向轴两端固定在水槽内部两侧，所述花篮承接车底部对应导向轴设置有两个导向轨槽，所述导向轨槽与导向轴配合前后滑动，且所述花篮承接车与链条固定连接，可与链条同步运动，此装置用于化学清洗生产线酸碱隔离，生产过程中防止酸碱气体互串，零件清洗传输采用水下传输的方式，提高设备的使用寿命，减少工艺环境污染，提高化学品使用寿命。
导向轴链条花篮承接导向轨槽驱动装置使用寿命龙骨链结构齿轮酸碱机械能从动传输装置水槽本实用新型齿轮旋转从动装置电能转化过渡水槽化学清洗链条运动两端固定零件清洗前后滑动生产过程水下传输同步运动圆周运动左右两侧传输化学品套合隔离驱动配合

[发明专利]一种单晶制绒工艺-CN201910323926.7在审
发明人：邵玉林;邱凯坤;陶俊;张三洋;翟连方;宋准 -专利权人：无锡琨圣科技有限公司
申请日： 2019-04-22 - 公布日： 2019-08-09 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种单晶制绒工艺，主要涉及单晶制绒领域，包括步骤一：碱溶液清洗抛光；步骤二：超声波清洗；步骤三：臭氧水清洗；步骤四：水洗；步骤五：制绒；步骤六：水洗；步骤七：臭氧水清洗；步骤八：水洗；步骤九：酸溶液清洗；步骤十：水洗；步骤十一：慢拉提过滤；步骤十二：烘干；本发明通过在硅片前后清洗中增加臭氧水清洗和超声清洗工艺加强对硅片的清洗可以有效解决硅片上的白点和外观工艺异常，通过臭氧水清洗代替H2O2/KOH清洗，可以大幅降低生产成本，另根据生产的硅片源质量进行臭氧水清洗、超声波清洗、KOH/H2O2混合溶液多种清洗工艺方式的一键切换，最大限度实现工艺切换灵活性、保证产品质量、提高生产工艺的稳定性。
清洗臭氧水硅片单晶制绒超声波清洗超声清洗混合溶液清洗工艺清洗抛光一键切换有效解决白点碱溶液酸溶液烘干制绒生产工艺过滤保证生产

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