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- [发明专利]半导体结构的形成方法-CN201410113739.3有效
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黄芳;金龙灿;宋长庚
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中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
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2014-03-25
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2018-02-16
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H01L21/28
- 一种半导体结构的形成方法,包括提供半导体衬底,所述半导体衬底上形成有若干浮栅结构及位于所述浮栅结构顶部表面的控制栅介质层;在所述半导体衬底上形成具有连续图形的第一图形化控制栅材料层,所述第一图形化控制栅材料层覆盖若干浮栅结构上的部分浮栅介质层;在所述半导体衬底上形成掩膜层,所述掩膜层暴露出位于浮栅结构上方的部分第一图形化控制栅材料层及位于所述部分第一图形化控制栅材料层两侧的半导体衬底;以所述掩膜层为掩膜,去除所述未被掩膜层覆盖的第一图形化控制栅材料层,形成相互断开的控制栅;去除所述掩膜层;在所述浮栅结构、控制栅介质层和控制栅的侧壁表面形成侧墙。所述方法可以提高闪存的可靠性。
- 半导体结构形成方法
- [实用新型]一种沼气应用的智能化加热系统-CN201420534258.5有效
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宋长庚
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浏阳市建安可再生能源服务有限公司
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2014-09-17
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2015-03-11
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C12M1/38
- 本实用新型公开了一种沼气应用的智能化加热系统,包括加热炉、燃气储存柜、沼气池,加热炉与沼气池之间设置有循环换热管,沼气池通过沼气输出管与燃气储存柜连接,燃气储存柜通过供气输送管与加热炉底部燃烧室连接,加热炉还设置有控制箱,加热炉设置有第一温度感应器,其供气输送管上设置有第一电磁阀,循环换热管上设置有循环泵,沼气池上设置有第二温度感应器;所述第一温度感应器连接有第一控制器,第一电池阀与第一控制器连接;其第二温度感应器连接有第二控制器,循环泵与第二控制器连接,第一、第二控制器均安装于控制箱内。通过本实用新型实现了加热系统的温度智能化控制,从而使沼气池内的可燃烧气体能够得到充分挥发,提高了沼气产量。
- 一种沼气应用智能化加热系统
- [实用新型]一种沼气应用的加热系统-CN201420534460.8有效
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宋长庚
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浏阳市建安可再生能源服务有限公司
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2014-09-17
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2015-03-11
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F24H1/00
- 本实用新型公开了一种沼气应用的加热系统,包括加热炉、燃气储存柜、沼气池,所述加热炉与沼气池之间设置有循环换热管,所述循环换热管从加热炉上端侧壁接出连接至沼气池内部缠绕数圈后从沼气池接出连接至加热炉下端侧壁上,所述沼气池通过一沼气输出管与燃气储存柜连接,所述燃气储存柜通过供气输送管与加热炉底部燃烧室连接。通过本实用新型有效地将沼气池和加热炉结合起来,通过一循环换热管将加热炉内的热水引入沼气池中,使沼气池内的温度上升,从而充分发挥沼气池内的可燃性气体,提高了沼气产量,并且换热后的余温水经循环换热管再次接入加热炉中,从而减少了热能损耗,实现了沼气池与加热炉的能源充分应用。
- 一种沼气应用加热系统
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