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[发明专利]光栅衍射效率测量装置和光栅衍射效率推算方法-CN202210362153.5在审
发明人：桑琦;魏晓马;邓明翰;孔令浩;常庆麒 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2022-04-07 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种光栅衍射效率测量装置，包括：设置在基台上的激光组件、光电探测组件、待测光栅组件以及通信连接的控制设备；激光组件设置在以待测光栅组件为圆心以R1为半径的第一圆弧上，包括激光器；光电探测组件对应设置在以R2为半径的第二圆弧上和以R3为半径的第三圆弧上；待测光栅组件设置在第一圆弧、第二圆弧的同心位置；测量时，光电探测组件用于测量激光器出射光功率，控制设备用于确定激光器在不同角度对应偏振态下相对待测光栅的闪耀级次，控制光电探测组件移动至衍射级次光路处，以获得不同角度对应偏振态下的衍射光及激光器出射光的功率数据比值的平均值作为待测光栅的测量衍射效率值。本申请还公开一种光栅衍射效率推算方法。
光栅衍射效率测量装置推算方法

[发明专利]一种激光器光路的定位调节方法及装置-CN202111664994.3在审
发明人：张艳茹;孔令浩;魏晓马 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： H01S3/086 文献下载
摘要：本发明涉及一种激光器光路的定位调节方法及装置，其方法包括：使用带标记的校准光沿着激光器的光路入射到所述激光器的光学系统中；将所述光学系统中预先选择的光学镜片使用对应的替换镜片进行替换，所述替换镜片相对于所述校准光的折射率与所述光学系统中对应的光学镜片相对于所述激光器的激光的折射率相同；根据所述校准光从所述光学系统中输出的光斑特征，对每个替换镜片所在机械结构的位置和角度进行调节；将所述替换镜片还原成对应的光学镜片，完成所述激光器的光路定位调节。本发明的方法，引入十字线标准光和替换光学镜片，不需要更改光路中的任何设计，来调节激光器中光学系统中各个光学镜片的位置和角度，以提高激光器的输出激光质量。
一种激光器定位调节方法装置

[实用新型]一种脉冲激光合束装置及一种码盘-CN202223422981.8有效
发明人： 魏晓马;刘玉轩;邓明翰;张艳茹;桑琦 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2022-12-16 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： G02B27/10 文献下载
摘要：本申请提供一种脉冲激光合束装置，包括码盘、驱动装置、同步信号源、信号延迟器；码盘包括投射光束的第一区域和反射光束的第二区域；同步信号源与第一激光器和驱动装置相连，用于提供同步信号，控制第一激光器的激光脉冲发射及驱动装置的旋转；信号延迟器与同步信号源及第二激光器相连，用于将同步信号延迟；码盘设置于驱动装置上，第一激光器的激光脉冲和第二激光器的激光脉冲分别投射码盘正反面的相对应位置；工作时，驱动装置带动码盘旋转，使得第一激光器的激光脉冲由第一区域透射，第二激光器的激光脉冲由第二区域反射，且反射光束与透射光束合为一束。本申请通过码盘上的投射和反射将激光脉冲光束合束，适应不同场合，提高激光合束效率。
一种脉冲激光束装

[发明专利]脉冲展宽单元的装调装置-CN202111231047.5在审
发明人： 魏晓马;徐向宇;张艳茹;江锐 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2021-10-22 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： G02B27/09 文献下载
摘要：本申请公开了一种脉冲展宽单元的装调装置，包括：可见光源器件、脉冲展宽单元、相位延迟元件、线偏振片和分划板；所述脉冲展宽单元包括分束元件和反射镜组；可见光源器件输出的输出光束入射到分束元件；所述分束元件将接收的输出光束分为第一反射光束和透射光束；第一反射光束经反射透镜组后入射到分束元件的出射面，经出射面反射后与透射光束共同照射至分划板；所述线偏振片，设置在透射光束出射的光路中，其透光方向与从分束元件透射的透射光束偏振方向的夹角满足如下条件：消除透射光束的部分能量；所述相位延迟元件，设置在第一反射光束入射到分束元件的出射面之前的光路中，用于将第一反射光束的偏振方向旋转与所述夹角相同的角度。
脉冲展宽单元装置

[实用新型]针对深紫外激光的光学镜片最小退偏角度测定装置-CN202222601442.4有效
发明人： 魏晓马;刘玉轩;邓明翰;张艳茹;桑琦 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2022-09-30 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本实用新型公开一种针对深紫外激光的光学镜片最小退偏角度测定装置，包括：沿激光光路传播方向依次设置的对准镜、光学镜片、偏振检测镜和能量计；其中，对准镜、光学镜片、偏振检测镜和能量计通过密封箱体密封在氮气环境中；对准镜和光学镜片安装在旋转台上，对准镜与光学镜片以固定角度设置；深紫外激光器的出射光经光学镜片透射，透射光入射到偏振检测镜上，能量计用于检测偏振检测镜反射光的能量；以激光入射至光学镜片的法线为旋转轴旋转光学镜片，当能量计检测到的能量最小时，为光学镜片的最小退偏角度位置。本实用新型的测定装置，组件简单，价格低廉、质量轻、体积小，可重复使用，并能对不同的光学镜片进行测定，提高了装置的使用效率。
针对深紫激光光学镜片最小偏角测定装置

[实用新型]一种准分子激光器虚焦点定位装置-CN202222177300.X有效
发明人：苏国兵;魏晓马 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2022-08-18 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： H01S3/101 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种准分子激光器虚焦点定位装置，该装置包括：沿准分子激光器发射的激光的传输方向依次包括衰减组件、聚焦透镜和接收器，所述准分子激光器发出的激光分别经衰减组件的衰减和所述聚焦透镜的成像后被所述接收器捕获，所述接收器沿着所述激光光轴方向靠近或远离所述聚焦透镜，以根据接收器的成像参数确定所述准分子激光器的虚焦点位置。本实用新型的装置，能够在氮气环境下精确地对激光器的虚焦点位置进行定位。
一种准分子激光焦点定位装置

[实用新型]一种方形光学镜片减振定位结构-CN202222089684.X有效
发明人：刘玉轩;魏晓马;邓明翰;徐向宇;苏国兵 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2022-08-09 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： G02B7/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种方形光学镜片减振定位结构，包括用于放置方形光学镜片的镜片支座和对称设置于所述镜片支座两侧的两个减振定位组件，各所述减振定位组件包括连接于所述镜片支座的紧固件、连接于所述紧固件的拉紧挡片、以及设置于所述拉紧挡片的真空吸盘组，两个所述减振定位组件的一端经由对应的所述真空吸盘组分别吸附于所述方形光学镜片的两侧，两个所述减振定位组件的另一端经由对应的所述拉紧挡片和所述紧固件分别连接于所述镜片支座的两侧，从而形成所述方形光学镜片被稳定定位于两个所述减振定位组件之间的状态，该结构能够对方形光学镜片进行稳定定位并具有良好的减振和防松性能，安装调节范围广，调试方便，成本低。
一种方形光学镜片定位结构

[实用新型]激光光强调节系统及准分子激光器-CN202220418019.8有效
发明人： 魏晓马;邓明翰;常庆麒;刘玉轩 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2022-02-28 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： H01S3/101 文献下载
摘要：本申请公开了一种激光光强调节系统，包括：激光束衰减元件组、激光能量测量装置、调节装置及控制装置；其中，激光束衰减元件组设置于准分子激光光路中，用于对准分子激光的强度进行调节，激光能量测量装置一直处于准分子激光反射光路中，用于测量调节后的激光强度；并将测得的光信号转换为电信号发送给控制装置，使控制装置根据接收到的电信号控制调节装置对激光束衰减元件组的衰减率进行调节。本实用新型利用调节装置使激光能量测量装置跟随反射光线转动，以对激光束衰减元件组的反射光的能量实时测量，从而实现系统闭环控制，自动对激光光强进行控制，以对所述控制装置进行恒定能量或恒定衰减率设置，实现恒定能量或恒定衰减率输出。
激光调节系统准分子激光

[实用新型]激光光斑宽度控制系统及准分子激光器-CN202220418048.4有效
发明人：常庆麒;魏晓马;李梦龙;孔令浩;张艳茹;苏国兵 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2022-02-28 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： H01S3/10 文献下载
摘要：本申请公开了一种激光光斑宽度控制系统，包括设置于准分子激光光路中的扩束棱镜组，用于对准分子激光进行扩束；设于扩束棱镜组的激光出射光路中的光束采样装置，用于采集扩束后的光斑；控制装置与光束采样装置和棱镜组驱动装置分别相连接，棱镜组驱动装置与扩束棱镜组连接；控制装置根据光束采样装置的采样信号控制棱镜组驱动装置对扩束棱镜组进行调节，以保持或改变扩束棱镜组对准分子激光的扩束效果。本申请提供的激光光斑宽度控制系统实现了准分子激光器在控制光斑宽度时，扩束棱镜能调节光斑宽度使激光光束的扩束倍率保持和改变，并形成闭环反馈系统，使所述控制系统具有调节精度高、自动化程度高、稳定性强的特点。
激光光斑宽度控制系统准分子激光

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