|
钻瓜专利网为您找到相关结果 45个,建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]半导体腔室-CN202210736192.7有效
-
高晓丽;傅新宇
-
北京北方华创微电子装备有限公司
-
2022-06-27
-
2023-10-13
-
C23C14/35
- 本申请实施例提供了一种半导体腔室。该半导体腔室包括:腔室结构、进气结构及驱动装置;腔体内由上至下依次设置靶材、内衬及基座,内衬同轴设置于腔体内,并且内衬的顶端环绕靶材设置,内衬的底端在工艺状态时压抵于基座上;进气组件包括匀流环,匀流环设置于腔体内,并且匀流环的内径大于内衬的外径,匀流环用于向腔体内通入工艺气体;腔体的周壁上开设有抽气口,用于对腔体内进行抽真空;驱动装置设置于腔体外侧,并且与进气组件连接,用于带动匀流环相对于内衬作升降动作,以调节靶材底部的工艺气压。本申请实施例在同一腔体内不仅能实现硅晶圆的钛薄膜沉积,而且还可以实现砷化镓晶圆的钛薄膜沉积,从而提高了适用性及适用范围。
- 半导体
- [实用新型]一种方便运输的回收设备-CN202320571018.1有效
-
傅新宇;杨树申;候彭;旷戈;童见湘
-
新余国兴锂业有限公司
-
2023-03-22
-
2023-07-25
-
B62B5/00
- 本实用新型涉及沉锂母液加工技术领域,且公开了一种方便运输的回收设备,包括水箱,所述水箱的底部固定连接有支脚的顶部,所述支脚的底部设置有底座,所述底座的底部设置有折叠轮,所述底座的内部设置有缓冲机构,所述缓冲机构包括有滑杆,所述底座内壁的一侧固定连接有滑杆的一端,所述滑杆的外壁滑动连接有滑动座底部的内壁,所述滑动座的一侧固定连接有缓冲弹簧的一端,所述底座内壁的一侧固定连接有橡胶柱的一端,所述橡胶柱的另一端固定连接有气囊的一端,所述气囊的另一端设置有防滑板,所述防滑板远离气囊的一端固定连接有乳胶柱的一端,通过设置有缓冲机构,对沉锂母液提供运输的缓冲,避免装有沉锂母液的水箱倾倒。
- 一种方便运输回收设备
- [发明专利]一种晶片位置校准装置及方法-CN201811557495.2有效
-
刘畅;傅新宇;荣延栋;文莉辉
-
北京北方华创微电子装备有限公司
-
2018-12-19
-
2023-05-16
-
H01L21/68
- 本发明提供一种晶片位置校验装置及方法,该装置包括:第一传感器,用于输出第一电平信号,其设置在各个腔室的入口第一侧;第二传感器,用于输出第二电平信号,其设置在各个腔室的入口第二侧;机械手控制器,用于控制机械手,所述机械手控制器具有第一输入通道与第二输入通道;所述机械手控制器在所述第一电平信号和第二电平信号中至少一个发生高电平和低电平之间的转换时,获取所述机械手坐标信息,并基于所述机械手坐标信息确定发生转换的传感器的位置信息;基于所述发生转换的传感器的位置信息计算获得晶片的实际位置;并根据所述实际位置获得所述晶片的目标位置。通过本发明,减少了传感器占用的通道的同时可以有效地检测晶片实际位置。
- 一种晶片位置校准装置方法
- [发明专利]反应腔室及半导体加工设备-CN201811524839.X有效
-
魏景峰;傅新宇;荣延栋
-
北京北方华创微电子装备有限公司
-
2018-12-13
-
2023-02-14
-
H01L21/687
- 本发明提供一种反应腔室及半导体加工设备,包括第一环体、第二环体、多个对位组件和承载基片的基座,第一环体和第二环体在基座的升降方向上相对设置,且基座在上升或下降的过程中使第一环体和第二环体相互靠近或远离;多个对位组件沿第一环体的周向间隔设置在第一环体底部,或沿第二环体的周向间隔设置在第二环体顶部;多个对位组件用于在基座自传片位置上升至工艺位置的过程中,通过第一环体和第二环体的挤压,朝靠近第一环体或第二环体的圆心方向发生形变,以将基片限定在与基座的承载面对中的位置。本发明提供的反应腔室及半导体加工设备能够避免基片在工艺过程中相对于基座发生移动,从而提高基片的边缘排除区域的均匀性,提高产品的良率。
- 反应半导体加工设备
- [发明专利]工艺腔室和晶圆加工方法-CN202110863982.7在审
-
高晓丽;宋海洋;傅新宇
-
北京北方华创微电子装备有限公司
-
2021-07-29
-
2023-02-03
-
H01L21/687
- 本申请公开一种工艺腔室和晶圆加工方法,工艺腔室包括腔室本体、承载件、内衬体、第一顶针、第二顶针、第一压环、第二压环和旋转支撑件,工艺腔室具有第一工作模式和第二工作模式,在第一工作模式下,第一顶针在第一停止位支撑第一晶圆,承载件上升至工艺位时,使第一压环和第一晶圆依次叠置于承载件上;在第二工作模式下,第二顶针支撑第二晶圆,第一顶针位于第二停止位,旋转支撑件将第二压环置于第一顶针上,承载件上升至工艺位时,使第一压环、第二压环和第二晶圆依次叠置于承载件上。采用上述工艺腔室加工不同尺寸的晶圆时,无需开盖,亦可以工作模式之间相互切换时的工作量相对较小,且对晶圆的加工进度产生的影响相对较小。
- 工艺加工方法
- [实用新型]一种碳酸锂碳化高效生产装置-CN202221688068.X有效
-
傅新宇;杨树申;候彭;旷戈;童见湘
-
新余国兴锂业有限公司
-
2022-07-01
-
2022-11-29
-
B01J19/18
- 本实用新型公开了一种碳酸锂碳化高效生产装置,涉及碳酸锂碳化技术领域,包括搅拌桶,所述搅拌桶顶端固定连接有电机,所述电机的输出轴固定连接有转动杆,所述搅拌桶的上壁贯穿且固定连接有转动套,所述转动杆贯穿且转动连接在转动套的内部,所述转动杆外壁设置有限位组件,所述限位组件包括:限位壳,所述限位壳固定连接在转动杆的外壁。通过电动带动转动杆逆时针转动,转动杆带动弧形搅拌杆转动,使弧形搅拌杆对搅拌桶内部的碳酸锂和软化水进行搅拌,使其混合的更加充分,增加碳化效果,通过清洁刮板对搅拌桶内壁进行清洁,防止搅拌桶内壁吸附碳酸锂,不仅增加搅拌桶内部的整洁度,且还节约资源,使碳酸锂的利用率最大化。
- 一种碳酸锂碳化高效生产装置
|