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[发明专利]基于干涉点阵和DMD的边缘光抑制阵列并行直写装置-CN202110049599.8有效
发明人：匡翠方;杨顺华;刘旭;李海峰;刘秋兰;丁晨良;杨臻垚 -专利权人：之江实验室;浙江大学
申请日： 2021-01-14 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于干涉点阵和DMD的边缘光抑制阵列并行直写装置，该装置主要包含两路光：一路光通过偏振分束器产生偏振方向两两相同的四光束，四光束在物镜焦平面重叠，进行振幅和强度叠加后产生干涉点阵，点阵暗斑用作抑制涡旋光阵列；另一路光通过数字微镜器件DMD产生激发光点阵，并投影到物镜焦平面上和抑制涡旋光阵列重合，在大视场中可得到万束量级以上边缘光抑制阵列，可用于高通量超分辨的双光子直写。
基于干涉点阵 dmd 边缘抑制阵列并行装置

[发明专利]一种基于边缘光抑制的共路相位调制激光直写方法与装置-CN202111240501.3有效
发明人：匡翠方;刘秋兰;杨臻垚;张智敏;朱大钊;徐良;刘旭 -专利权人：之江实验室;浙江大学
申请日： 2021-10-25 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于边缘光抑制的双光束共路相位调制激光直写方法与装置，包括引发光刻胶产生聚合反应的激发光源和抑制（或中断）光刻胶聚合的抑制光源。两束准直光以互相垂直的线偏振态进行合束，合束后的两束光经过同一个空间光调制器（SLM）进行相位调制。将所述SLM分成两部分，对应偏振的激发光被SLM第一部分调制相位进行像差校正，最后经过物镜聚焦形成圆形实心光斑；与激发光偏振相垂直的抑制光被SLM第二部分调制相位，最后经过物镜聚焦形成环形空心光斑。激发光的圆形实心光斑与抑制光环形空心光斑中心重合。本发明通过将SLM进行区分复用，对基于边缘光抑制的激光直写技术的双光束同时进行光场调控，实现共路相位调制。
一种基于边缘抑制相位调制激光方法装置

[发明专利]矢量三维灰度激光直写光刻方法、装置及系统-CN202310467568.3在审
发明人：匡翠方;王洪庆;贾天浩;杨臻垚;刘旭 -专利权人：之江实验室;浙江大学
申请日： 2023-04-25 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请涉及一种矢量三维灰度激光直写光刻方法、装置及系统。方法包括：基于待刻写结构的二维灰度图生成若干组三维灰度刻写数据；每一组三维灰度刻写数据表示一个拼接单元；将每组三维灰度刻写数据转化为矢量刻写数据和扫描位置数据；将矢量刻写数据输出至高速光调制器件控制刻写激光的强度，将扫描位置数据输出至扫描器件控制刻写激光的扫描位置，直到完成对所有拼接单元的刻写。采用本方法能够实现矢量刻写控制，回避非必要区域刻写，有效提高刻写效率，并将传统的层切数据替换为灰度层切数据，解决了逐层刻写过程中层与层之间的台阶问题。
矢量三维灰度激光光刻方法装置系统

[发明专利]三维激光刻写方法、装置、计算机设备和系统-CN202310572478.0在审
发明人：王洪庆;匡翠方;杨顺华;苏晨怡;贾天浩;杨臻垚;刘旭 -专利权人：之江实验室;浙江大学
申请日： 2023-05-18 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： B23K26/362 文献下载
摘要：本申请涉及一种三维激光刻写方法、装置、计算机设备和系统。所述方法包括：依次获取刻写对象每层对应的二维灰度图；基于所述二维灰度图获取每个刻写点的刻写图像数据；依次控制位移台移动至每行所述刻写点对应的起始位置并控制所述位移台按照指定程序移动，在所述位移台到达指定位置时，控制数字微镜基于对应的所述刻写点的所述刻写图像数据进行并行激光刻写操作。通过本申请，解决了相关技术中刻写效率较低，并且刻写质量较差的技术问题，通过移动位移台去除了拼接步骤，并通过数字微镜并行进行激光刻写，进而提高了激光刻写的效率和质量。
三维激光刻写方法装置计算机设备系统

[发明专利]一种基于转镜的三维阵列打印系统的激光直写打印方法及装置-CN202310259330.1在审
发明人：汤孟博;匡翠方;杨臻垚;王洪庆;詹兰馨;刘旭;李海峰 -专利权人：之江实验室;浙江大学
申请日： 2023-03-13 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： B29C64/386 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于转镜的三维阵列打印系统的激光直写打印方法，包括：基于最大刻写长度刻写的直线中选取粗细均匀且连续的线段，作为转镜的有效刻写长度；根据预设打印参数和有效刻写长度，计算获得打印平台的单次移动距离；根据预设打印参数，有效刻写长度以及单次移动距离，生成一个或多个连续垂直分布于转镜扫描平面的二维刻写数据文件；根据预设的刻写功率，二维刻写数据文件输入至三维阵列打印系统中，通过刻写激光对打印平台上的刻写材料进行循环输出，获得所述三维结构对应的阵列打印件。本发明还提供了一种激光直写打印方法。本发明提供的方法可以有效解决实际三维刻写过程中耗时过长的问题。
一种基于三维阵列打印系统激光方法装置

[发明专利]一种同时实现高精度激光直写与超分辨显微成像的方法与装置-CN202310017454.9在审
发明人： 杨臻垚;刘秋兰;张晓依;邱毅伟;匡翠方;刘旭 -专利权人：之江实验室;浙江大学
申请日： 2023-01-06 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： G02B21/00 文献下载
摘要：一种同时实现高精度激光直写与超分辨显微成像的方法，通过在光刻胶中掺杂可以闪烁的荧光染料，利用边缘光抑制效应的双光束实现高精度激光直写，以及利用随机光重构显微方法进行超分辨成像。一种同时实现高精度激光直写与超分辨显微成像的装置包括进行高精度激光直写的两个光源和进行超分辨显微成像的另两个光源；其中，前者两个光源分别为使光刻胶产生光聚合过程的激发光光源和对光刻胶产生抑制聚合的抑制光源；后者两个光源分别为对染料进行活化的激活光和激发荧光染料发荧光的激发光。本发明通过在一个系统中集成激光直写与光学显微成像，进而同时实现超分辨刻写与成像两个功能，实现刻写结构的无损、非侵入直写光学成像，操作简便，节约成本。
一种同时实现高精度激光分辨显微成像方法装置

[发明专利]一种基于转镜的高速刻录系统的光存储方法及装置-CN202310266267.4在审
发明人：汤孟博;匡翠方;杨臻垚;王子昂;王洪庆;刘旭;李海峰 -专利权人：之江实验室;浙江大学
申请日： 2023-03-13 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： G11B7/0045 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于转镜的高速刻录系统的光存储方法，所述光存储方法基于高速刻录系统实现，包括：一、编码包括数据信息和刻录坐标的待存储数据，获得对应的二进制编码；二、调整二进制编码，获得存储编码；三、校准高速数字输出卡和确定刻录基底面；四、根据存储编码生成对应的光强波形数据并存入校准好的高速数字输出卡中；五、校准物镜与刻录基底面之间的光学球差，控制刻录激光进行y轴方向的刻录操作；六、调节物镜焦距的偏移量，并重复步骤五，直至完成z轴方向上所有存储编码的刻录，获得三维体存储数据。本发明还提供了一种光存储装置。本发明提供的方法解决了现有技术中数据存储时间过长的问题，提高了刻录的成功率和精确性。
一种基于高速刻录系统存储方法装置

[发明专利]一种基于连续谱光源的可变波长激光直写光刻系统与应用-CN202310807886.X在审
发明人：马程鹏;匡翠方;张杨燕;孙秋媛;孙琦;杨臻垚;丁晨良 -专利权人：之江实验室;浙江大学
申请日： 2023-07-04 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于连续谱光源的可变波长超分辨激光直写光刻系统，属于超精密光学成像与刻写技术领域，包括光源与刻写模块，其中光源为连续谱光源；光源与刻写模块之间还设有用于形成多个分光路的分光模块、设于相应分光路上的光束调节组件，以及用于将多个分光路汇合为刻写光束组合的合束模块；光束调节组件包括滤波模块，和能量调节模块或波相差调节模块中的一种或串联设置的两种组合。与现有技术相比，本发明提供一种多路单独滤波及调制的光源调制光路，可同时实现多通道不同波长的光束调制，多光束可互相配合，通过不同轴汇合或同轴重合方式，实现多通道超分辨光刻或基于边缘抑制的超分辨光刻。
一种基于连续谱光源可变波长激光光刻系统应用

[发明专利]一种可控脉冲展宽与延时的超分辨激光直写装置及方法-CN202111241114.1有效
发明人：匡翠方;丁晨良;杨臻垚;孙秋媛;杨顺华;徐良;刘旭 -专利权人：之江实验室
申请日： 2021-10-25 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开一种可控脉冲展宽与延时的超分辨激光直写装置及方法，该装置包括飞秒激光光源、二分之一波片、偏振分光棱镜、脉冲展宽器、能量调制器、相位板、直角棱镜、反射镜等部件。本发明将飞秒光源出射的飞秒光束分成两束光，对其中一束进行脉冲展宽与光强分布的调制，然后将两束光合束后入射到刻写系统，实现同波长的基于边缘光抑制的激光刻写。利用本发明的装置可以得到一束强度分布为高斯的飞秒光束和一束可调脉冲宽度、可调光强分布的光束，并且可以通过调控光程来精细调控分束后的两个光束达到刻写样品上的时间，精度可达皮秒量级，可用于高精度激光直写光刻系统。
一种可控脉冲展宽延时分辨激光装置方法

[发明专利]激光刻写方法、装置和系统-CN202310572492.0在审
发明人：王洪庆;匡翠方;罗昊;贾天浩;杨臻垚;刘旭 -专利权人：之江实验室;浙江大学
申请日： 2023-05-18 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请涉及一种激光刻写方法、装置和系统。所述方法包括：获取目标结构的二维灰度图像以及激光刻写设备的刻写通道数；根据所述二维灰度图像，生成灰度刻写数据；将所述灰度刻写数据根据所述刻写通道数，拆分成对应不同刻写通道的单通道刻写数据；获取位移台的位置信息；基于所述位置信息，将对应每个所述刻写通道的所述单通道刻写数据发送至调制器阵列，以使激光刻写设备基于多个单通道刻写数据进行目标结构的刻写。采用本方法能够在大幅提升扫描速度的同时，还实现了表面粗糙度的提升，有效改善了传统3D激光直写方法刻写速度与刻写质量难以兼顾的问题。
激光刻写方法装置系统

[发明专利]电路板和转接器-CN202310277812.X有效
发明人：匡翠方;张良;关键;刘旭;徐良;孙琦;杨臻垚;樊吴申 -专利权人：之江实验室;浙江大学
申请日： 2023-03-21 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： H05K1/02 文献下载
摘要：本申请涉及一种电路板和转接器。电路板包括基板、接口组和连接器。基板包括堆叠设置的布线层、第一接地层和第二接地层；所述布线层包括上布线层和下布线层；所述第一接地层和所述第二接地层设置于所述上布线层和所述下布线层之间；所述第一接地层靠近所述上布线层设置；所述第二接地层靠近所述下布线层设置；所述第一接地层与所述第二接地层共用接地端；接口组设置于所述上布线层，用于与输入设备和输出设备连接；所述接口组包括多个与所述布线层电连接的信号接口；连接器设置于所述下布线层，用于与处理器连接；所述连接器与所述布线层电连接；所述信号接口通过所述布线层与所述连接器电连接。
电路板转接

[发明专利]激光直写系统刻写方法、装置及计算机设备-CN202310399542.X在审
发明人：匡翠方;杨臻垚;詹兰馨;张良;樊吴申;汤孟博;关键;刘旭 -专利权人：之江实验室;浙江大学
申请日： 2023-04-14 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请涉及一种激光直写系统刻写方法、装置及计算机设备。所述激光直写系统包括图像传感模块、振镜、位移台，所述方法包括：确定所述位移台移动的第一距离与所述图像传感模块像素点对应移动的第二距离之间的第一关系；基于所述第一关系和预设系数确定振镜电压与刻写长度的第二关系；基于所述第二关系对待刻写文件进行刻写。本申请通过确定振镜电压与刻写长度的第二关系，可以在刻写前直接确定当前刻写环境中的最佳系统参数，根据需要刻写的长度精确控制振镜电压，有效提高实际刻写长度的精确度，解决了多视场刻写可能存在的拼接错位问题，无论是在单视场范围内刻写还是大面积刻写的应用场景都能够有效提高刻写准确率，进而提高刻写成功率。
激光系统刻写方法装置计算机设备

[发明专利]一种基于转镜的并行三维灰度激光直写方法和装置-CN202310467150.2在审
发明人：王洪庆;匡翠方;彭伏平;贾天浩;杨臻垚;刘旭 -专利权人：之江实验室;浙江大学
申请日： 2023-04-25 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请涉及一种基于转镜的并行三维灰度激光直写光刻方法，其中，该方法包括：通过刻写激光器，生成刻写激光；根据光学衍射器件和刻写激光，生成多路刻写光束；根据待刻写结构的二维灰度图产生三维灰度刻写数据；基于转镜并行刻写算法和多路刻写光束的光束数，将三维灰度刻写数据拆分并写入到波形发生器的不同输出通道；在位移台移动到目标位置时，利用波形发生器的不同输出通道的三维灰度刻写数据，控制多通道声光调制器各个对应的通道的开关或振幅调制，完成对待刻写结构进行并行刻写。通过本申请，解决了相关技术中存在三维激光刻写时容易出现明显的台阶现象问题，提高了三维激光刻写速度，消除了三维激光刻写时明显的台阶现象。
一种基于并行三维灰度激光方法装置

[发明专利]一种基于转镜的光存储信息的高速读取方法及装置-CN202310133694.5在审
发明人： 杨臻垚;匡翠方;汤孟博;张嘉晨;张晓依;王子昂;刘旭;李海峰 -专利权人：之江实验室;浙江大学
申请日： 2023-02-07 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G11B7/005 文献下载
摘要：一种基于转镜的光存储信息的高速读取方法，包括：使转镜在固定转速下沿着X方向匀速转动；计算采集卡接收到转镜行脉冲后每次采集的延迟时间；控制大行程气浮位移台在Y方向执行一次匀速运动，并在经过采集区域的起始位置时，产生位置触发信号，使能采集卡采集光强信号；采集卡使能后，每接收到一个行脉冲，采集卡采集一行的光强信号，经处理后转换为图像中的一行数据；采集到该区域的图像数据后，经过一系列处理得到该采集区域的二值化数据信息；大行程气浮位移台移动到下一个采集区域，重复执行上述步骤，得到整个采集区域的二值化数据；Z轴位移台移动到采集区域的下一层，重复上述过程，直至采集完整个三维区域内的所有二值化数据，并根据存储时已知的算法进行解码，得到该整个三维区域内的原始存储数据。
一种基于存储信息高速读取方法装置

[发明专利]光斑自动跟焦装置及其方法-CN202310513844.5在审
发明人：张良;匡翠方;杨臻垚;丁晨良;樊吴申;孙秋媛;刘旭;周国尊 -专利权人：之江实验室;浙江大学
申请日： 2023-05-09 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： H04N23/67 文献下载
摘要：本申请提供一种光斑自动跟焦装置及其方法。该光斑自动跟焦装置包括光源、光学系统、物镜、物镜压电位移器、四象限光电探测器及控制系统，光源发出的入射光束经由光学系统和物镜通过入射光路入射到样品表面，其中，四象限光电探测器用于接收经样品表面反射并经由物镜和光学系统通过反射光路出射的反射光束，并将反射光束的光信号转换为四路电信号；控制系统用于基于四路电信号来确定入射到样品表面的入射光斑的离焦量，并基于入射光斑的离焦量来生成补偿控制信号给物镜压电位移器；物镜压电位移器用于基于补偿控制信号来控制物镜沿轴向移动以使入射光斑能够始终聚焦于样品表面。本申请能够自动控制物镜轴向运动以达到自动跟焦目标。
光斑自动装置及其方法

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