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[发明专利]一种IGBT器件及其制备方法、电子装置-CN202311051566.2在审
发明人：戴银;任文珍 -专利权人：绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
申请日： 2023-08-18 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01L29/739 文献下载
摘要：本发明提供一种IGBT器件及其制备方法、电子装置，该器件包括：衬底，衬底包括第一区域与第二区域；基极区，位于第一区域与第二区域内，且自衬底的第一表面延伸至衬底中；栅极结构，位于第二区域内，且自衬底的第一表面延伸至衬底中并贯穿第二区域内的基极区；源区，位于第二区域内的基极区内，且自衬底的第一表面延伸至衬底中；存储区，位于第二区域内的基极区的下方；第一注入区，位于第二区域内，且自衬底的第二表面延伸至衬底内。本发明的IGBT器件及其制备方法、电子装置，第一区域内无栅极结构与存储区，能够加快反向恢复时的载流子抽取速度，进而减小反向恢复损耗，改善反向恢复特性，进而提高器件的性能，拓宽了应用范围。
一种 igbt 器件及其制备方法电子装置

[发明专利]超结VDMOS器件及其制备方法、电子设备-CN202310711796.0在审
发明人：张玉琦;戴银;任文珍 -专利权人：绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
申请日： 2023-06-15 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： H01L29/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种超结VDMOS器件及其制备方法、电子设备，超结VDMOS器件包括：衬底和超结结构。其中，所述超结结构形成在所述衬底上；所述超结结构包括第一导电类型柱和第二导电类型柱；每个所述导电类型柱均贯穿所述超结结构在高度方向上相对的两个表面，且每个所述导电类型柱在所述超结结构的第一设定高度范围内的掺杂浓度均小于该所述导电类型柱在第二设定高度范围内的掺杂浓度，对栅漏电容进行优化，使其在低漏源电压条件下的栅漏电容增大，避免出现低漏源电压下栅漏电容凹坑的现象。
vdmos 器件及其制备方法电子设备

[发明专利]垂直型晶体管及其制备方法-CN202211431341.5在审
发明人：张玉琦;戴银;任文珍 -专利权人：绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
申请日： 2022-11-14 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： H01L29/06 文献下载
摘要：本申请实施例涉及一种垂直型晶体管及其制备方法，其中垂直型晶体管包括：半导体衬底，包括彼此相对的第一表面和第二表面，半导体衬底具有第一导电类型；多个第二导电类型体区，从第一表面延伸至半导体衬底的内部；其中，第二导电类型不同于第一导电类型；源极区，位于第二导电类型体区内，漏极，位于第二表面上；凹槽，位于相邻两第二导电类型体区之间，且从第一表面延伸至半导体衬底的内部；栅极介质层，从凹槽内延伸至第一表面的上方，且覆盖第二导电类型体区的部分区域；栅极，位于栅极介质层上；如此，可实现低压下的Cgd降低，而高压下的Cgd基本不变的目的，从而降低了Qg及驱动损耗，并且工艺简单，易于实现。
垂直晶体管及其制备方法

[实用新型]一种超结VDMOS器件及电子设备-CN202222706837.0有效
发明人：张玉琦;戴银;任文珍 -专利权人：绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
申请日： 2022-10-13 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： H01L29/78 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种超结VDMOS器件及电子设备，超结VDMOS器件包括有源区、主结区和终端区，其中，有源区包括远离主结区的第一区域和靠近主结区的第二区域：有源区包括多个栅极结构；第一区域包括第一组第一导电类型柱，第一组第一导电类型柱分别设置于有源区相邻的栅极结构之间，第一组第一导电类型柱的柱宽相等；第二区域包括第二组第一导电类型柱，第二组第一导电类型柱分别设置于有源区相邻的栅极结构之间，第二组第一导电类型柱的柱宽沿第一方向逐渐减小，第一方向为有源区至主结区的方向。降低了工艺波动带来的尺寸偏差对第二区域耐压的影响，以保证第二区域耐压高于有源区耐压，避免发生第二区域击穿，提高器件的稳定性。
一种 vdmos 器件电子设备

[发明专利]接触孔制造方法及半导体器件制造方法-CN202210836621.8在审
发明人：戴银;任文珍 -专利权人：绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
申请日： 2022-07-15 - 公布日： 2022-10-14 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：本发明提供了一种接触孔制造方法及半导体器件制造方法，其在第一导电结构的顶面上覆盖一定厚度的绝缘介质层，并在第一导电结构之间的间隔中填充牺牲层，由此，在刻蚀层间介质层形成开孔作为接触孔的上部开口之后，去除牺牲层来自对准的形成接触孔的下部开口，降低了对接触孔的对位精度的要求，进而降低了接触孔制造的工艺难度。
接触制造方法半导体器件

[发明专利]超结器件终端结构-CN202210134562.X在审
发明人：戴银;任文珍 -专利权人：绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
申请日： 2022-02-14 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： H01L29/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种超结器件终端结构，其将终端区的第一导电类型外延层分为第一至第三区，第一区的第一导电类型外延层的顶层中形成第二导电类型主结，第二区的第一导电类型外延层的顶层中形成第二导电类型的掺杂区，且掺杂区的掺杂浓度小于主结的掺杂浓度，掺杂区底部下方的第二导电类型柱的顶部齐平或低于主结下方的第二导电类型柱的顶部，第三区中距离截止环掺杂区近的第二导电类型柱的顶部高度低于距离第二区近的第二导电类型柱的顶部高度，由此，不仅将主结边缘的电场峰值引入终端结构体内，还有效降低截止环掺杂区及周围的表面电场，减小截止环掺杂区与最近的第二导电类型柱的距离，有效降低终端面积，同时对器件耐压和总体电场无不利影响。
器件终端结构

[发明专利]超结器件及其制造方法-CN202010501934.9有效
发明人：戴银;任文珍 -专利权人：绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
申请日： 2020-06-04 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： H01L29/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种超结器件及其制造方法，所述超结器件在所述终端区的第一导电类型外延层内设有超结终端结构，所述超结终端结构包括若干呈交替排列的第一导电类型柱和第二导电类型柱、主结和多个第二导电类型区，且至少部分相邻的第二导电类型区之间间隔至少一个第二导电类型柱，由此在保证耐压性能的基础上，可以增大第二导电类型区的形成工艺窗口，降低工艺难度。
器件及其制造方法

[发明专利]超结MOSFET结构及其制造方法-CN201811187899.7有效
发明人：肖晓军;周宏伟;张园园;徐永年;任文珍 -专利权人：龙腾半导体有限公司
申请日： 2018-10-12 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： H01L29/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种超结MOSFET结构及其制造方法，该方法通过对具有高深宽比超结结构的P柱进行间隔刻蚀，刻蚀后再进行N型外延，使被刻蚀的P柱浮置于Pbody下方，为上方的Pbody浓度调整及阈值电压调整提供可优化空间，减少pbody间的颈区电阻。本发明结构的栅漏电容相对常规超结结构偏大，并且随漏源电压变化平缓，可有效降低器件的EMI影响，同时本发明结构可有效降低器件的Coss,减小Eoss,提升器件工作的转换效率，为阈值电压及雪崩耐久性的优化调整提供了设计和工艺空间。
mosfet 结构及其制造方法

[实用新型]一种码垛车-CN202120502198.9有效
发明人：张艳;章逸丰;杨志昆;任文珍;杨玉坡 -专利权人：浙江大学滨海产业技术研究院;天津迦自机器人科技有限公司
申请日： 2021-03-09 - 公布日： 2021-10-26 - 主分类号： B65G61/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种码垛车，包括底座及其上方的传送结构、码垛支架、升降平移结构和爪手结构，所述传送结构底部活动连接至底座，传送结构一侧设有码垛支架，码垛支架顶部固定连接升降平移结构，升降平移结构底部设有爪手结构，所述底座、传送结构、码垛支架、升降平移结构和爪手结构均信号连接至控制器。本实用新型所述的一种码垛车设计合理，具有自主移动底座，能够根据装卸车任务的呼叫，自主规划路径，行驶到需要装卸车的工位，到达装卸工位后进行环境扫描和3D重构，感知集装箱车体的环境，并配合升降液压缸和传送结构，将传送结构伸入待装车车体内，并可进行前侧安全距离感知，增加传送结构安全性防止与车体、货物及人员发生碰撞。
一种码垛

[实用新型]一种传送装置-CN202120502072.1有效
发明人：张艳;任文珍;杨志昆;杨玉坡 -专利权人：天津迦自机器人科技有限公司;浙江大学滨海产业技术研究院
申请日： 2021-03-09 - 公布日： 2021-10-19 - 主分类号： B65G67/08 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种传送装置，包括均位于底座上的一号固定架、二号固定架、一号传送带、二号传送带、三号传送带、一号传送单元和二号传送单元，所述一号传送带单元底部两端分别通过一号固定架、二号固定架固定连接至底座，一号传送带内部通过一号传送单元传动连接至二号传送带，二号传送带通过二号传送单元传动连接至三号传送带。本实用新型所述的一种传送装置结构设计合理，到达装卸工位后进行环境扫描和3D重构，感知集装箱车体的环境，并配合升降液压缸和传送带结构，将三号传送带伸入待装车车体内，并可进行前侧安全距离感知，增加传送装置安全性防止与车体、货物及人员发生碰撞。
一种传送装置

[实用新型]一种抓手结构-CN202120502197.4有效
发明人：张艳;杨玉坡;杨志昆;任文珍 -专利权人：天津迦自机器人科技有限公司;浙江大学滨海产业技术研究院
申请日： 2021-03-09 - 公布日： 2021-10-19 - 主分类号： B25J15/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种抓手结构，包括抓手支板、抓手架、吸盘组、旋转电机、货物识别相机和夹具单元，抓手支板顶部中部固定连接至旋转电机的输出轴，旋转电机顶部转动连接至码垛架，抓手支板底部中部固定连接吸盘组，吸盘组一侧设有货物识别相机，抓手支板底部一侧固定连接抓手架，抓手架两侧分别设有一个夹具单元，且2个夹具单元分别固定至抓手支板底部两侧。本实用新型所述的一种抓手结构通过旋转电机转动对抓手架的角度进行调节，通过货物识别相机感知货物的外形、尺寸、排列等，通过抓手架、吸盘组以及夹具单元对货物进行抓取，从而实现自动化码垛，省时省力，大大节省了人工成本。
一种抓手结构

[实用新型]AGV驱动的连接结构-CN202023168250.6有效
发明人：杨志昆;任文珍;张艳;杨玉坡 -专利权人：浙江大学滨海产业技术研究院;天津迦自机器人科技有限公司
申请日： 2020-12-24 - 公布日： 2021-08-31 - 主分类号： B62D63/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种AGV驱动的连接结构，包括电机、减速机、传动轴、转轮、轴套组件、基板和螺母盖板，减速机的一端安装电机，减速机的另一端固定连接至传动轴的第一端，传动轴的第二端外围套接转轮，传动轴的外围分别套接基板和轴套组件，传动轴的第二端还安装螺母盖板，螺母盖板位于转轮的一侧，基板位于转轮的另一侧，且基板与转轮之间设有缝隙，轴套组件位于基板与减速机之间，减速机外围、轴套组件外围和基板外围均固定连接至车体底盘，电机信号连接至控制器。本实用新型所述的一种AGV驱动的连接结构，采用左右设置的第一轴承和第二轴承成对使用，且第一轴承和第二轴承均是圆锥滚珠轴承，用以承接麦轮平移时的轴向力。
agv 驱动连接结构

[实用新型]重载AGV的悬挂驱动结构-CN202023199630.6有效
发明人：杨志昆;章逸丰;曹慧赟;任文珍 -专利权人：天津迦自机器人科技有限公司;浙江大学滨海产业技术研究院
申请日： 2020-12-24 - 公布日： 2021-08-31 - 主分类号： B62D63/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种重载AGV的悬挂驱动结构，包括前驱总成和后驱总成，所述前驱总成包括第一驱动单元和第二驱动单元，所述后驱总成包括第三驱动单元、第四驱动单元和后驱悬挂，第一驱动单元上端和第二驱动单元上端均固定连接至车体下端，后驱悬挂包括第一偏转轴及其外围套接的第一悬挂梁，第一偏转轴的两端均固定套接至车体的下端，第一悬挂梁的两端分别安装第三驱动单元和第四驱动单元，第一驱动单元、第二驱动单元、第三驱动单元、第四驱动单元均相互平行设置且均信号连接至AGV的控制器。本实用新型所述的重载AGV的悬挂驱动结构，第一悬挂梁和第二悬挂梁的设置确保了每个转轮的的高低变换，以此确保AGV叉车在高低起伏的路面具有良好的抓地力。
重载 agv 悬挂驱动结构

[实用新型]重载AGV防撞结构-CN202023202583.6有效
发明人：杨志昆;张德星;任文珍;曾骥;朱昱州 -专利权人：天津迦自机器人科技有限公司;浙江大学滨海产业技术研究院
申请日： 2020-12-24 - 公布日： 2021-08-20 - 主分类号： B66F9/075 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种重载AGV防撞结构，包括第一支板、第二支板、第一连板、第二连板和扭簧，第一支板和第二支板相互平行设置，第一支板的第一侧固定安装至车体的一侧，第一支板和第二支板之间安装第一连板和第二连板，且第一连板中部和第二连板的中部通过一个转轴相铰接，所述转轴外围设置所述扭簧，扭簧的两端分别顶触至第一支板、第二支板。本实用新型所述的重载AGV防撞结构，浮动装置内的滑块可以将连杆的纵向位移转换成横向位移，构成避让机构，避免被撞坏，同时第二支板的两端面圆角均匀向下受压，确保了此部分与障碍物的滑动接触，避免硬性接触损坏装置，机械结构稳定，灵敏耐用。
重载 agv 结构

[实用新型]麦克纳姆轮悬挂-CN202023163024.9有效
发明人：杨志昆;章逸丰;任文珍;张艳 -专利权人：浙江大学滨海产业技术研究院;天津迦自机器人科技有限公司
申请日： 2020-12-24 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： B60K1/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种麦克纳姆轮悬挂，包括底盘、前驱总装、后驱总装、第一悬挂支架、第二悬挂支架、第一浮动组件和第二浮动组件，前驱总装通过第一悬挂支架固定连接至底盘的下端，后驱总装通过第二悬挂支架固定连接至底盘的下端，第一浮动组件和第二浮动组件相互平行设置，第一浮动组件下端和第二浮动组件下端均固定安装至后驱总装的外围，第一浮动组件上端和第二浮动组件的上端均固定套接至底盘的下端。本实用新型所述的麦克纳姆轮悬挂，第一悬挂支架和第二悬挂支架均用于稳定稳固驱动的作用，此外第二悬挂支架保证后驱总装可以与底盘发生偏转，此外前驱总装和后驱总装都配有动力源，保证AGV小车的强劲动力。
麦克纳姆轮悬挂

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