[发明专利]接合装置

说明书

提供接合装置，其使一对金属板彼此接合。接合装置具备多个处理部。多个处理部中的一个处理部是加热加压处理部。加热加压处理部具有加热部、加压部以及隔热部。加热部对一对金属板进行加热。加压部对一对金属板进行加压。隔热部具有配置于加热部与加压部之间的中间部件。中间部件具有凹部和贯通孔中的至少任意一方。

技术领域

本发明涉及接合装置。

背景技术

以往，已知接合金属间的各种装置。例如，有如下的接合装置：使金属部件彼此抵接，使用加热的加压单元对金属部件进行加压并进行加热，在因加热而电阻增加的状态下对金属部件通电流从而加热，由此使两金属部件接合。(例如，参照日本特开2002-254175号公报)

专利文献1：日本特开2002-254175号公报

然而，除了利用通电的金属部件的加热以外，在对加压单元进行加热时，对金属部件的加热没有帮助的热消耗增大。因此，加压单元的升温所需的成本可能增大。

发明内容

本发明的目的在于抑制对金属板的加热没有帮助的热的消耗。

本发明的例示的接合装置使一对金属板彼此接合。所述接合装置具备多个处理部。多个所述处理部中的一个所述处理部是加热加压处理部。所述加热加压处理部具有加热部、加压部以及隔热部。所述加热部对一对所述金属板进行加热。所述加压部对一对所述金属板进行加压。所述隔热部具有配置于所述加热部与所述加压部之间的中间部件。所述中间部件具有凹部和贯通孔中的至少任意一个。

根据本发明的例示的接合装置，能够抑制对金属板的加热没有帮助的热的消耗。

附图说明

图1是示出接合装置的内部结构的一例的概念图。

图2是接合装置的立体图。

图3A是热传导部件的立体图。

图3B是示出热传导部件的结构例的沿A-A线的剖视图。

图3C是示出一对金属板彼此接触的接触部中的接合结构的一例的剖视图。

图4是示出加热加压处理部的结构例的概念图。

图5是示出非加压时的加热部与隔热部的连接状态的概念图。

图6是示出隔热部的中间部件的结构例的立体图。

标号说明

100：接合装置；1：处理部；11：搬入处理部；12：加热加压处理部；121：加热部；121a：上侧加热部；121b：下侧加热部；122：加压部；122a：上侧加压部；122b：固定部；123：隔热部；123a：上侧隔热部；123b：下侧隔热部；1231：中间部件；124：冷却部；124a：上侧冷却部；124b：下侧冷却部；125：连接部；125a：第一连接部；125b：第二连接部；13：前处理部；14：后处理部；15：搬出处理部；2：作业室；21：搬入口；22：搬出口；5：热传导部件；51：一对金属板；51a：被加热部；51b：散热部；510：空间；511：第一金属板；512：第二金属板；513：接触部；52：工作介质；53：芯构造体；6：发热源；Cr：结晶粒；Sd：凹部；h1：深度；w1：间隔；Sd1：第一凹部；Sd2：第二凹部；Sh：贯通孔；h2：宽度；w2：间隔；Sh1：第一贯通孔；Sh2：第二贯通孔。

具体实施方式

以下参照附图对例示的实施方式进行说明。