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[发明专利]电机的同步控制方法、控制设备及激光器-CN202111512557.X在审
发明人：温玉辉;冯泽斌;袁海涛;梁赛;王香;王野弛;刘斌;徐向宇;江锐;赵明;运乃研;刘宇娜 -专利权人： 北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2021-12-08 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： H02P6/04 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种电机的同步控制方法、控制设备及激光器。在本申请实施例中，接收电机的驱动信息，根据驱动信息，通过对应的转速驱动多个电机中的对应电机；获取对应电机当前的转速，以及所属耦合电机组中另一个电机当前的转速，确定所属耦合电机组中的转速差值，以及对应电机当前的转速与接收到的转速之间的转速差值；根据转速差值进行转速控制，并将控制后的转速发送至对应电机。从而使得对多个电机进行同步控制，提高多电机协同工作过程效率和安全性。
电机同步控制方法设备激光器

[实用新型]一种脉冲激光合束装置及一种码盘-CN202223422981.8有效
发明人：魏晓马;刘玉轩;邓明翰;张艳茹;桑琦 -专利权人： 北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2022-12-16 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： G02B27/10 文献下载
摘要：本申请提供一种脉冲激光合束装置，包括码盘、驱动装置、同步信号源、信号延迟器；码盘包括投射光束的第一区域和反射光束的第二区域；同步信号源与第一激光器和驱动装置相连，用于提供同步信号，控制第一激光器的激光脉冲发射及驱动装置的旋转；信号延迟器与同步信号源及第二激光器相连，用于将同步信号延迟；码盘设置于驱动装置上，第一激光器的激光脉冲和第二激光器的激光脉冲分别投射码盘正反面的相对应位置；工作时，驱动装置带动码盘旋转，使得第一激光器的激光脉冲由第一区域透射，第二激光器的激光脉冲由第二区域反射，且反射光束与透射光束合为一束。本申请通过码盘上的投射和反射将激光脉冲光束合束，适应不同场合，提高激光合束效率。
一种脉冲激光束装

[实用新型]改善放电均匀性的电极结构及气体激光器-CN202223216483.8有效
发明人：姜鑫先;吴劲松;王雏艳;张晓录;刘斌;徐向宇 -专利权人： 北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2022-11-30 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： H01S3/038 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种改善放电均匀性的电极结构及气体激光器，电极结构包括：本体，本体表面均匀布设有多个凸起结构或凹陷结构。本实用新型通过引入主动干扰源的方式，在电极表面形成更多的均匀分布的凸起或者凹陷结构，即人为在电极表面制造不均匀分布电场。通过这种方式，可以诱导放电过程中的丝状/弧光放电在整个放电空间的规则均匀分布，从而实现空间放电均匀性的改善目的。通过增加电极表面干扰点数量可以使丝状/弧光放电数量增加，在单脉冲输入功率不变的情况下，可以降低单个丝状/弧光放电通道的能量，降低其对电极的损伤，延长整体激光器的寿命。
改善放电均匀电极结构气体激光器

[发明专利]一种能防止腐蚀性气体影响的电机结构及激光器-CN202111374071.4在审
发明人：吴劲松;刘斌;陈文斌;马放;徐向宇;江锐 -专利权人： 北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2021-11-19 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： H02K5/10 文献下载
摘要：本发明提供了一种能防止腐蚀性气体影响的电机结构及激光器，其中电机结构包括壳体、定子、转子、磁极板和磁流体；所述转子通过轴体可转动地设置在所述壳体内；所述磁极板为具有磁性吸力的环形板；所述磁极板套装在所述轴体外，所述磁流体在磁极板的磁性吸力作用下，被束缚在磁极板和轴体之间的空隙内形成密封环。本发明能够适应高速转动时的动密封，具有超低泄露率，其气体泄露率可以达到不大于10‑10的水平，超过橡胶圈和金属圈的密封效果，能长期可靠运行，具有维护成本低的有点，在应对强腐蚀性气体环境下和其它密封方式相比更为安全可靠。
一种防止腐蚀性气体影响电机结构激光器

[发明专利]光刻机准分子激光器的信号转接单元-CN202010243270.0有效
发明人：廖密;冯泽斌;张华;张琴;王香;黄立杰;马天龙;沙鹏飞 -专利权人： 北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2020-03-31 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请涉及光刻领域，具体涉及一种光刻机准分子激光器的信号转接单元。包括：气体放电管、第一TVS管、自恢复保险丝、第二TVS管、数字信号隔离芯片。本申请通过气体放电管、第一TVS管将光刻机的信号中的干扰信号电压限制在固定范围之内进行第一层防护，通过自恢复保险丝当干扰信号电流过大时断开电流变小时恢复及第二TVS管将干扰信号的电压限制为目标电压值进行第二层防护，通过数字信号隔离芯片将信号转接单元与工控机之间的控制信号进行分开进行第三层防护，能够有效抑制外部光刻机传输过来的较大静电、浪涌等干扰信号，实现准分子激光器信号转接功能的同时，还能够有效减少外部的干扰，保护准分子激光器中的其他硬件单元。
光刻准分子激光信号转接单元

[实用新型]一种激波反射器和准分子激光器-CN202223326994.5有效
发明人：邢英金;吴亦轩;刘斌;陈文斌;张寅虎;黄春亮;徐向宇 -专利权人： 北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2022-12-12 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： H01S3/034 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种激波反射器和准分子激光器，该激波反射器包括基板和设置在所述基板上的多个不规则凸块，多个不规则凸块的不规则表面构成所述激波反射器的不规则反射面，所述不规则反射面用于将激波向不同方向反射；该激波反射器可以抑制削弱光轴方向的激波，使得放电区域的气流密度更均匀，从而有利于提高放电质量；该激波反射器的不规则反射面可以减弱激波冲击对窗片造成的损伤，从而能够提高窗片的使用寿命；并且该激波反射器的不规则反射面增加了流经该激波反射器的气流的阻力损失，增加MFT循环气流的压差，提高净化后从布儒斯特窗流出气流流速，从而减少激波及携带的金属颗粒对窗片的损伤，提高窗片的使用寿命。
一种激波反射准分子激光

[实用新型]一种电极间距测量装置-CN202223355942.0有效
发明人：张旭;马放 -专利权人： 北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2022-12-12 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： G01B21/16 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种电极间距测量装置，该电极间距测量装置包括支撑座、与支撑座间隙配合的标准块、设置在标准块和支撑座之间的驱动件以及设置于标准块上的数显表，该电极间距测量装置结构简单、体积小，可以放置在放电腔内对电极的间距进行测量，而且电极间距测量装置通过驱动件驱动标准块相对于支撑座平移而使得其上下表面分别与两个电极相接触的方式，来实现两个电极之间间距的测量，测量方式简单，易于操作，不容易产生误差，而且也能够避免对电极的表面造成损伤。
一种电极间距测量装置

[发明专利]一种用于激光谐振腔工作气体的除尘装置及准分子激光器-CN202111362883.7在审
发明人：姜鑫先;刘斌;陈文斌;胡继闯;王庆军;江锐;徐向宇;刘广义 -专利权人： 北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2021-11-17 - 公布日： 2023-05-19 - 主分类号： B03C3/017 文献下载
摘要：本申请提供一种用于激光谐振腔工作气体的除尘装置，包括：至少与激光谐振腔相连通的、包括进气口和出气口的冷却腔室；冷却腔室包括复数个连通进气口和出气口的气流通道；待冷却气体经过气流通道时与气流通道壁接触发生热交换，使得待冷却气体温度降低。在上述装置中，设置冷却腔室为待冷却气体降低温度，气体温度降低，气体分子的运动能降低，使得气体中粉尘颗粒受到分子碰撞降低运动能量。因此，粉尘颗粒因为重力作用与气体分离，降落于气流通道的孔壁处，因此，提升了气体中的粉尘颗粒的清除效率。
一种用于激光谐振腔工作气体除尘装置准分子激光

[发明专利]一种静电除尘装置及准分子激光器-CN202111362901.1在审
发明人：姜鑫先;刘斌;王雏艳;宋兴亮;夏新成;江锐;徐向宇;刘广义 -专利权人： 北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2021-11-17 - 公布日： 2023-05-19 - 主分类号： B03C3/47 文献下载
摘要：本申请的静电除尘装置，包括：至少一个粉尘荷电腔以及至少一个与之连通的除尘腔；其中，粉尘荷电腔包括腔室壁以及设置于腔室中的高压电极；除尘腔的腔壁设置有相对的平板电极，平板电极在通电时形成与气流流动方向相交叉的电场，除尘腔的腔室为回环弯折结构，相对的平板电极沿回环弯折结构内壁设置。在上述装置中，设置多区静电除尘结构，在粉尘荷电腔给气体粉尘携带电荷；在除尘腔的腔壁和腔室中的回环弯折结构内壁均设置有相对的平板电极，相对的平板电极之间形成电场，气体沿腔壁内侧和回环弯折结构形成的气流通道流动时，气体中携带电荷的粉尘颗粒迁移至平板电极表面，以此提高静电除尘装置清除气体粉尘的效率。
一种静电除尘装置准分子激光

[发明专利]一种静电除尘装置的粉尘清理系统-CN202111364479.3在审
发明人：姜鑫先;刘斌;马放;姜越;邢英金;贾志明;江锐;徐向宇;刘广义 -专利权人： 北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2021-11-17 - 公布日： 2023-05-19 - 主分类号： B03C3/74 文献下载
摘要：本申请的静电除尘装置的粉尘清理系统，包括：静电除尘装置，高压检测器以及高压发生器。采用高压检测器检测静电除尘装置工作过程中的电压值和电流值，根据电压值和电流值确定静电除尘装置的粉尘含量，从而判断电压值和电流值确定是否需要触发高压发生器工作。当触发高压发生器开始工作后，高压发生器对静电除尘装置施加反向电压后，静电除尘装置的电极表面的电荷极性与电极表面的粉尘的电荷极性相同，因为电荷同性相斥原理，粉尘脱落静电除尘装置的电极表面。采用上述系统清除静电除尘装置的粉尘颗粒，通过改变电压类型的方式清除，避免通过开腔的方式清除静电除尘装置中的粉尘颗粒，提升了清除粉尘的效率，同时延长了静电除尘装置的使用寿命。
一种静电除尘装置粉尘清理系统

[发明专利]一种除尘管、除尘装置和准分子激光器-CN202111364489.7在审
发明人：姜鑫先;刘斌;吴劲松;张寅虎;黄春亮;江锐;徐向宇;刘广义 -专利权人： 北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2021-11-17 - 公布日： 2023-05-19 - 主分类号： B03C3/41 文献下载
摘要：本申请公开了一种除尘管(100)，包括：振荡电路发生器(1)、直流电路发生器(2)、支撑件(3)、工作腔(4)，工作腔(4)包括外壁(41)和内壁(42)；外壁(41)与振荡电路发生器(1)连接，内壁(42)通过支撑件(3)设置在外壁(41)的内侧，内壁(42)与直流电路发生器(2)连接。本申请通过设置外壁(41)和内壁(42)构成的工作腔(4)，内壁(42)与直流电路发生器(2)连接获得直流高压，外壁(41)与振荡电路发生器(1)连接获得正弦电压或脉冲高压，使得内壁(42)和外壁(41)之间形成周期震荡的电场，内壁(42)周期震动，内壁(42)表面的粉尘会在震动的作用下与内壁(42)分离，达到对累积的粉尘清理的目的。
一种除尘装置准分子激光

[发明专利]一种纳米晶磁芯带材绝缘镀膜方法及其装备-CN202111322934.3在审
发明人：陈刚;詹绍通;赵玉平;仝博伟;刘明雷;孙泽松;华洪涛;徐向宇 -专利权人： 北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2021-11-09 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： B05D7/14 文献下载
摘要：本发明提供了一种纳米晶磁芯带材绝缘镀膜方法及其装备，镀膜过程中以及至少在镀膜液失去流动性前，带材宽度方向保持与水平面平行，在带材自下而上平稳移动中，将镀膜液附着在带材的两个表面，以及对带材表面的镀膜液进行加热直到至少使其失去流动性。本发明在镀膜时，带材宽度方向保持与水平面平行，带材自下而上平稳移动，镀膜液在自身重力作用下沿带材的延展方向流动或滴落，直至镀膜液被烘烤丧失流动能力，从而避免镀膜液在带材的宽度方向流动，从而最大程度地保证了带材上绝缘镀膜在带材的宽度方向上的均匀和一致性。
一种纳米晶磁芯带材绝缘镀膜方法及其装备

[发明专利]一种径向梯度温度加热装置及其带绕铁芯涂层设备-CN202111322939.6在审
发明人：王玉超;高泽;蔡森;李玉山;孙泽松;刘稚萍;徐向宇 -专利权人： 北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2021-11-09 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： H01F41/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种径向梯度温度加热装置及其带绕铁芯涂层设备，径向梯度温度加热装置包括周向加热装置和端面隔热单元；所述周向加热装置套装在带绕铁芯的外圆上，用于对带绕铁芯的最外圈薄带进行加热；所述端面隔热单元布设在带绕铁芯轴向的两端，并紧贴靠在带绕铁芯的两个端面上，用于避免所述周向加热装置的热量直接对带绕铁芯的内圈薄带进行加热。本发明通过径向加热使得带绕铁芯的各层薄带之间缝隙增大，从而为后续的带绕铁芯整体浸入涂层液提供了基础条件，涂层液可以快速浸润全部薄带表面，达到整体浸润涂层的目的，提高了生产效率。
一种径向梯度温度加热装置及其带绕铁芯涂层设备

[发明专利]流道宽度可调节的放电腔及其激光器-CN202111330456.0在审
发明人：吴劲松;刘斌;陈文斌;马放;徐向宇;江锐 -专利权人： 北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2021-11-11 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： H01S3/036 文献下载
摘要：本发明提供了流道宽度可调节的放电腔及其激光器，其中，放电腔的腔体内设置有：导流罩、贯流风机以及第一执行机构；导流罩包括远离所述贯流风机一侧的左罩体和靠近所述贯流风机一侧的右罩体；所述右罩体可活动设置；所述第一执行机构用于带动所述右罩体移动，进而改变右罩体与贯流风机之间的间隙。本申请中右罩体可移动设置，可随着贯流风机的风速大小变化，利用第一执行机构带动右罩体移动，进而调节右罩体与贯流风机之间的间隙，从而改变整个放电腔内流场的布设结构，从而有效降低风阻，减小振动和噪音。
宽度调节放电及其激光器

[发明专利]一种阶梯温度加热装置及其带绕铁芯涂层设备-CN202111321961.9在审
发明人：熊朋;赵婉云;杨宏伟;华洪涛;李玉山;刘稚萍;徐向宇 -专利权人： 北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2021-11-09 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： H01F41/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种阶梯温度加热装置及其带绕铁芯涂层设备，阶梯温度加热装置包括端面温度调控单元；端面温度调控单元用于布设在带绕铁芯轴向的两端，并紧贴靠在带绕铁芯的两个端面上；所述端面温度调控单元包括由吸热材料制成的蓄热模块，在带绕铁芯径向以及带绕铁芯最内圈到最外圈方向上，蓄热模块的吸热能力能力逐渐降低，用于带绕铁芯被加热时调控铁芯内外圈薄带的温度，并最终形成自外向内温度逐渐降低的阶梯温度。通过径向加热使得带绕铁芯的各层薄带之间缝隙增大，从而为后续的带绕铁芯整体浸入涂层液提供了基础条件，涂层液可以快速浸润全部薄带表面，达到整体浸润涂层的目的，提高了生产效率。
一种阶梯温度加热装置及其带绕铁芯涂层设备