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[发明专利]一种用于减少基片背面聚合物的装置-CN200910056086.9有效
发明人：倪图强;徐朝阳;吴狄;陈妙娟 -专利权人：中微半导体设备(上海)有限公司
申请日： 2009-08-07 - 公布日： 2011-03-23 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：本发明提供一种用于减少基片背面聚合物的装置，其设置在等离子体蚀刻室中，包含围绕设置在基座外周侧的聚焦环，该聚焦环具有一延伸部，其延伸至基片背面的边缘之下；包含设置于基片背面之下，并介于基座外周侧和聚焦环延伸部之间的低温环；还包含位于低温环之下，且围绕基座外周侧设置的散热环，该散热环由高导热的电绝缘材料制成。本发明通过所述的低温环和散热环，可快速地传导低温环上的热量，使低温环上的温度低于热裂解温度，最终可减少蚀刻过程中沉积生成在基片背面的聚合物。
一种用于减少背面聚合物装置

[发明专利]一种用于真空处理系统的流体传输装置-CN201010166384.6有效
发明人：倪图强;陈妙娟;吴狄 -专利权人：中微半导体设备(上海)有限公司
申请日： 2010-04-29 - 公布日： 2010-10-20 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种用于真空处理系统中的流体传输装置，其包括一个或多个套管，其连接于工艺片支撑台和冷却装置之间，其中，所述套管具有第一端和相对的第二端，在所述第一端和所述第二端设置有一个或多个用于通入和导出流体的通道，每个所述通道与所述工艺片支撑台中的冷却通路和设置于工艺片支撑台下方的冷却装置相通。本发明还提供一种包括上述流体传输装置的工艺片温度控制系统和真空处理系统。本发明具备更好的射频绝缘效果，并节省设备空间。
一种用于真空处理系统流体传输装置

[发明专利]氟代双苯磺酰亚胺作为氮杂Diels-Alder反应催化剂的应用-CN201010129107.8无效
发明人：官智;何延红;吴狄 -专利权人：西南大学
申请日： 2010-03-19 - 公布日： 2010-08-11 - 主分类号： B01J31/02 文献下载
摘要：本发明公开了氟代双苯磺酰亚胺作为氮杂Diels-Alder反应催化剂的应用，具有催化活性高、立体选择性好、价廉易得等优点；还提供了以氟代双苯磺酰亚胺为氮杂Diels-Alder反应催化剂合成异奎宁环化合物(I)的方法，是以氟代双苯磺酰亚胺为催化剂，在无溶剂或有机溶剂中催化环己烯酮、芳香醛(II)和芳香胺(III)发生氮杂Diels-Alder反应，制得异奎宁环化合物，具有操作简便快速、产物收率高、立体选择性好、环境污染小、生产成本低等优点，应用前景好。
氟代双苯磺酰亚胺作为 diels alder 反应催化剂应用

[实用新型]等离子体约束装置及利用该等离子体约束装置的等离子体处理装置-CN200920071398.2有效
发明人：陈金元;周宁;欧阳亮;吴狄;徐朝阳;杜志游;尹志尧 -专利权人：中微半导体设备(上海)有限公司
申请日： 2009-04-30 - 公布日： 2010-06-23 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种用于等离子体处理装置的等离子体约束装置，其设置于所述等离子体处理装置的处理区域和排气区域之间。所述等离子体约束装置包括相互间隔设置并形成狭长通道的多个环。所述狭长通道具有变深宽比和变通道宽的结构。该等离子体约束装置不仅能将等离子体约束在处理区域内，减少因等离子体扩散而引起的处理腔室污染问题，而且可以大大增加处理腔室的排气效率，减少使用过的反应气体和副产品气体停留在处理腔窒内的时间。
等离子体约束装置利用处理

[实用新型]用于等离子体处理室的内部组件及气体喷头组件-CN200920076954.5有效
发明人：徐朝阳;吴狄;荒见淳一;倪图强 -专利权人：中微半导体设备(上海)有限公司
申请日： 2009-06-26 - 公布日： 2010-06-09 - 主分类号： H01J37/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于等离子体处理室的内部组件，包括具有第一连接表面的第一处理室部件、涂覆于第一连接表面上的聚四氟乙烯涂层、以及第二处理室部件，其具有与聚四氟乙烯涂层相接触的第二连接表面。本实用新型还提供了包括温度控制元件和气体喷头的气体喷头组件，温度控制元件包括加热板和涂覆于加热板上的聚四氟乙烯涂层，气体喷头具有接触聚四氟乙烯涂层的第二连接表面。本实用新型的内部组件消除了在等离子体处理过程中第一处理室部件与第二处理室部件之间因热膨胀产生位移而引起的颗粒污染的问题，并且通过聚四氟乙烯涂层提供了更光滑的接触面，提供由于温度的变化导致的两等离子体处理室部件在横向移动上的灵活性，提高了加工效率，降低了使用成本，也提高了等离子体处理室的稳定性，适合于大规模工业化生产。
用于等离子体处理内部组件气体喷头

[发明专利]微波通信设备、适配器及通信系统-CN200910089910.0有效
发明人：吴狄;王天祥;肖凌文;姜伟;陈泽峰;郭智力;黄雄斌;廖星;谢辉 -专利权人：华为技术有限公司
申请日： 2009-07-28 - 公布日： 2009-12-30 - 主分类号： H04B7/00 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种微波通信设备、适配器及通信系统，其中，微波通信设备包括天线和与所述天线连接的通信接口模块，通信接口模块包括：微波接口第一连接部，用于与携带有第二波导孔的外部微波接口第二连接部匹配连接；第一波导孔，位于所述微波接口第一连接部上，用于与所述第二波导孔对接，以在所述天线和所述第二波导孔之间传输微波通信信号；第一连接区域，位于所述微波接口第一连接部与所述第一波导孔之间，用于将所述第一波导孔与传输微波通信信号的外部馈线连接。通过微波接口连接部与微波通信设备中的波导孔连接，通过连接区域与外部馈线连接，提高了微波通信设备的普适性。
微波通信设备适配器系统

[发明专利]α，α-氟氯芳甲基膦酸酯及其制备方法-CN200910103270.4无效
发明人：官智;吴狄;何延红 -专利权人：西南大学
申请日： 2009-02-26 - 公布日： 2009-07-29 - 主分类号： C07F9/40 文献下载
摘要：本发明公开了通式(I)所示的α，α-氟氯芳甲基膦酸酯，其制备方法是芳甲醛和亚膦酸酯在溶剂中、碱催化条件下进行Pudovik加成反应，制得α-羟基芳甲基膦酸酯，再与三苯基膦在溶剂中进行亲核取代反应，制得α-氯芳甲基膦酸酯，最后与N-氟双苯磺酰胺在溶剂中、碱催化条件下进行亲电取代反应，即制得α，α-氟氯芳甲基膦酸酯；本发明的α，α-氟氯芳甲基膦酸酯可能具有潜在的PTPs抑制活性，也可作为α-氟磷酸酯的合成中间体。
氟氯芳甲基膦酸酯及其制备方法

[发明专利]无环核苷膦酸酯衍生物及其医药用途-CN200710097600.4无效
发明人：仲伯华;陈兰福;牛俊奇;吴狄;马华智;廖明阳 -专利权人：中国人民解放军军事医学科学院毒物药物研究所
申请日： 2007-04-28 - 公布日： 2008-10-29 - 主分类号： C07F9/6561 文献下载
摘要：本发明涉及式I无环核苷膦酸酯衍生物及其非毒性药学上可接受的盐，水合物或溶剂合物，其中，各取代基的定义如说明书所述。本发明还涉及所述式I化合物的制备方法，含有该化合物的药物组合物，及其用于制备治疗乙肝病毒感染的药物的用途。
核苷膦酸酯衍生物及其医药用途

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