[发明专利]Micro LED显示面板及其制备方法有效
申请号: | 202110504551.1 | 申请日: | 2021-05-10 |
公开(公告)号: | CN113299746B | 公开(公告)日: | 2022-09-09 |
发明(设计)人: | 刘杰 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L29/423 | 分类号: | H01L29/423;H01L33/36;H01L33/62;H01L27/12;H01L27/15;H01L33/00 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 陈斌 |
地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | micro led 显示 面板 及其 制备 方法 | ||
本申请实施例公开了一种Micro LED显示面板和一种Micro LED显示面板制备方法,Micro LED显示面板包括衬底、同层且绝缘的设置在衬底上方的栅极、阳极、阴极,过第二栅绝缘层、层间绝缘层、平坦层设置有第一过孔,其中,阳极和阴极下沉到与栅极同层,第一过孔使阳极、阴极部分外露,在第一过孔内还设置有LED芯片量子点色转换层,量子点色转换层的厚度小于第一过孔的深度;通过将阳极、阴极设置得与栅极同层,增加了第一过孔的深度,使打印形成量子点转换层时墨滴较难溢出第一过孔,使得Micro LED显示面板的厚度不会因设置量子点色转换层而增加。
技术领域
本申请涉及Micro LED显示技术领域,具体涉及一种Micro LED显示面板和一种Micro LED显示面板制备方法。
背景技术
目前micro-LED的巨量转移成本高且良率低,红绿蓝三种LED芯片分别转移的话,成本更高,所以现有技术通常采用蓝色Micro-LED加量子点薄膜的结构。
目前的量子点薄膜都是一层较厚的附加薄膜,所以Micro LED显示面板的厚度相应的增加了很多。对于柔性显示不利,且成本贵。
因此,现有Micro LED显示面板存在设置量子点薄膜增大了厚度的技术问题。
发明内容
本申请实施例提供一种Micro LED显示面板和一种Micro LED显示面板制备方法,可以缓解现有Micro LED显示面板存在设置量子点薄膜增大了厚度的技术问题。
本申请实施例提供一种Micro LED显示面板,包括:
衬底;
位于所述衬底上方且背向所述衬底层叠设置的缓冲层、有源层、第一栅绝缘层;
设置在所述第一栅绝缘层上的栅极、阳极、阴极;
设置在第一栅绝缘层上方的第二栅绝缘层、层间绝缘层、平坦层,所述第二栅绝缘层、所述层间绝缘层、所述平坦层贯穿设置有第一过孔;
其中,所述阳极和所述阴极下沉到与栅极同层且相互绝缘设置,所述第一过孔的底部延伸至所述阳极和所述阴极所在层,所述阳极和所述阴极部分外露在所述第一过孔内。
可选的,在本申请的一些实施例中,在所述第一过孔内,所述阳极、所述阴极的部分表面以及所述第一过孔的内侧壁设置有反射层。
可选的,在本申请的一些实施例中,所述第一过孔内还设置有LED芯片和量子点色转换层,所述LED芯片分别与所述阳极、所述阴极连接,所述量子点色转换层设置在所述LED芯片背向所述衬底的一侧,且所述量子点色转换层的厚度小于或等于所述第一过孔的高度。
本申请实施例提供一种Micro LED显示面板制备方法,包括:
提供一阵列基板,所述阵列基板包括衬底、设置在所述衬底上的缓冲层、设置在所述缓冲层上的有源层、设置在所述有源层上的第一栅绝缘层;
在所述第一栅绝缘层上形成一金属膜层,将所述金属膜层制备得到同层且绝缘设置的栅极、阳极、阴极;
在所述第一栅绝缘层上制备得到第二栅绝缘层、层间绝缘层;
在所述第二栅绝缘层、所述层间绝缘层内形成第一过孔、第二过孔、第三过孔,所述第一过孔使所述阳极和所述阴极部分外露;
在所述第二栅绝缘层上制备得到源极、漏极,所述源极、所述漏极通过所述第三过孔与所述有源层连接,所述漏极通过所述第二过孔与所述阳极连接;
提供LED芯片,将所述LED芯片转移到所述第一过孔内;
在第一过孔内,在所述LED芯片上方通过喷墨打印的方式制备得到量子点色转换层。
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