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[发明专利]一种基于全光纤晶格干涉的超分辨成像系统及方法-CN202211027120.1在审
发明人：陈友华;嵇承;匡翠方;张金风;刘旭 -专利权人：浙大宁波理工学院
申请日： 2022-08-25 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： G01N21/45 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于全光纤晶格干涉的超分辨成像系统及方法，成像系统包括：光源模块，用于发出不同波长的线偏振激光束；分束与移相模块，其包括用于接收线偏振激光束、并将其分为第一光束、第二光束以及第三光束的分束单元以及用于改变第一光束与第二光束相位的移相单元；显微镜模块，用于接收第一光束、第二光束以及第三光束并将其照射在样品上形成干涉图案，并用于收集样品激发的荧光信号；成像模块，用于接收显微镜模块收集的荧光信号、并成像；其中移相单元包括保偏光纤和压电陶瓷，保偏光纤的中部缠绕在压电陶瓷上，则通过对压电陶瓷施加电压，便能改变保偏光纤中第一光束和第二光束的相位，移相速度快，可以提高成像速度。
一种基于光纤晶格干涉分辨成像系统方法

[发明专利]一种基于方形多模光纤高通量的三维激光直写方法及系统-CN202211046913.8在审
发明人： 匡翠方;温积森;徐良;朱大钊;丁晨良 -专利权人：之江实验室;浙江大学
申请日： 2022-08-30 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于方形多模光纤高通量的三维激光直写方法及系统，本发明将由多个方形多模光纤组成的光纤阵列作为激光直写头，每一方形多模光纤均利用一空间光调制器对入射方形多模光纤的光场根据加载的计算好的相位图进行相位调制，在出射面实现聚焦，聚焦后的激光对待加工物体进行三维激光直写；其中，每一方形多模光纤对应的计算好的相位图通过设置的聚焦位置，利用闭环的迭代遗传算法进行优化获得，每一方形多模光纤出射激光的聚焦位置根据光纤阵列排列时的加工误差进行设置。利用方形多模光纤可以紧致排列的特点，可将系统拓展为多通道，继而实现多通道并行直写，直写效率进一步提高，解决了现有激光直写系统直写速度慢分辨率低等问题。
一种基于方形光纤通量三维激光方法系统

[发明专利]一种双物镜三维结构光照明超分辨显微成像装置与方法-CN202211110919.7在审
发明人： 匡翠方;孙逸乐;尹禄;伍晗萌;李海峰;徐良;刘旭 -专利权人：浙江大学
申请日： 2022-09-13 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： G02B21/06 文献下载
摘要：本发明公开一种双物镜三维结构光照明超分辨显微成像方法，照明激光光束分为可快速改变方向的多束激发光；多束激发光分为等光强的两部分，经过两个上下两个物镜后在样品平面发生干涉，形成调制照明的条纹图样；样品在照明调制情况下产生的荧光被双物镜接收经过分束和相位延迟后在探测器平面形成四幅相位差依次为Π/2的图像；依次旋转结构光照明图样的干涉条纹的方向，在不同条纹方向下多次改变干涉条纹的相位，得到各干涉条纹方向不同对应相位下的多幅荧光强度图像；将采集到的四幅子图进行配准并相加，利用不同干涉条纹方向和相位的产生的荧光强度图像重构出一幅结构光超分辨显微图像。本发明还公开一种双物镜三维结构光照明超分辨显微成像装置。
一种物镜三维结构照明分辨显微成像装置方法

[发明专利]一种基于DMD的高光谱探测模块-CN202211126876.1在审
发明人：陈友华;杜匡为;刘清清;匡翠方 -专利权人：浙大宁波理工学院
申请日： 2022-09-16 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： G02B21/00 文献下载
摘要：本发明属于显微镜技术领域，提供了一种基于DMD的高光谱探测模块，用于共聚焦显微镜，所述显微镜至少包括一激光光源和扫描成像模块，激光光源发出的照明光线通过扫描成像模块照射至待测样品上而产生荧光，包括一DMD阵列，其中包含多个微镜，以各微镜倾斜方向的改变而调节入射光经其反射后的出射方向；以及中央控制单元，其被配置为对由光电倍增管收集的，并经所述DMD阵列反射得到的反射光谱进行重构并还原出预设波段荧光的图像。本发明的优点在于通过DMD阵列的逐行开启与关闭实现对光谱不同通道的选择，避免了传统使用滤光转轮或移动狭缝等方式带来的机械扰动，提升了光谱检测的精度。
一种基于 dmd 光谱探测模块

[发明专利]一种双光束实时中心对准和稳定的装置和方法-CN202110061579.2有效
发明人： 匡翠方;丁晨良;朱大钊;魏震;杨臻垚;刘旭;徐良 -专利权人：之江实验室;浙江大学
申请日： 2021-01-18 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： G02B7/182 文献下载
摘要：本发明公开了一种双光束实时中心对准和稳定的装置和方法，该装置包括可调小孔、旋转反射镜、直角棱镜反射镜、纳米位移台、角度压电调节镜架、二色镜、分束镜、透镜、位置探测器和控制器等部件。本发明可以对两束不同波长的激光束进行合束，确保光斑中心严格对准，并且对出射后的合束光进行光束稳定，在长时间工作中保持两束光的中心一直稳定在重合状态，实现小型化、高精度、快速度的合束光稳定控制。利用本发明装置调整得到稳定的合束光，可以广泛用于超分辨显微成像和高精度激光直写光刻等系统中。
一种光束实时中心对准稳定装置方法

[发明专利]一种DMD无掩膜光刻机的投影物镜镜头-CN202211157008.X有效
发明人： 匡翠方;张凌民;魏震;李海峰;朱大钊;丁晨良;徐良 -专利权人：之江实验室;浙江大学
申请日： 2022-09-22 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种DMD无掩膜光刻机的投影物镜镜头，从入射方向开始依次设置：具有正光焦度第一透镜组；光阑；具有负光焦度第二透镜组；具有正光焦度第三透镜组；其中：第一透镜组接收从DMD出射的光线，包含3个光焦度依次为负、正、负的透镜；第二透镜组收集从第一透镜组出射的光线，并将其出射至第三透镜组，第二透镜组包含四个光焦度依次为正、负、正、负的透镜；第三透镜组收集从第二透镜组出射的光线，并将其聚焦于基底，第三透镜组包含4个光焦度依次为正、正、正、负的透镜；所述透镜均处于同一光轴。本发明能校正多种像差，特别是畸变、场曲、像散、轴向色差、倍率色差。
一种 dmd 无掩膜光刻投影物镜镜头

[发明专利]基于超快激光时空变换的掩膜版或晶圆缺陷高速检测装置及方法-CN202210990663.7在审
发明人：崔玉栋;王海威;张嘉润;郝翔;路天畅;匡翠方;刘旭 -专利权人：浙江大学
申请日： 2022-08-18 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于超快激光时空变换的掩膜版或晶圆缺陷高速检测装置及方法，包括激光依次通过的超快光源产生装置、时空域色散装置、样品照明与扫描检测装置和信号探测与处理装置，超快光源产生装置包括相连的超快脉冲种子源和放大装置；时空域色散装置包括激光依次通过的时域色散元件、损耗补偿和放大装置和空域色散元件；采用超快激光脉冲作为照明光源，利用时间‑光谱‑空间映射实现对样品的照明，通过单点探测器高速获取信号，每一个激光脉冲可以实现对样品的一次照明和检测，通过对样品的快速移动，可以实现对样品的高速检测，其数据通量可达1010/s以上，极大地提升了缺陷检测的速度，是对传统缺陷检测技术的有力补充。
基于激光时空变换掩膜版缺陷高速检测装置方法

[发明专利]一种飞秒激光固化交联的聚酰胺酸光刻胶及其制备方法、使用方法和应用-CN202211155652.3有效
发明人： 匡翠方;沈小明;曹春;夏贤梦;关玲玲;邱毅伟 -专利权人：之江实验室;浙江大学
申请日： 2022-09-22 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明公开了一种飞秒激光固化交联的聚酰胺酸光刻胶及其制备方法、使用方法和应用，按重量份数计，由以下组分组成：5‑30份的二酐和二胺的合计、5‑30份的丙烯酸酯类固化交联剂、0.5‑5份的双光子自由基引发剂和0.5‑5份的光酸剂。本发明通过在聚酰胺酸飞秒激光光刻胶中加入丙烯酸类树脂作为固化交联剂，在光刻过程中形成图案化，同时加入聚酰胺酸作为成膜剂并保留了聚酰亚胺光刻胶良好的性能，既不需要复杂的化学合成，又获得了良好的光刻胶性能。
一种激光固化交联聚酰胺光刻及其制备方法使用方法应用

[发明专利]一种基于双步吸收效应与STED原理的超分辨光刻方法-CN202210817874.0有效
发明人：刘锡;匡翠方;丁晨良;沈小明;杨臻垚;汤孟博;刘旭 -专利权人：之江实验室;浙江大学
申请日： 2022-07-13 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于双步吸收效应与STED原理的超分辨光刻方法，对于含有特殊光引发剂的光刻胶，使用两束不同波长的光源照射光刻胶，第一束激光以聚焦实心斑照射到光刻胶，利用聚焦实心斑与该光刻胶发生双步吸收作用使得光刻胶聚合固化；第二束激光为聚焦空心斑，且与第一束激光的三维中心对准，使得两束光边缘重合区域的光刻胶不发生聚合固化，通过控制两束光的相对能量，从而实现亚衍射极限2D及3D结构刻写，刻写最小精度可达亚50nm。
一种基于吸收效应 sted 原理分辨光刻方法

[发明专利]一种相位型空间光调制器的标定方法及装置-CN202011460502.4有效
发明人：郝翔;刘鑫;韩于冰;匡翠方;刘旭 -专利权人：浙江大学
申请日： 2020-12-11 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种相位型空间光调制器的标定方法及装置。光源发出线偏振光入射到加载有灰度图的空间光调制器，灰度图分布为：一半屏幕的灰度始终为0，另一半屏幕的灰度为G，在标定过程中G逐步由0增加至255；经过空间光调制器进行相位调制后反射到达相机；通过相机接收并记录衍射图样，通过衍射图样中暗条纹强度即可推算出相位型空间光调制器上加载的灰度G所对应的调制相位。与已有技术相比，本发明所公开的方法及装置简单稳定，标定效率高，精度高，能够广泛用于相位型空间光调制器的标定与检测。
一种相位空间调制器标定方法装置

[发明专利]光学超振激发和阵列探测接收的超分辨显微方法及系统-CN202210932851.4在审
发明人：刘勇;匡翠方 -专利权人：之江实验室
申请日： 2022-08-04 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： G01N21/64 文献下载
摘要：本发明公开了一种集成光学超振激发和阵列探测接收的超分辨显微方法及系统，利用振幅、相位和偏振调制照明光束，获得由中心焦斑和旁瓣环带构成的光学超振场；通过光束二维扫描实现中心焦斑和旁瓣环带的双模式调制照明，激发不同空间频带范围的荧光信号；利用阵列探测器接收被调制的荧光信号；根据荧光信号在激发和探测端的时空调制特性，通过算法重构双模式调制照明产生的两幅图像，最后重构出光学超振调制激发对应的超分辨图像。本发明利用低强度双模式光学超振激发，由荧光线性效应提供图像对比度，可以更好适用于长时程、多色、快速和超分辨活细胞成像。
光学激发阵列探测接收分辨显微方法系统

[发明专利]一种实现超高速结构光照明显微成像的方法和装置-CN202210791925.7在审
发明人： 匡翠方;谢舜宇;陈友华;徐良;刘向东;毛磊;刘旭 -专利权人：浙江大学
申请日： 2022-07-05 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： G02B21/00 文献下载
摘要：本发明公开一种实现超高速结构光照明显微成像的方法，包括：1)对光源发出的照明光束进行整形，形成光强均匀分布的照明光束；2)将所述照明光束分光，分束为一个中心干涉光路和多个干涉子光路，每个干涉子光路在样品面具有不同方向的照明干涉条纹；3)对各干涉子光路进行光程补偿，使所有子光路的光程相同，且每个干涉子光路的光均被分为p偏振光和s偏振光；4)中心干涉光路的光束与各干涉子光路的p偏振光和s偏振光合束后照明到样品上，形成结构光照明图案；5)采集样品激发的荧光进行显微成像。本发明还公开一种实现超高速结构光照明显微成像的装置。本发明可以大幅提高对照明光的调制速度，从而实现超高速的结构光照明成像。
一种实现超高速结构照明显微成像方法装置

[发明专利]一种基于激光直写的图案化Zn-MOF膜的制备方法-CN202210823416.8有效
发明人：关玲玲;曹春;夏贤梦;邱毅伟;沈小明;匡翠方 -专利权人：之江实验室
申请日： 2022-07-14 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于激光直写的图案化Zn‑MOF膜的制备方法，属于图案化材料的技术领域，该制备方法包括以下步骤：（1）利用飞秒激光直写技术，对锌基光刻胶进行图案化光刻，显影后得到聚合后的光刻图案；（2）将得到的光刻图案进行高温退火，得到图案化的ZnO薄膜；（3）以ZnO为金属源，将其置于含有配体溶液的反应釜中，通过水热反应得到图案化的Zn‑MOF膜，本发明利用激光直写的方法能快速制备图案化的MOF膜、操作简单，更能在微米尺寸对MOF膜的图案进行控制。
一种基于激光图案 zn mof 制备方法

[发明专利]基于SLM生成光斑点阵的焦面检测及调倾方法与装置-CN202210975776.X有效
发明人： 匡翠方;孙秋媛;丁晨良;徐良;杨臻垚 -专利权人：之江实验室;浙江大学
申请日： 2022-08-15 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于SLM生成光斑点阵的焦面检测及调倾方法与装置，所述方法在SLM上加载n×n圆形点阵，入射光束依次经过三角棱镜第一反射面、SLM、三角棱镜第二反射面、二分之一波片、偏振分束镜、四分之一波片、透镜、物镜，入射到样品表面；经样品表面反射后，反射光依次经过物镜、透镜、四分之一波片和偏振分束镜后，分束为第一光束和第二光束；其中，第一光束入射到第一CCD相机进行成像，第二光束入射到第二CCD相机进行成像，记录两个CCD相机上的光斑点阵的直径；基于两光斑点阵的直径的差值计算离焦量，进而获得焦点位置；并计算样品的倾斜度，从而对焦面进行调倾。本发明解决焦面倾斜问题，装置简单，成本低。
基于 slm 生成光斑点阵检测方法装置

[发明专利]一种用于氯离子传感的金属有机框架材料及其制备方法-CN202210823473.6有效
发明人：关玲玲;曹春;邱毅伟;沈小明;夏贤梦;匡翠方 -专利权人：之江实验室;浙江大学
申请日： 2022-07-14 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： C08G83/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于氯离子传感的金属有机框架材料及其制备方法，该金属有机框架材料的制备方法包括如下步骤：（1）制备合成了含有未配位羧基的双配体Zr‑NDC‑PMA材料；（2）通过后修饰的方法将Ag+和Eu3+同时配位到MOF中的未配位羧基位点，得到Ag+/Eu3+@Zr‑NDC‑PMA荧光探针材料，本发明所获得的金属有机框架材料稳定性良好，能在水溶液中对氯离子进行快速识别、定量检测，而且此探针可以实现对氯离子的比率型传感，具有良好的抗干扰性和灵敏度，可用于生物、环境、化学等样品中氯离子的传感。
一种用于氯离子传感金属有机框架材料及其制备方法