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[发明专利]一种薄膜沉积设备、组装方法及减振连接器-CN202310954890.9在审
发明人：唐仁鹏;董文惠;路希龙;何吉超 -专利权人：拓荆科技(上海)有限公司
申请日： 2023-07-31 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明提供了一种薄膜沉积设备、组装方法及减振连接器。所述薄膜沉积设备包括：主体框架，其上设有至少一个动作机构；工艺腔室，经由减振连接器连接所述主体框架，用于配合所述动作机构对待加工晶圆进行薄膜沉积；以及所述减振连接器，包括连接所述主体框架的第一接头、连接所述工艺腔室的第二接头，以及连接所述第一接头及所述第二接头的阻尼机构。基于这些配置，该薄膜沉积设备能够吸收主体框架上各种阀门及气液管道内部流体的动作产生的微振动，以提升薄膜沉积质量，并减小设备本身由振动带来的危害，以提高设备的工作寿命。
一种薄膜沉积设备组装方法连接器

[实用新型]一种晶圆升降结构以及薄膜沉积设备-CN202320352954.3有效
发明人：杨天奇;吴凤丽;郑旭东;刘振;万亿;何吉超;董文惠;路希龙;杨华龙;张翔宇 -专利权人：拓荆科技股份有限公司
申请日： 2023-03-01 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种晶圆升降结构以及一种薄膜沉积设备。该晶圆升降结构包括：线性轴承，竖直安装于晶圆托盘，其中设有多个滚珠；顶针，安装于线性轴承内部，并经由多个滚珠滚动连接线性轴承；以及驱动机构，用于向顶针提供向上的驱动力，驱动顶针的顶端向上伸出线性轴承及晶圆托盘，以抬升晶圆。
一种升降结构以及薄膜沉积设备

[发明专利]管端接头、管路对接装置和半导体设备-CN202310693786.9在审
发明人：唐仁鹏;董文惠;路希龙;何吉超 -专利权人：拓荆科技(上海)有限公司
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： F16L21/06 文献下载
摘要：本发明的实施例提供了一种管端接头、管路对接装置和半导体设备，涉及半导体技术领域。管端接头包括连接管本体、外套管、对接管和阀芯。阀芯设置于连接管本体的一端，且部分凸出连接管本体，阀芯与连接管本体之间形成有流道，以供气体通过。对接管的一端形成有阀座。外套管套设于对接管和连接管本体，且转动外套管可使连接管本体相对对接管移动，以使阀芯与阀座结合或分离。其能够对管路的端部进行封堵，从而可以避免气体或液体的泄漏。
端接管路对接装置半导体设备

[发明专利]一种抑制和/或减缓透明质酸或其盐分解、和/或维持透明质酸或其盐作用的用途、方法及组合物-CN202310467886.X在审
发明人：刘喆;请求不公布姓名;吴亚南;何吉超 -专利权人：华熙生物科技股份有限公司
申请日： 2023-04-24 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： A61K8/65 文献下载
摘要：本申请提供了一种胶原类物质、胶原类物质与硫酸软骨素的组合、包含胶原类物质的组合物、或包含胶原类物质与硫酸软骨素的组合物在抑制和/或减缓透明质酸或其盐分解、和/或维持透明质酸或其盐作用中的用途。本申请还提供了一种含有透明质酸或其盐的组合物，包括透明质酸或其盐、胶原类物质和/或硫酸软骨素。本申请抑制和/或减缓了透明质酸或其盐的降解，维持了透明质酸或其盐的作用，避免在配方中添加酶制剂带来的人体安全风险，安全有效地延长了透明质酸或其盐的作用。
一种抑制减缓透明盐分维持作用用途方法组合

[发明专利]一种源瓶加热组件及沉积设备-CN202310333475.1在审
发明人： 何吉超;吴凤丽;董文惠;吉万顺;朱晓亮;路希龙 -专利权人：拓荆科技(上海)有限公司
申请日： 2023-03-31 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本发明涉及半导体沉积设备技术领域，具体涉及一种源瓶加热组件及沉积设备。本发明提供的一种源瓶加热组件，包括托板、第一加热带、第二加热带、第三加热带和预紧机构，所述第三加热带设置在所述托板上，所述源瓶放置在所述第三加热带上；所述第二加热带贴合于所述源瓶的侧面，所述第一加热带盖合于所述源瓶的上表面；所述预紧机构包括夹紧结构和下压结构，所述夹紧结构用于夹紧所述第一加热带。瓶体的上表面、侧面和下表面分别与第一加热带、第二加热带和第三加热带相接触，使得瓶体的上表面、侧面和下表面均能够被加热，提高了加热效果，通过控制第三加热带、第二加热带和第一加热带的温度依次递增，以适应固体加热的温度需求。
一种加热组件沉积设备

[实用新型]用于半导体储气瓶的加热装置-CN202320687515.8有效
发明人：路希龙;刘振;吴凤丽;董文惠;何吉超;刘润哲 -专利权人：拓荆科技(上海)有限公司
申请日： 2023-03-30 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： F17C13/10 文献下载
摘要：本申请涉及储气装置技术领域，具体公开了一种用于半导体储气瓶的加热装置，包括第一金属加热模块以及加热棒，第一金属加热模块包括第一金属抱块和第二金属抱块，第一金属抱块和第二金属抱块扣合形成用于放置储气瓶的第一容纳腔室；第一金属抱块与第二金属抱块内部均设置有第一安装孔，加热棒插设在第一安装孔内，加热棒产生的热量通过第一金属抱块和第二金属抱块传递至第一容纳腔室。本申请通过对加热装置结构的改进能够对储气瓶进行稳定可靠的加热，提高用于半导体储气瓶加热装置的温度控制能力。
用于半导体储气瓶加热装置

[实用新型]一种用于薄膜沉积设备的调整装置及薄膜沉积设备-CN202320714879.0有效
发明人：朱晓亮;杨华龙;吴凤丽;张启辉;高鹏飞;赵坤;何吉超 -专利权人：拓荆科技(上海)有限公司
申请日： 2023-03-31 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型公开一种用于薄膜沉积设备的调整装置及薄膜沉积设备，涉及半导体设备技术领域。该调整装置包括调整座、水冷块、调整螺栓和锁紧螺母，调整螺栓包括依次连接的第一螺纹杆、第一连接杆、第二连接杆和第二螺纹杆，调整座上对应第一螺纹杆设置有第一螺纹孔、对应第一连接杆设置有第一连接孔，水冷块上对应第二连接杆设置有第二连接孔，锁紧螺母对应第二螺纹杆设置有第二螺纹孔，第一螺纹杆和第一螺纹孔以及第二螺纹杆和第二螺纹孔分别螺纹连接，第一连接杆和第一连接孔以及第二连接杆和第二连接孔分别间隙配合。该调整装置及薄膜沉积设备能够解决现有技术中因调整螺栓在螺纹孔内存在晃动而导致的加热盘发生晃动以及设备无法正常工作的问题。
一种用于薄膜沉积设备调整装置

[实用新型]用于加热棒固定的装置-CN202223447864.7有效
发明人：路希龙;吴凤丽;刘振;杨天奇;卜夺夺;万亿;何吉超;吉万顺 -专利权人：拓荆科技(上海)有限公司
申请日： 2022-12-22 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： H05B3/40 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种用于加热棒固定的装置，涉及加热棒的技术领域，包括加热主体、加热棒和若干紧固件，加热棒插接于加热主体内；加热主体的外壁沿加热棒的径向设有多个固定孔，多个紧固件一一对应的分别插接于多个固定孔中，且多个紧固件的一端与加热棒相抵接，缓解了现有技术中存在的由于加热棒的长度与孔内深度存在差异，加热棒在安装孔内加热的过程中容易沿内壁轴向窜动，进而导致加热棒无法稳定与安装孔内部接触，降低加热棒的加热效率的技术问题，提升了加热棒对待加热工件的加热效果。
用于加热固定装置

[发明专利]一种抽气环及其加工方法以及一种薄膜沉积设备-CN202310199971.2在审
发明人：杨天奇;吕志鹏;吴凤丽;刘振;何吉超;董文惠;杨华龙;路希龙;卜夺夺;张翔宇;万亿;张启辉 -专利权人：拓荆科技股份有限公司
申请日： 2023-03-03 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明公开了一种抽气环及其加工方法，以及一种薄膜沉积设备。该抽气环设置于反应腔体内的晶圆托盘的外围，其至少一侧设有该反应腔体的抽气口，用于经由该抽气环的环体上分布的多个抽气孔，从该抽气环内部抽气，至少一部分该抽气孔包括设于该抽气环的内侧的第一孔径的第一槽孔，以及设于该第一槽孔外侧的第二孔径的第二槽孔，其中，该第二孔径大于该第一孔径，以构成阶梯孔，该第二槽孔的槽孔深度随该抽气孔到该抽气口的距离的递增而递增。通过上述结构，能够解决抽气环上各抽气孔到抽气口的距离不同，所产生的抽气环环内区域抽气不均匀问题，从而避免生成的晶圆薄膜沉积厚度不均匀问题。
一种抽气环及其加工方法以及薄膜沉积设备

[实用新型]一种加热棒的检验工装-CN202223468731.8有效
发明人：路希龙;吴凤丽;刘振;杨天奇;卜夺夺;万亿;何吉超;吉万顺 -专利权人：拓荆科技(上海)有限公司
申请日： 2022-12-23 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： G01B5/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及加热棒检测技术领域，具体涉及一种加热棒的检验工装。本实用新型提供的一种加热棒的检验工装，包括检验块，所述检验块的一个面为检测面；在所述检测面上开设有至少一组检验孔；一组所述检验孔包括第一通孔和第二通孔；所述第一通孔的直径等于所述加热棒所允许的最大直径，所述第二通孔的直径等于所述加热棒所允许的最小直径，所述第一通孔和第二通孔的深度均大于所述加热棒的长度。所述检验块为矩形块、圆柱体、正多棱柱体中的任意一种。能够检测出加热棒的整体尺寸是否合格，通过直接插入就能判断加热棒整体外径是否能满足要求及是否影响使用，检测过程简单高效。
一种加热检验工装

[发明专利]一种半导体设备腔体盖板对中工装及对中方法-CN202310010548.3有效
发明人：朱晓亮;吴凤丽;赵坤;杨华龙;张启辉;高鹏飞;何吉超;卜夺夺 -专利权人：拓荆科技（上海）有限公司
申请日： 2023-01-05 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： B25B11/02 文献下载
摘要：本发明涉及半导体制造设备技术领域，更具体的说，涉及一种半导体设备腔体盖板对中工装及对中方法。本发明提供了一种半导体设备腔体盖板对中工装，包括连接座、滑动座、连接销、滚子轴承随动器、连接杆和手轮：所述连接座，用于与腔体进行固定；所述滚子轴承随动器，通过连接销固定在滑动座上；所述连接杆，一端与手轮连接，穿过滑动座后另一端与连接座连接；所述滑动座，与连接座连接；通过手轮作用，滑动座进行往返移动，调节滚子轴承随动器的限位位置。本发明提供的半导体设备腔体盖板对中工装及对中方法，保证腔体与盖板相对安装位置的精准对中，可以根据不同盖板尺寸快速调整限位位置，适用范围更加广泛，使用更加高效。
一种半导体设备盖板工装方法

[实用新型]掘锚一体机-CN202221969415.6有效
发明人： 何吉超;刘峰;朱晓亮;潘丽君;张强 -专利权人：三一重型装备有限公司
申请日： 2022-07-28 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： E21D9/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及巷道施工机械技术领域，提供一种掘锚一体机，包括：下车结构；支撑平台，支撑平台设于下车结构；工作平台；隔距结构件，隔距结构件可拆卸设于工作平台和支撑平台之间。本实用新型提供的一种掘锚一体机，通过在支撑平台和工作平台之间设置可拆装的隔距结构件，当巷道高度较高时，安装隔距结构件；当巷道高度较低时，拆除隔距结构件。本实用新型通过拆装隔距结构件，使得掘锚一体机可以满足所有高度的巷道使用需要，且其占用空间小，结构稳定性高，不易发生故障。
一体机

[发明专利]锚杆料仓和工程设备-CN202210858972.9在审
发明人：张强;朱晓亮;潘丽君;何吉超 -专利权人：三一重型装备有限公司
申请日： 2022-07-21 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： B65D88/54 文献下载
摘要：本发明提供了一种锚杆料仓和工程设备，锚杆料仓包括：驱动组件；至少一个固定组件，安装于驱动组件上，驱动组件用于驱动固定组件进行转动；其中，固定组件包括多个安装位，每个安装位能够安装至少两个锚杆。根据本发明提供的锚杆料仓，驱动组件能够带动固定组件进行转动，以实现转动上料，从而取代了人工上料，提高了上料的效率，降低了工作人员的劳动强度。固定组件包括多个安装位，每个安装位能够至少安装两个锚杆，从而增加了锚杆料仓储存锚杆的数量，使得锚杆料仓无需频繁进行储料，因此，进一步增加了自动供料的效率。由于本申请是通过驱动组件直接驱动固定组件进行转动供料的，因此，本申请锚杆料仓的传动更加的稳定，传动精度更高。
锚杆料仓工程设备

[实用新型]锚杆钻机和工程机械-CN202221579050.6有效
发明人： 何吉超;柳枫;潘丽君;朱晓亮 -专利权人：三一重型装备有限公司
申请日： 2022-06-23 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： E21B7/04 文献下载
摘要：本实用新型的实施例提供了一种锚杆钻机和工程机械，其中锚杆钻机包括：支护导轨，设有第一滑槽；滑道总成，设有第一滑块、第二滑槽，第一滑块与第一滑槽配合；滑架总成，设有第二滑块、第三滑槽，第二滑块与第二滑槽配合；旋转机构，设有第三滑块，第三滑块与第三滑槽配合，第一滑槽和/或第二滑槽和/或第三滑槽为燕尾槽，滑槽的槽壁设有耐磨层。本实用新型的技术方案中，通过滑槽与滑块实现滑动连接，有利于简化结构，降低装配难度。另外，由于滑槽为燕尾槽，有利于提高滑动过程中的平稳程度，有效避免工作过程中两者相互分离，安全性能更高。由于滑槽的槽壁设有耐磨层，有利于提高滑槽的耐磨性能，减少滑块对滑槽的磨损。
钻机工程机械

[实用新型]柔性护帮网挂网机械手及作业机械-CN202221548690.0有效
发明人：张强;朱晓亮;潘丽君;何吉超 -专利权人：三一重型装备有限公司
申请日： 2022-06-20 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： E21D11/40 文献下载
摘要：本实用新型涉及煤矿设备领域，提供一种柔性护帮网挂网机械手及作业机械，其中，柔性护帮网挂网机械手包括：固定架；水平伸缩机构，一端设置于固定架的一侧；垂直升降机构，其上设置有放置柔性护帮网的存储结构；角度调节机构，设置于水平伸缩机构和垂直升降机构之间，用于调节垂直升降机构的倾斜角度。本实用新型公开的柔性护帮网挂网机械手及作业机械，通过水平伸缩机构和垂直升降机构实现既节约安装空间又可以满足大的行程需求；通过在水平伸缩机构和垂直升降机构之间设置角度调节机构，调节垂直升降机构的倾斜角度，可以使得存储结构摆动倾斜，使柔性护帮网滑落，进而实现柔性护帮网的铺展动作。
柔性护帮网挂网机械手作业机械

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