[发明专利]蒸镀掩模用框架、带框架蒸镀掩模以及蒸镀方法

说明书

提供一种蒸镀掩模用框架，该蒸镀掩模用框架轻量并具有高刚性，且抑制脱气的产生。一个实施方式的蒸镀掩模用框架(50)具备构成为保持蒸镀掩模的框架主体(51)。框架主体是基材以及强化材料均由无机固体材料构成的复合材料。

技术领域

实施方式涉及蒸镀掩模用框架、带框架蒸镀掩模以及蒸镀方法。

背景技术

在有机EL(electro-luminescence：电致发光)面板的制造中，已知有在蒸镀室内在被蒸镀基板上蒸镀有机物等蒸镀物质时使用的蒸镀掩模、以及保持该蒸镀掩模的蒸镀掩模用框架。

在通过蒸镀处理形成高精细的图案的情况下，由于蒸镀掩模的厚度，从倾斜方向入射的蒸镀物质被遮挡，像素内不能均匀地蒸镀，可能产生阴影的问题。因此，希望将蒸镀掩模设计成薄膜。薄膜的蒸镀掩模的刚性容易降低，有时蒸镀掩模单体不容易相对于被蒸镀基板高精度地定位。因此，要求蒸镀掩模用框架具有高刚性，从而具有取代蒸镀掩模而提高蒸镀掩模相对于被蒸镀基板的定位精度的功能。

另外，在蒸镀处理时，来自蒸镀源的热量向蒸镀掩模以及蒸镀掩模用框架辐射，发生蒸镀掩模以及蒸镀掩模用框架的热变形。因此，为了抑制蒸镀掩模由于温度变化而变形，希望蒸镀掩模用框架具有与蒸镀掩模相同程度低的热膨胀系数。由于在蒸镀掩模中经常使用殷钢合金，因此在蒸镀掩模用框架中也经常使用殷钢合金。

另外，在专利文献1中，提出了一种蒸镀掩模用框架，该蒸镀掩模用框架由柱状的芯部和面板形成为夹层构造体，该柱状的芯部内含通过以碳化硅为强化纤维的碳纤维强化塑料(CFRP：Carbon fiber reinforced plastics)而形成的空隙，该面板覆盖该柱状的芯部的包含露出空隙的面的侧面的周围且由粘贴于芯部的由CFRP或金属板构成。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本国特开2019-112713号公报

发明内容

发明要解决的课题

伴随着有机EL面板的大型化，该有机EL面板的制造中使用的蒸镀掩模用框架有大型化、质量增加的倾向。因此，在使用密度为8.1[g/cm³]左右的殷钢合金作为蒸镀掩模用框架的情况下，在蒸镀装置内用于输送蒸镀掩模用框架的输送机器人的载荷过大，结果有可能增加蒸镀装置的成本。

另一方面，CFRP在具有高刚性的同时，密度为1.6[g/cm³]左右，因此能够形成比殷钢合金轻的蒸镀掩模用框架。因此，从减轻对输送机器人施加的载荷的观点出发，能够比殷钢合金更有利。

然而，CFRP包括塑料(树脂)。在专利文献1中，该树脂虽然使用具有热固化性的树脂，但在蒸镀室内的真空环境中，会成为脱气的产生原因，会引起该脱气导致的被蒸镀基板的污染。

本发明是鉴于这样的实际情况而完成的，其目的在于提供一种蒸镀掩模用框架，该蒸镀掩模用框架轻量并具有高刚性，且抑制脱气的产生。

用于解决课题的方案

为了解决上述的课题，本发明采用以下的结构。

即，实施方式的蒸镀掩模用框架具备构成为保持蒸镀掩模的框架主体。上述框架主体是基材以及强化材料均由无机固体材料构成的复合材料。

发明效果

根据本发明，能够提供一种蒸镀掩模用框架，该蒸镀掩模用框架轻量并具有高刚性，且抑制脱气的产生。

附图说明

图1是示出实施方式的蒸镀装置的结构的示意图。

图2是示出实施方式的带框架蒸镀掩模的结构的俯视图以及侧视图。