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[实用新型]一种尺寸可调的预制构件吊装装置-CN202321212223.5有效
发明人：郭帅;柳勇;丁勇;刘佳佳;乔忠凡;宋思源;张席;经立;朱大钊 -专利权人：上海宝冶集团有限公司
申请日： 2023-05-18 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： B66C1/14 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种尺寸可调的预制构件吊装装置，通过转接方管、凹槽横梁和卡扣横梁连接构成吊装框架，先用卡扣横梁和凹槽横梁连接在转接方管的两端构成L型组件，再同时使用四个L型组件相互连接即可组成吊装框架。顶耳板连接在吊装框架的上端面，而侧耳板连接在吊装框架的侧面。将悬挂杆穿过侧耳板用于连接预制构件，将吊装绳穿过顶耳板用于连接吊装工具使其整体结构的吊升。使用时可通过调节卡扣横梁伸入凹槽横梁的长度，即可灵活调节吊装框架的尺寸大小。通过调节长螺杆伸入中空杆套的长度，使悬挂杆调整至与预制构件上的吊点相对应，即可实现灵活调整吊装预制构件时平衡性和稳定性，以提升预制构件装配吊装的工作效率。
一种尺寸可调预制构件吊装装置

[发明专利]一种基于边缘光抑制的共路相位调制激光直写方法与装置-CN202111240501.3有效
发明人：匡翠方;刘秋兰;杨臻垚;张智敏;朱大钊;徐良;刘旭 -专利权人：之江实验室;浙江大学
申请日： 2021-10-25 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于边缘光抑制的双光束共路相位调制激光直写方法与装置，包括引发光刻胶产生聚合反应的激发光源和抑制（或中断）光刻胶聚合的抑制光源。两束准直光以互相垂直的线偏振态进行合束，合束后的两束光经过同一个空间光调制器（SLM）进行相位调制。将所述SLM分成两部分，对应偏振的激发光被SLM第一部分调制相位进行像差校正，最后经过物镜聚焦形成圆形实心光斑；与激发光偏振相垂直的抑制光被SLM第二部分调制相位，最后经过物镜聚焦形成环形空心光斑。激发光的圆形实心光斑与抑制光环形空心光斑中心重合。本发明通过将SLM进行区分复用，对基于边缘光抑制的激光直写技术的双光束同时进行光场调控，实现共路相位调制。
一种基于边缘抑制相位调制激光方法装置

[发明专利]一种基于光纤传输的超分辨直写式光刻系统及方法-CN202310304049.5在审
发明人：张娜;匡翠方;罗昊;孙琦;朱大钊 -专利权人：之江实验室
申请日： 2023-03-21 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于光纤传输的超分辨直写式光刻系统，包括激光模块，抑制模块，合束模块，样品台以及位移台；所述激光模块，用于产生多路并行的圆形实心直写光束；所述抑制路模块，用于产生多路并行的环形光束；所述合束模块，用于将每一路中圆形实心直写光束和环形光束的光斑中心重合，获得刻写光束；所述样品台布置在位移台上，用于固定待刻写的样品；所述位移台，根据预设移动路线，在刻写过程中带动样品台上的样品做水平位移；所述刻写光束聚焦到样品上，引发光刻胶聚合反应生成刻写图案。本发明还提供了一种超分辨直写式光刻方法。本发明提供的系统可以有效提高刻写过程的刻写效率和刻写分辨率。
一种基于光纤传输分辨直写式光刻系统方法

[发明专利]一种基于光场调控的双路并行超分辨激光直写装置-CN202110388124.1有效
发明人：匡翠方;朱大钊;徐良;丁晨良;刘旭;李海峰 -专利权人：之江实验室;浙江大学
申请日： 2021-04-12 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于光场调控的双路并行超分辨激光打印装置，属于超分辨激光微纳加工领域。直写激光器发出的激光依次经过直写路准直器、直写路防漂移系统、直写路能量调控模块、直写路波前调控模块进入合束模块；抑制路激光器发出的激光依次经过抑制路准直器、抑制路防漂移系统、抑制路能量调控模块、抑制路波前调控模块进入合束模块；直写光在直写路波前调控模块中被调制，抑制光在抑制路波前调控模块中被调制，两路光合束后，形成两对直写‑抑制光斑组合。本发明通过分区复用SLM并利用其偏振选择特性，在一束直写光束和一束抑制光束的基础上实现了双聚焦光斑，同时实现每个光斑能量的独立调控，将激光直写打印系统的速度提升了一倍。
一种基于调控并行分辨激光装置

[发明专利]一种基于全息相位分束的光纤并行激光直写方法及系统-CN202211053614.7有效
发明人：匡翠方;温积森;徐良;朱大钊;丁晨良 -专利权人：之江实验室;浙江大学
申请日： 2022-08-30 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于全息相位分束的光纤并行激光直写方法和系统，本发明将一水平偏振方向的激光入射至空间光调制器的液晶面元，所述的空间光调制器加载不同的全息相位图实现对入射光束的分束并调整分束后各个子光束的位置，从而实现良好地耦合进光纤阵列。光纤阵列通过光开光模块实现每一路光的开关。通过每路光的开关以及三维位移台的移动，实现三维大面积的微纳结构直写，本发明的直写效果更加丰富，直写效率进一步提高，有效解决了现有激光直写系统直写速度慢分辨率低等问题。
一种基于全息相位光纤并行激光方法系统

[发明专利]一种基于柱状矢量偏振光的超分辨激光打印装置-CN202011378485.X有效
发明人：匡翠方;朱大钊;刘旭 -专利权人：之江实验室
申请日： 2020-12-01 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于柱状矢量偏振光的超分辨激光打印装置，属于超分辨激光微纳加工领域。直写激光器输出的光束经过声光调制器强度调制后被准直器准直为平行光束，再经过起偏器、1/2波片和涡旋半波片被转化为切向偏振光；抑制激光器输出的光束经过声光调制器强度调制后被准直器准直为平行光束，再经过起偏器、1/2波片和涡旋半波片被转化为径向向偏振光；两个柱状矢量偏振光分别依次经过两个圆锥透镜整形为环形平行光束；之后两束光进行合束变为一路光被高数值孔径物镜聚焦；环形径向偏振光聚焦成为实心光斑，环形切向偏振光聚焦成为空心暗斑；两种光斑的半高全宽都小于同等聚焦条件下的圆偏光形成的光斑，因此可以获得更高的打印分辨率。
一种基于柱状矢量偏振光分辨激光打印装置

[发明专利]一种双掩膜高通量激光超分辨激光直写方法和装置-CN202110048105.4有效
发明人：匡翠方;温积森;刘旭;丁晨良;朱大钊 -专利权人：之江实验室;浙江大学
申请日： 2021-01-14 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种双掩膜高通量激光超分辨激光直写方法和装置，包括偏振控制模块、准直扩束系统、激发光束阵列掩膜、偏振分光镜、四光束干涉形成的抑制光虚拟掩膜、聚焦高数值孔径物镜以及三维可控精密位移台等主要装置，所述的空间光调制器实时连续加载不同的计算全息图实现激发光束阵列子光束的开光，从而实现不同图案的直写。四光束两两呈一定角度干涉形成光学掩膜作为抑制光阵列，从而提高直写分辨率。这使得该系统的直写效果更加丰富，直写效率与分辨率进一步提高，有效解决了现有激光直写系统直写速度慢分辨率低等问题。
一种双掩膜高通量激光分辨方法装置

[发明专利]一种三维结构光照明超分辨显微成像的高保真重构的方法和装置-CN202310020503.4在审
发明人：匡翠方;刘秋兰;徐良;朱大钊;张智敏;刘旭 -专利权人：之江实验室;浙江大学
申请日： 2023-01-06 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： G01N21/64 文献下载
摘要：一种三维结构光照明超分辨显微成像的高保真重构的方法，包括：将一束平行光分为强度相等、偏振方向一致的三束平行光束，在样品上进行干涉形成三维非均匀照明光场，样品受到非均匀照明光场调制后频谱产生频移；由物镜接收样品发出的荧光信号后，经过场镜汇聚到成像像面，用探测器接收该荧光信号，得到一张混有样品高低频信息的低分辨率图像；多次改变照明光场的空间位移和方向，再次拍摄受光场调制的荧光信号，得到一系列混有样品高低频信息的低分辨率图像，作为原始图像。再将原始图像进行后续图像处理，首先进行照明光场的初始相位和空间频率的参数估计，然后再对样品各个频带进行分离，最后将各频谱进行组合重构出样品的高保真超分辨图像。
一种三维结构照明分辨显微成像高保真方法装置

[发明专利]一种用于激光直写的光纤光刻物镜镜头-CN202310119397.5在审
发明人：匡翠方;张凌民;魏震;李海峰;朱大钊;丁晨良;徐良 -专利权人：之江实验室;浙江大学
申请日： 2023-01-17 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本说明书公开了一种用于激光直写的光纤光刻物镜镜头，该物镜镜头包括：光焦度为负的第一透镜组、光焦度为负的第二透镜组以及光焦度为正的第三透镜组，第一透镜组中包含四个光焦度依次为正、负、负、正的透镜；第二透镜组包含三个光焦度依次为负、正、负的透镜；第三透镜组中包含四个光焦度依次为正、负、正、正的透镜；第一透镜组负责接收光源，并将光源折射至第二透镜组，第二透镜组收集从第一透镜组出射的光线，并将收集的光线折射至第三透镜组，第三透镜组将光线将聚焦于基底，物镜镜头中的透镜均处于同一光轴，本说明书中的物镜镜头能够校正多种像差，特别是畸变、场曲、像散、轴向色差、倍率色差。
一种用于激光光纤光刻物镜镜头

[发明专利]一种二维环形光斑的质量检测方法、装置和存储介质-CN202310011310.2在审
发明人：匡翠方;关键;朱大钊;贾天浩;徐良;李海峰;刘旭 -专利权人：之江实验室;浙江大学
申请日： 2023-01-05 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本申请涉及一种二维环形光斑的质量检测方法、装置和存储介质，其中，该二维环形光斑的质量检测方法包括：获取待检测的二维环形光斑的光强信息；根据光强信息确定二维环形光斑在检测线上的光强变化趋势，检测线包括自二维环形光斑的圆心向一侧延伸的射线；根据光强变化趋势确定二维环形光斑的质量。通过本申请，首先获取待检测的二维环形光斑的光强信息，然后确定二维环形光斑在至少一条检测线上的光强变化趋势。二维环形光斑内侧的光强降低速率越快，则其质量越好，也就越适合作为抑制光。解决了相关技术中存在无法有效地筛选出刻写效果好的二维环形光斑的问题。
一种二维环形光斑质量检测方法装置存储介质

[发明专利]一种基于方形多模光纤高通量的三维激光直写方法及系统-CN202211046913.8在审
发明人：匡翠方;温积森;徐良;朱大钊;丁晨良 -专利权人：之江实验室;浙江大学
申请日： 2022-08-30 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于方形多模光纤高通量的三维激光直写方法及系统，本发明将由多个方形多模光纤组成的光纤阵列作为激光直写头，每一方形多模光纤均利用一空间光调制器对入射方形多模光纤的光场根据加载的计算好的相位图进行相位调制，在出射面实现聚焦，聚焦后的激光对待加工物体进行三维激光直写；其中，每一方形多模光纤对应的计算好的相位图通过设置的聚焦位置，利用闭环的迭代遗传算法进行优化获得，每一方形多模光纤出射激光的聚焦位置根据光纤阵列排列时的加工误差进行设置。利用方形多模光纤可以紧致排列的特点，可将系统拓展为多通道，继而实现多通道并行直写，直写效率进一步提高，解决了现有激光直写系统直写速度慢分辨率低等问题。
一种基于方形光纤通量三维激光方法系统

[发明专利]一种双光束实时中心对准和稳定的装置和方法-CN202110061579.2有效
发明人：匡翠方;丁晨良;朱大钊;魏震;杨臻垚;刘旭;徐良 -专利权人：之江实验室;浙江大学
申请日： 2021-01-18 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： G02B7/182 文献下载
摘要：本发明公开了一种双光束实时中心对准和稳定的装置和方法，该装置包括可调小孔、旋转反射镜、直角棱镜反射镜、纳米位移台、角度压电调节镜架、二色镜、分束镜、透镜、位置探测器和控制器等部件。本发明可以对两束不同波长的激光束进行合束，确保光斑中心严格对准，并且对出射后的合束光进行光束稳定，在长时间工作中保持两束光的中心一直稳定在重合状态，实现小型化、高精度、快速度的合束光稳定控制。利用本发明装置调整得到稳定的合束光，可以广泛用于超分辨显微成像和高精度激光直写光刻等系统中。
一种光束实时中心对准稳定装置方法

[发明专利]一种DMD无掩膜光刻机的投影物镜镜头-CN202211157008.X有效
发明人：匡翠方;张凌民;魏震;李海峰;朱大钊;丁晨良;徐良 -专利权人：之江实验室;浙江大学
申请日： 2022-09-22 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种DMD无掩膜光刻机的投影物镜镜头，从入射方向开始依次设置：具有正光焦度第一透镜组；光阑；具有负光焦度第二透镜组；具有正光焦度第三透镜组；其中：第一透镜组接收从DMD出射的光线，包含3个光焦度依次为负、正、负的透镜；第二透镜组收集从第一透镜组出射的光线，并将其出射至第三透镜组，第二透镜组包含四个光焦度依次为正、负、正、负的透镜；第三透镜组收集从第二透镜组出射的光线，并将其聚焦于基底，第三透镜组包含4个光焦度依次为正、正、正、负的透镜；所述透镜均处于同一光轴。本发明能校正多种像差，特别是畸变、场曲、像散、轴向色差、倍率色差。
一种 dmd 无掩膜光刻投影物镜镜头

[实用新型]一种加腋墙混凝土浇筑模板支撑装置-CN202221073576.7有效
发明人：郭帅;柳勇;刘佳佳;乔忠凡;戴兆康;张席;陶亮;朱大钊;经立;丁勇 -专利权人：上海宝冶集团有限公司
申请日： 2022-04-27 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： E04G17/14 文献下载
摘要：本申请涉及一种加腋墙混凝土浇筑模板支撑装置，属于建筑工程技术领域。为解决现有加腋墙模板支撑，稳定性差，成型效果差，模板利用率低问题。本申请包括竖向模板、倾斜模板、角度调节组件和支撑组件；竖向模板与垂向主墙钢筋连接，倾斜模板与加腋墙的倾斜钢筋连接，竖向模板与倾斜模板转动连接，角度调节组件的两端分别与竖向模板和倾斜模板连接，用于调节并限定竖向模板与倾斜模板之间形成的夹角角度；竖向模板和倾斜模板在转动连接端分别设有支撑组件；倾斜模板通过支撑组件与竖向模板的支撑组件相互抵靠，限制倾斜模板向竖向模板的方向运动。本申请模板支撑装置，结构稳定，模板为铝模板，质量轻便于施工，刚性大不易变形，模板周转率高。
一种加腋墙混凝土浇筑模板支撑装置

[发明专利]一种激光束漂移实时探测与快速校正装置及方法-CN202011296003.6有效
发明人：匡翠方;丁晨良;魏震;汤孟博;朱大钊;刘旭;徐良 -专利权人：之江实验室;浙江大学
申请日： 2020-11-18 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种激光束漂移实时探测与快速校正装置及方法，该装置包括可调小孔、旋转反射镜、直角棱镜反射镜、纳米位移台、压电调节镜架、分束镜、透镜、位置探测器和控制器等部件；通过纳米位移台与直角棱镜反射镜的组合，实现光束位置漂移的独立调控，通过压电调节镜架实现光束指向角度的独立调控。本发明通过光束指向位置漂移与角度漂移的独立调控，避免了常规光束指向系统中的解耦操作，实现小型化、高精度、快速度的光束稳定控制。利用本发明装置调整得到的稳定光束，可以广泛用于超分辨显微成像系统和高精度激光直写光刻系统。
一种激光束漂移实时探测快速校正装置方法

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