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[发明专利]射频四极粒子加速器-CN202180092341.4在审
发明人：法兰克·辛克莱;谭伟明;科斯特尔·拜洛;威廉·戴维斯·李 -专利权人：应用材料股份有限公司
申请日： 2021-12-15 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： H05H9/04 文献下载
摘要：一种设备可包含漂移管总成，所述漂移管总成界定三重间隙配置，并布置成沿着束路径加速及传输离子束。所述设备可包含将射频信号输出到所述漂移管总成的谐振器以及射频四极三重件，所述射频四极三重件连接到所述漂移管总成并围绕所述束路径周围布置。
射频粒子加速器

[发明专利]用于线性加速器中的可变长度电极的系统、装置以及方法-CN202180068861.1在审
发明人：查理斯·T·卡尔森;保罗·J·墨菲;法兰克·辛克莱;威廉·戴维斯·李 -专利权人：应用材料股份有限公司
申请日： 2021-09-18 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H05H9/00 文献下载
摘要：一种装置可包括：射频电源总成，被布置成输出射频信号；以及漂移管总成，被布置成发射离子束且耦合到射频电源总成。漂移管总成可包括：第一接地电极；AC漂移管总成，设置在第一接地电极的下游；以及第二接地电极，设置在AC漂移管总成的下游，其中所述AC漂移管总成包括至少一个可变长度AC漂移管。
用于线性加速器中的可变长度电极系统装置以及方法

[发明专利]带正电粒子癌症疗法束状态确定系统及其使用方法-CN202110716013.9在审
发明人： 威廉·戴维斯·李;马克·R·阿马托;尼克·鲁培尔;吉莉安·雷诺 -专利权人：质子国际控股公司
申请日： 2021-06-25 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： A61N5/10 文献下载
摘要：本发明包括系统及其使用方法，用于确定在通过最终束修改插入物之后和进入患者(例如在癌症治疗或断层摄影成像中)之前的带电粒子束状态。所述插入物包括范围移动器，已知的能量吸收器，脊形过滤器，焦距改变插入物，限定孔的元件，补偿器，和/或患者特异性束修改器。监控元件包括一个或多个片，被配置为在被带电粒子束通过时发射光子，其中所述被发射的光子被检测，测试(例如，相对于预定的癌症治疗方案)，和/或用于辅助三维断层摄影图像生成。
正电粒子癌症疗法束状确定系统及其使用方法

[发明专利]选择性处理工件的方法及系统-CN201680039913.1有效
发明人：马克·R·亚玛多;威廉·戴维斯·李;吉莲·雷诺 -专利权人：瓦里安半导体设备公司
申请日： 2016-07-06 - 公布日： 2021-07-27 - 主分类号： H01L21/265 文献下载
摘要：本发明公开用于选择性处理工件的系统及方法。举例而言，可通过朝工件上的第一位置引导离子束来处理外部部分，其中离子束在两个第一定位处延伸超过工件的外边缘。接着使工件相对于离子束而绕工件的中心旋转，以使外部部分的某些区暴露至离子束。接着使工件相对于离子束移动至第二位置并在相反的方向上旋转，以使外部部分的所有区暴露至离子束。可将此过程重复进行多次。所述离子束可实行任意工艺，例如离子植入、蚀刻、或沉积。
选择性处理工件方法系统

[发明专利]离子植入系统以及去除其的射束线构件上沉积物的方法-CN202011058388.2在审
发明人：凯文·安葛林;威廉·戴维斯·李;彼得·库鲁尼西;里安·道尼;杰·T·舒尔;亚历山大·利坎斯奇;威廉·M·贺伯 -专利权人：瓦里安半导体设备公司
申请日： 2016-06-02 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本文提供离子植入系统以及去除离子植入系统的射束线构件上沉积物的方法。所述离子植入系统，包括：离子源，被配置为形成离子束；射束线构件；以及气体源，被配置为向所述射束线构件供应气体，其中所述气体源被配置成通过沉积物与所述气体的反应来刻蚀沉积在所述射束线构件的表面上的所述沉积物。所述去除离子植入系统的射束线构件上沉积物的方法，所述去除离子植入系统的射束线构件上沉积物的方法包括：在对所述射束线构件进行离子轰击期间通过离子束向与所述射束线构件相关联的一或多个区域供应所述气体，其中所述离子轰击加热所述射束线构件的表面，以辅助所述气体与所述射束线构件的所述表面上的所述沉积物之间的化学反应。
离子植入系统以及去除射束线构件沉积物方法

[发明专利]自动更新和实施放射治疗方案的装置及其使用方法-CN201710622131.7有效
发明人：尼克·鲁培尔;马克·R·阿马托;吉莉安·雷诺;威廉·戴维斯·李 -专利权人：质子国际控股公司
申请日： 2017-05-24 - 公布日： 2020-12-18 - 主分类号： A61N5/10 文献下载
摘要：发明包括治疗肿瘤的装置，所述装置可执行以下步骤：(1)主控制器实施最初的放疗计划，作为当前放疗计划，使用从同步加速器传输的带正电的粒子，沿着束传输线，通过接近治疗室的喷嘴系统，并进入肿瘤；(2)同实施步骤并发执行，对肿瘤进行成像，比如使用质子，以生成当前图像；(3)在使用当前图像检测肿瘤相对于患者的周围成分的运动后，主控制器，利用计算机实施的代码，自动生成一个更新的治疗方案，更新后的治疗方案成为当前放射治疗方案；(4)重复执行实施、成像、以及生成更新的治疗方案的步骤至少n次，其中n是至少为1的正整数。
自动更新实施放射治疗方案装置及其使用方法

[发明专利]离子植入系统以及原位等离子清洗方法-CN201680033326.1有效
发明人：凯文·安葛林;威廉·戴维斯·李;彼得·库鲁尼西;里安·道尼;杰·T·舒尔;亚历山大·利坎斯奇;威廉·M·贺伯 -专利权人：瓦里安半导体设备公司
申请日： 2016-06-02 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本文提供离子植入系统以及原位等离子清洗方法。在一个方法中，所述构件可包含具有一或多个传导性射束光学器件的射束线构件。系统更包含电力供应器，其用于在处理模式期间将第一电压和第一电流供应到构件且在清洗模式期间将第二电压和第二电流供应到构件。第二电压和电流可并联地施加到构件的传导性射束光学器件以选择性地(例如，个别地)在一或多个传导性射束光学器件中的一或多者周围产生等离子。系统可更包含用于调整供应到构件的蚀刻剂气体的注入速率的流量控制器，和用于调整构件的环境的压力的真空泵。
离子植入系统以及原位等离子清洗方法

[发明专利]癌症治疗室基准标记系统及其使用方法-CN202010085732.0在审
发明人： 威廉·戴维斯·李;马克·R·阿马托;尼克·鲁培尔;吉莉安·雷诺 -专利权人：质子国际控股公司
申请日： 2017-05-24 - 公布日： 2020-05-12 - 主分类号： A61B6/00 文献下载
摘要：本发明包括基于基准记号‑基准检测器的治疗室位置确定/定位系统及其使用方法。通常地，一组基准记号检测器检测从位于治疗室中的一个或多个物体上的一组基准记号发出的和/或反射的光子，并且由此确定的距离和/或计算的角度用来确定在治疗室中的多个对象或元件的相对位置。绘制的对象的位置用于：(1)成像诸如X射线，正电子发射断层摄影和/或质子束成像和/或(2)束瞄准和治疗，例如基于质子的癌症治疗。由于使用基准标记系统来动态地确定治疗室中的物体的相对位置，因此去除治疗束线等中心点的工程和/或数学约束。
癌症治疗基准标记系统及其使用方法

[发明专利]离子束装置中污染控制的装置、系统和方法-CN201780008729.5有效
发明人：亚历山大·利坎斯奇;杰·T·舒尔;威廉·戴维斯·李 -专利权人：瓦里安半导体设备公司
申请日： 2017-01-06 - 公布日： 2020-03-06 - 主分类号： H01J37/248 文献下载
摘要：一种离子束装置中污染控制的装置、系统和方法。所述装置可包含产生离子束的离子源，所述离子源耦合到第一电压。装置可进一步包含：停止元件，其安置于离子源与衬底位置之间；停止电压供应器，其耦合到停止元件；以及控制组件，其用于引导停止电压供应器以将停止电压施加到停止元件，当离子束包括正离子时，停止电压等于第一电压或比第一电压更加偏正，且当离子束包括负离子时，停止电压等于第一电压或比第一电压更加偏负，其中当将停止电压施加到停止元件时，离子束的至少一部分从初始轨迹向后经偏转为经偏转的离子。
离子束装置污染控制系统方法

[发明专利]多层沉积处理装置-CN201680027712.X有效
发明人：亚历山大·利坎斯奇;威廉·戴维斯·李;史费特那·B·瑞都凡诺 -专利权人：瓦里安半导体设备公司
申请日： 2016-05-11 - 公布日： 2020-03-06 - 主分类号： C23C14/46 文献下载
摘要：一种处理装置，可包括：提取组件，至少包括第一提取孔隙与第二提取孔隙，提取组件经设置以自等离子体至少提取第一离子束与第二离子束；靶材组件，设置为邻近提取组件且至少包括第一靶材部分(包括第一材料)与第二靶材部分(包括第二材料)，第一靶材部分与第二靶材部分经配置以分别截取第一离子束与第二离子束；以及基板平台，配置为邻近靶材组件且经设置以在第一点与第二点之间沿着扫描轴扫描基板，其中第一靶材部分与第二靶材部分分别自第一点分离第一距离与第二距离，且第一距离小于第二距离。本发明的处理装置可在一次基板扫描中于基板上沉积多个膜层，且可邻近等离子体室来提供基板。
多层沉积处理装置

[发明专利]癌症治疗室基准标记系统及其使用方法-CN201710376119.2有效
发明人： 威廉·戴维斯·李;马克·R·阿马托;尼克·鲁培尔;吉莉安·雷诺 -专利权人：质子国际控股公司
申请日： 2017-05-24 - 公布日： 2020-03-06 - 主分类号： A61N5/10 文献下载
摘要：本发明包括基于基准记号‑基准检测器的治疗室位置确定/定位系统及其使用方法。通常地，一组基准记号检测器检测从位于治疗室中的一个或多个物体上的一组基准记号发出的和/或反射的光子，并且由此确定的距离和/或计算的角度用来确定在治疗室中的多个对象或元件的相对位置。绘制的对象的位置用于：(1)成像诸如X射线，正电子发射断层摄影和/或质子束成像和/或(2)束瞄准和治疗，例如基于质子的癌症治疗。由于使用基准标记系统来动态地确定治疗室中的物体的相对位置，因此去除治疗束线等中心点的工程和/或数学约束。
癌症治疗基准标记系统及其使用方法

[发明专利]癌症治疗-质子断层摄影仪及其使用方法-CN201710376117.3有效
发明人： 威廉·戴维斯·李;马克·R·阿马托;尼克·鲁培尔;吉莉安·雷诺 -专利权人：质子国际控股公司
申请日： 2017-05-24 - 公布日： 2020-02-28 - 主分类号： A61N5/10 文献下载
摘要：本发明包括与质子断层摄影成像系统集成的质子疗法肿瘤治疗系统，质子断层摄影成像系统使用涂覆的片材，片材被设计为在与带电粒子束相互作用时发射光子。通常，对从涂覆的片材发射的光子进行成像的一个或多个检测器被用于确定在给定时间的带电粒子束的一个或多个点位置，这些片材也被称为成像片材。组合多个点位置产生指向带电粒子束的位置的局部段，例如进入患者和/或离开患者。在对肿瘤和周围组织样本绘图时和/或在治疗肿瘤时，使用一个或多个涂层产生的带正电粒子状态确定系统与闪烁检测器或断层摄影成像系统结合使用，其中共用的同步加速器、束输送和/或喷嘴元件被用于质子成像和癌症治疗两者。
癌症治疗质子断层摄影及其使用方法

[发明专利]恒定质量流的多层次冷却剂路径的静电夹盘-CN201580007872.3有效
发明人： 威廉·戴维斯·李 -专利权人：艾克塞利斯科技公司
申请日： 2015-02-06 - 公布日： 2019-12-10 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种工件支撑件，其具有容器，该容器具有顶部内壁及底部内壁。在所述顶部内壁与底部内壁之间界定内部腔室，其中支撑表面配置成支撑工件。板件定位于所述内部腔室内，该板件将所述内部腔室划分成顶部腔室及底部腔室。所述顶部与底部腔室绕所述板件的外围流体耦接。界定于所述顶部内壁及所述板件的顶部部分中的一个或多个中的第一锥体跨所述顶部腔室的径向横截面提供基本上恒定的容积。界定于所述底部内壁及所述板件的底部部分中的一个或多个中的第二锥体跨所述底部腔室的径向横截面提供基本上恒定的容积。第一端口及第二端口将所述顶部腔室及底部腔室流体耦接至各自的第一流体通道及第二流体通道。
恒定质量多层次冷却剂路径静电

[发明专利]用于大温度范围夹盘的多流体冷却系统-CN201580007888.4有效
发明人： 威廉·戴维斯·李;史蒂夫·德拉蒙德 -专利权人：艾克塞利斯科技公司
申请日： 2015-02-06 - 公布日： 2019-11-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种静电夹紧系统，其具有静电夹盘，该静电夹盘具有一个或多个电极和夹紧表面以及穿过该静电夹盘的一个或多个流体通道。多个流体源具有与其相关联的各自的多个流体，其中所述多个流体中的每一流体在化学上彼此相异且具有与其相关联的各自的可行流体温度范围。热单元配置成将多个流体加热和/或冷却至一个或多个预定温度设定点。阀组件配置成使所述多个流体源中的每一流体源选择性流体耦接至所述静电夹盘的所述一个或多个流体通道。控制器亦配置成经由对所述阀组件的控制使所述静电夹盘的所述一个或多个流体通道选择性与所述多个流体源中的所选一个或多个流体源流体耦接。
用于温度范围流体冷却系统

[发明专利]等离子体处理设备-CN201680015153.0有效
发明人：亚历山大·利坎斯奇;史费特那·B·瑞都凡诺;威廉·戴维斯·李 -专利权人：瓦里安半导体设备公司
申请日： 2016-03-16 - 公布日： 2019-06-25 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于形成植入到衬底中用的倾角离子束的等离子体处理设备。所述等离子体处理设备包含形成等离子体的等离子体室。提取孔口包含多个可旋转板。通过由多个可旋转板限定的孔口提取离子细束。这些板的旋转程度决定了提取离子束的提取角。这些板可以形成为多种不同的形状，这样可以增大可实现的最大提取角。另外，电极可以安置在板附近以影响提取角。本发明的等离子体处理设备允许多种多样的离子束角度并且因此允许多种多样的入射角度，且同时还能保持良好角展度。
倾角离子束多孔提取系统

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