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- [发明专利]硒化铟靶材的装模方法、制备方法-CN202211611681.6在审
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欧海玲;马国成;童培云;谢小林;沈文兴
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先导薄膜材料有限公司
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2022-12-15
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2023-03-07
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B28B1/04
- 本发明属于薄膜太阳能溅射靶材领域，公开了一种硒化铟靶材的装模方法和制备方法。包括以下步骤：准备圆柱状结构的包套；装模；将装模完成的包套放入炉内，边加热边通过除气管对包套进行抽真空除气，当包套内真空度达到要求后，停止加热、除气，封闭除气管；将除气完成的包套放入热等静压烧结炉中，进行抽真空、加压、升温烧结、降温及压力回收；出炉，去除包套，得硒化铟靶材。通过本发明制备方法制造出来的硒化铟靶材为单片产品，且一个包套可处理多片产品，去除包套后，只需进行平面磨及外圆加工即可，无需分割，可缩短机加时间，且可减少因靶材分割造成的原料损耗。所得硒化铟靶材致密度≥99%，电阻率≤1MΩ/cm。
- 硒化铟靶材方法制备
- [发明专利]旋转靶材自动包装设备-CN202211514718.3在审
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陆杨军;郭庆生;蒋波;赖家俊
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先导薄膜材料有限公司
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2022-11-29
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2023-03-07
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B65B33/02
- 本发明公开了旋转靶材自动包装设备，具体涉及靶材包装技术领域，本发明靶材由导送辊移动至两个托架板之间，初始状态下，转动杆的末端未进入到靶材背管的内腔中，由托架板在移送台上滑动，使得转动杆进入到靶材背管中部，之后三个电动推杆二推动对应的支撑弧块与靶材背管的内壁紧密接触，进而对靶材背管内壁夹持固定，其中支撑弧块与电动推杆二设计成可拆卸式的结构，便于对支撑弧块的检修更换，方便操作，之后由电动推杆三拉动滑动座在托架板上限位上升并到达打包辊和热压辊的位置，从而实现对靶材的自动覆膜，提高了生产效率；经过旋转气缸的驱动使得辅助推板转动，辅助推板发生转动，将覆膜后的靶材推送移动，方便靶材的自动出料。
- 旋转自动包装设备
- [发明专利]一种均匀布粉的投粉机构-CN202211503615.7在审
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高建成;张廷;钟小华;张莉兰;汪强
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先导薄膜材料有限公司
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2022-11-28
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2023-03-07
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B65G69/04
- 本发明公开了一种均匀布粉的投粉机构，包括第一滑轨、第二滑轨和移动架，所述第一滑轨设置在第二滑轨的一侧，第一滑轨和第二滑轨并排设置，所述移动架活动安装在第一滑轨和第二滑轨的上端外表面，所述移动架的内部固定安装有用来排放粉料的布粉管，且布粉管的底部开设有矩形料槽，所述移动架的一端外表面固定安装有用来进料的第一料箱，所述移动架的另一端外表面固定安装有用来进料的第二料箱；通过布粉件的高度调节，令其可以完成不同厚度粉料的刮料操作，提升粉料平整度和均匀性，令粉料的分布更加均匀，通过设置布粉件配合第一料箱和第二料箱的使用，使得该均匀布粉的投粉机构具有双重输料结构，同时可以同步进行任意厚度的布粉操作，提升其使用效果。
- 一种均匀机构
- [实用新型]一种氢氧化铟的干燥装置-CN202222212573.3有效
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张莉兰;徐蒙;钟小华;高建成;凤吾生
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先导薄膜材料有限公司
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2022-08-22
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2023-02-21
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F26B11/04
- 本实用新型涉及一种氢氧化铟的干燥装置，包括V形罐体，V形罐体的两端分别设置有与之连通的第一轴管和第二轴管；第二轴管转动连接有与外部冷风设备连接内管；V形罐体内靠近进料口部位设置有筛网；V形罐体一端设置有带搅拌桨的第一电机，V形罐体内靠近第一电机部位固定设置有分隔组件；第二箱体内还设置驱动V形罐体的驱动组件；分隔组件可以防止水分较多的团块状氢氧化铟进入搅拌桨处，防止物料附着在搅拌桨连接处等死角，便于保持装置清洁；团块状氢氧化铟在V形罐体转动过程中通过干燥冷风基本除去水分松散开来，筛网对氢氧化铟小块起到导料作用，使氢氧化铟小块通过隔板间隙落入搅拌桨处被粉碎成粒度均匀的氢氧化铟粉末。
- 一种氢氧化干燥装置
- [发明专利]一种靶材的热处理淬火方法-CN202110825469.9有效
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黄旭东;黄宇彬;童培云;朱刘
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先导薄膜材料有限公司
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2021-07-21
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2023-02-17
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C23C14/34
- 本发明公开了一种靶材的热处理淬火方法。所述方法包括如下步骤：将金属靶材进行热处理后，在淬火介质中进行淬火处理得到靶材；所述金属靶材热处理的温度T1为100≤T1＜300℃时，淬火介质为水；所述金属靶材热处理的温度T2为300≤T2≤500℃时，淬火介质为油；所述金属靶材热处理的温度T3为500＜T3≤700℃时，淬火介质包括强迫流动的空气、油；所述金属靶材热处理的温度T4为700＜T4≤900℃时，淬火介质包括强迫流动的空气、油、水。本发明针对不同的热处理温度靶材采取不同的淬火方法，降低了靶材内部的应力，减小晶粒尺寸，防止长时间冷却过程中的晶粒长大，保证靶材溅射沉积薄膜的质量。
- 一种热处理淬火方法
- [发明专利]从钽残靶中回收钽的方法-CN202211325849.7在审
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丁跃跃;行卫东;童培云
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先导薄膜材料有限公司
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2022-10-27
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2023-01-06
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C22B34/24
- 本发明属于材料回收利用技术领域，公开了从钽残靶中回收钽的方法，包括以下步骤：步骤S1，将钽残靶中钽靶坯与背板分离；步骤S2，车削处理钽靶坯；步骤S3，酸洗钽靶坯，然后水洗、烘干；步骤S4，对钽靶坯进行电子束熔炼；熔炼方式为两次熔炼，第一次和第二次熔炼为不同位向的水平熔炼或垂直熔炼；熔炼结束后，冷却，得到高纯钽锭。本发明可以制备得到纯度≥99.995%的高纯钽锭，且钽锭中杂质元素W、Mo、Nb的总量＜20ppm，C、H、O、N的含量特别低，C≤10ppm，O≤15ppm，N≤10ppm，H≤2ppm；钽锭内部裂纹、缩松、缩孔等缺陷少，密度≥16.5g/cm3。
- 钽残靶中回收方法
- [发明专利]一种微细硫化铟粉体及靶材的制备方法-CN202110550527.1有效
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沈文兴;白平平;童培云;谢小豪
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先导薄膜材料有限公司
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2021-05-20
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2022-12-20
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C04B35/547
- 本发明公开了一种微细硫化铟粉体及靶材的制备方法，所述微细硫化铟粉体的制备方法包括如下步骤：将H2S气体通入In2(SO4)3溶液中，搅拌下反应合成硫化铟，反应结束后，对合成产物进行漂洗、过滤、煅烧、球磨及过筛，得到粒度D90为20～40μm的硫化铟粉体；将硫化铟粉体进行气流粉碎，气流粉碎的加料压力和粉碎压力为8～12kg，加料速度为3～5kg/h的匀速，加料结束后继续通气3～5min，得到D90＜5μm的微细硫化铟粉体。本发明制得的硫化铟粉体为四方结构的β‑In2S3，粒度D90＜5μm，将其用于制备靶材，利于提高靶材的品质，使靶材的平均晶粒度＜5μm，电阻率＜0.5KΩ/cm，相对密度≥97％，杂质含量低，溅射所形成薄膜的稳定性好、厚度分布均匀、及晶粒大小一致。
- 一种微细硫化铟粉体制备方法
- [实用新型]一种旋转背管涂布厚度控制简易装置-CN202222077926.3有效
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李萍萍;韩书贤
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先导薄膜材料有限公司
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2022-08-09
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2022-12-20
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B23K37/00
- 本实用新型涉及一种旋转背管涂布厚度控制简易装置，包括手柄和刮板，手柄内滑动连接有滑块和连接板，滑块内对称开设有安装槽，安装槽内设置有锁钩，锁钩通过中部设置的轴杆与滑块转动连接；滑块内滑动连接有滑杆，滑杆的一端通过连杆与锁钩连接，滑杆的另一端与连接板固定连接，手柄内固定设置有限位板，限位板和滑块之间设置有若干个弹簧；连接板远离连杆的一端设置有连接杆，连接杆远离连接板的一端连接有连接块，连接块与手柄滑动连接；连接块上对称设置有限位凸起，手柄侧壁开设有供限位凸起滑动的滑道；手柄上转动连接有与限位凸起螺纹连接的转柄；当刮板上的焊料无法及时清除时旋转转柄打开锁钩，便于更换刮板，有利于提高工作效率。
- 一种旋转背管涂布厚度控制简易装置
- [发明专利]一种铝钪合金靶材的扩散焊接方法-CN202110719934.0有效
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谢小林;蔡新志;童培云;朱刘;郑双明
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先导薄膜材料有限公司
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2021-06-28
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2022-11-15
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B23K20/00
- 本发明揭示了一种铝钪合金靶材的扩散焊接方法，包括以下步骤：准备铝钪合金靶材与背板；对铝钪合金靶材和背板的焊接面进行光洁处理；对铝钪合金靶材和背板进行清洗；将铝钪合金靶材与无氧铜或铝合金放置于金属包套中，进行脱气处理；对金属包套进行抽真空、密封处理；对金属包套进行热等静压处理，即可完成铝钪合金靶材的扩散焊接，所述热等静压的过程中，金属包套升温升压至400~580℃、60~80mpa，保温保压1~2h，随炉冷却至室温。本发明和现有铝材料和其他金属材料的扩散焊接方法的优点有三点：第一：本发明提高了材料的利用率；第二：本发明简便了生产加工过程，提高了生产效率；第三：本发明有利于靶材的回收，特别是价格昂贵的钪元素。
- 一种合金扩散焊接方法
- [实用新型]吸尘罩及吸尘装置-CN202221435948.6有效
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黄宇彬;童培云
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先导薄膜材料有限公司
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2022-06-09
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2022-11-15
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B08B15/00
- 本实用新型涉及镀膜技术领域，公开了一种吸尘罩及吸尘装置，吸尘罩包括第一管和具有第一通道的第二管，所述第二管穿设于所述第一管内，所述第二管与所述第一管之间形成有第二通道，所述第一管开设有负压口，所述负压口、所述第二通道与所述第一通道相互连通。其有益效果在于：第二管通过穿设于第一管，与所述第一管围成第二通道，可以使本实用新型的结构紧凑化，缩小本实用新型的体积；第一通道和第二通道连通，可以供气流通过，使负压口的位置产生负压，从而对外界的空气产生吸附作用，并将粉末通过负压口吸入第一通道中，降低外界环境中的粉末含量，以避免爆炸的事故发生。
- 吸尘装置
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