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[发明专利] 碳化硅退火除杂方法 -CN202110951347.4 在审
发明人：
徐永帅
- 专利权人：
深圳天成先进材料科技有限公司
申请日：
2021-08-18
-
公布日：
2022-10-18
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主分类号：
C30B29/36 文献下载
摘要： 本发明公开了一种碳化硅退火除杂方法，包括取退火炉，所述退火炉内设有中间隔热保温层，所述中间隔热保温层将退火炉分为恒温区和低温区，所述中间隔热保温层上开设有用于连通恒温区和低温区的通孔；取碳化硅晶体，在碳化硅晶体表面包裹高纯碳颗粒或高纯碳化硅颗粒，再放置于恒温区；取多孔吸附材料，将多孔吸附材料放置于低温区；使退火炉在真空状态下充入或惰性气体，并使恒温区在第一预设时间后升温至退火温度，同时使低温区温度低于所述恒温区温度400℃‑800℃；使退火炉保温第二预设时间；使退火炉降温第三预设时间至常温，得到退火后的碳化硅晶体。本发明提供的碳化硅退火除杂方法，有效降低杂质含量，消除内应力。碳化硅 退火 方法
[实用新型] 一种半导体晶体除杂机构 -CN202023308334.5 有效
发明人：
徐永帅
- 专利权人：
深圳天成先进材料科技有限公司
申请日：
2020-12-30
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公布日：
2021-09-03
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主分类号：
H01L21/02 文献下载
摘要： 本实用新型公开了一种半导体晶体除杂机构，包括除杂炉主体和侧固定板，除杂炉主体通过法兰连接有出气管，除杂炉主体通过法兰连接有杂质排出管，除杂炉主体包括顶部的低温除杂管、中间的保温管和底部的恒温除杂管，恒温除杂管外壁左侧从上至下依次设置有气筒一、气筒二，气筒一和气筒二内部均设置有活塞，气筒一和气筒二上均滑动连接有活塞杆，活塞杆一端分别和活塞连接，活塞杆另一端分别延伸至气筒一、气筒二的外部均固定有固定块，侧固定板远离恒温除杂管的一侧安装有伺服电机，伺服电机输出端固定连接有转杆，转杆另一端铰接有第一连杆，第一连杆另一端铰接有齿条。本实用新型可以将反应气体更好的输送到恒温除杂管内部，除杂效果好。一种 半导体 晶体 机构
[实用新型] 一种半导体晶体除杂装置 -CN202023263254.2 有效
发明人：
徐永帅
- 专利权人：
深圳天成先进材料科技有限公司
申请日：
2020-12-29
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公布日：
2021-07-13
-
主分类号：
H01L21/67 文献下载
摘要： 本实用新型公开了一种半导体晶体除杂装置，包括除杂装置本体，所述除杂装置本体由从左右到依次活动安装的进风管、恒温除杂箱、保温箱、低温除杂箱、出风管组成；所述恒温除杂箱、所述低温除杂箱上均开设有门洞，所述门洞通过其上设有的固定机构活动安装有门板；所述恒温除杂箱的门板上固定连接有架体，所述架体从所述门洞穿进所述恒温除杂箱内，所述架体上设置有用于放置半导体晶体的托盘；所述保温箱内固定连接有多层保温板，每个所述保温板上均开设有透气孔；所述低温除杂箱的门板上固定连接有用于容纳多孔吸附材料的外框。本实用新型，设置低温杂质吸附区，晶体除杂效果好，解决了背景技术中提出的问题。一种 半导体 晶体 装置
[实用新型] 一种去除晶体表面杂质的装置 -CN202023308339.8 有效
发明人：
徐永帅
- 专利权人：
深圳天成先进材料科技有限公司
申请日：
2020-12-30
-
公布日：
2021-07-13
-
主分类号：
H01L21/67 文献下载
摘要： 本实用新型公开了一种去除晶体表面杂质的装置，包括箱体，所述箱体的一侧固定连接有进气管，所述箱体的另一侧内壁安装有高温加热装置，所述箱体的底壁设置有带动晶体转动的旋转装置，所述箱体的顶壁设置有收集装置；所述收集装置包括升降柱，所述升降柱贯穿并滑动连接在箱体的顶壁，所述升降柱的下端安装有风罩，所述升降柱的表面开设有齿条，所述箱体上安装有第一轴承座，所述第一轴承座上转动连接有与所述齿条啮合的齿轮，所述箱体上安装有第二轴承座，所述第二轴承座上转动连接有与所述齿轮啮合的蜗杆，所述箱体上安装有电机安装座。本实用新型，采用喷吹除杂，并且在除杂时能够对杂质进行收集。一种 去除 晶体 表面 杂质 装置
[实用新型] 一种用于半导体晶体除杂的装置 -CN202023316150.3 有效
发明人：
徐永帅
- 专利权人：
深圳天成先进材料科技有限公司
申请日：
2020-12-31
-
公布日：
2021-07-13
-
主分类号：
H01L21/67 文献下载
摘要： 本实用新型公开了一种用于半导体晶体除杂的装置，包括进气管，所述进气管上固定安装有圆形隔板，所述进气管的一端伸进半导体晶体固定槽内，所述半导体晶体固定槽开设在除杂箱内，所述半导体晶体固定槽上转动连接有顶盖，所述顶盖的一侧转动连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的底部转动连接在除杂箱上，所述顶盖上转动连接有蜗轮，所述蜗轮与蜗杆啮合，所述蜗杆的外壁与固定筒的内壁转动连接，所述固定筒固定连接在顶盖上，所述蜗杆穿过固定筒的一端与电机二的输出端固定安装。本实用新型，采用气体喷吹除杂，并且伴随晶体夹持后旋转，提高除杂效果，解决了背景技术中提出的问题。一种 用于 半导体 晶体 装置
[实用新型] 一种锅炉连排水回收装置 -CN202021866036.5 有效
发明人：
徐永帅 张波 ;胡尊超 ;李玉
- 专利权人：
山东年轮电力科技有限公司
申请日：
2020-08-31
-
公布日：
2021-05-11
-
主分类号：
F22B37/22 文献下载
摘要： 本申请涉及一种锅炉连排水回收装置，属于电力锅炉领域，包括排水管，排水管一端与汽包连接，另一端连接有第一喷嘴；进气管和出气管；耦合式喷射元件，耦合式喷射元件分别与进气管和出气管相连，耦合式喷射元件包括：外壳，第一喷嘴伸入外壳内，进气管至出气管的方向为第一喷嘴的喷射方向；汽化元件，汽化元件设置于外壳内并沿迎合第一喷嘴的喷射方向设置；通过设置耦合式喷射元件，将汽包产生的汽水混合物在耦合式喷射元件内全部汽化，将该蒸汽运输给工业及药厂等所需要蒸汽的工业应用场合，实现汽包连排水的再利用，通过将汽包连排水回收为热蒸汽的形式，不仅能够有效利用汽包的高热能，还能对水资源进行回收，降低了水资源和热能的浪费。一种 锅炉 排水 回收 装置
