[实用新型]带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线

说明书

本实用新型涉及带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线，包括沿着磁材运行路径设置的至少两个低真空室、至少两个高真空室、镀膜室，安装在镀膜室的运动机构和动力装置；镀膜室的两侧分别至少设置一个低真空室和至少设置一个高真空室；平面阴极包括磁板，安装在磁板上的多个磁钢，位于磁钢下方的靶材；动力装置的输出端连接在运动机构上，运动机构的输出端连接在磁板上。磁材镀膜生产线大幅提高靶材利用率，既降低稀有材料的消耗，也实现高性能、低成本的产业化应用，属于真空镀膜设备技术领域。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，具体涉及带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线。

背景技术

目前市场使用的磁材镀膜生产线均采用固定磁板的平面阴极，由于铽、镝稀有金属成本昂贵，采用固定磁板的平面阴极靶材刻蚀区域呈双U形状，中间部分无法刻蚀，导致靶材利用率低，导致生产线镀膜成本高居不下。

实用新型内容

针对现有技术中存在的技术问题，本实用新型的目的是：提供带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线，大幅提高靶材利用率，既降低稀有材料的消耗，也实现高性能、低成本的产业化应用。

为了达到上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线，包括沿着磁材运行路径设置的至少两个低真空室、至少两个高真空室、镀膜室，安装在镀膜室的运动机构和动力装置；镀膜室的两侧分别至少设置一个低真空室和至少设置一个高真空室；平面阴极包括磁板，安装在磁板上的多个磁钢，位于磁钢下方的靶材；动力装置的输出端连接在运动机构上，运动机构的输出端连接在磁板上。

进一步的是：磁材镀膜生产线还包括输送机构和托板，托板放置在输送机构上，磁材放置在托板上。

进一步的是：输送机构包括传动辊，托板放置在传动辊上。

进一步的是：镀膜室上至少设置有一个平面阴极、至少一个动力装置、至少一个运动机构。

进一步的是：磁钢的列数为三列或者三列以上。

进一步的是：平面阴极的靶材为整块式、分块式或者绑定式。

进一步的是：运动机构为滑轨滑块运动机构或者滚轮轨道运动机构。

进一步的是：动力装置采用编程模块电气控制。

进一步的是：动力装置的动力形式为电动、气动或者液压。

进一步的是：低真空室为抽真空室或者过渡室，高真空室为过渡室或者缓冲室。

总的说来，本实用新型具有如下优点：

本磁材镀膜生产线在现有的磁材镀膜生产线上，运用运动磁板平面阴极，通过动力装置和运动机构带动磁板进行匀速或变速运动，使得平面阴极工作辉光随着磁板运动而运动，实现平面阴极的靶材刻蚀区域平缓，从而大幅提高靶材利用率。运动磁板可通过编程模块设计，实现变速或匀速运动，可针对不同工艺进行选择，工艺范围广，设备升级空间大。运动磁板的平面阴极，靶材刻蚀区域加宽加大，大幅提升靶材利用率，减少靶材的浪费。高靶材利用率大幅降低设备镀膜成本，提高产品性价比。本磁材镀膜生产线适用于在磁材表面镀铽或镀镝等膜层。产品可作为汽车领域、工业电机、风力发电、节能电梯、变频空调、消费类电子等领域的电机用高性能磁材使用。

附图说明

图1是本磁材镀膜生产线的结构示意图。

图2是镀膜室上第一种平面阴极的结构示意图。

图3是镀膜室上第二种平面阴极的结构示意图。

图4是镀膜室上第三种平面阴极的结构示意图。

图5是镀膜室上第四种平面阴极的结构示意图。