[发明专利]用于MEMS器件的防尘结构及MEMS麦克风封装结构

权利要求书

1.一种用于MEMS器件的防尘结构，其特征在于，包括：

网格膜，所述网格膜具有固定连接区、缓冲区和透声区，所述缓冲区环绕在所述透声区周围，所述固定连接区环绕在所述缓冲区周围，所述固定连接区位于所述网格膜的边缘，所述缓冲区上开设有贯穿所述网格膜的通孔；

载体，所述载体具有贯通的开口，所述载体连接在所述固定连接区的一侧，所述开口与所述缓冲区和透声区的位置相对应。

2.根据权利要求1所述的防尘结构，其特征在于，所述透声区采用隔离网制成，所述隔离网被配置为供声音穿过。

3.根据权利要求2所述的防尘结构，其特征在于，所述隔离网为有机材料无纺布或金属筛网。

4.根据权利要求1所述的防尘结构，其特征在于，所述缓冲区上开设有多个所述通孔，多个所述通孔沿着环绕所述透声区的区域均匀分布。

5.根据权利要求1所述的防尘结构，其特征在于，所述通孔为圆孔。

6.根据权利要求1所述的防尘结构，其特征在于，所述通孔为椭圆孔。

7.根据权利要求1所述的防尘结构，其特征在于，所述缓冲区的宽度小于所述固定连接区的宽度。

8.根据权利要求1所述的防尘结构，其特征在于，所述缓冲区与所述固定连接区的材质相同。

9.根据权利要求1所述的防尘结构，其特征在于，所述网格膜的平均厚度范围为0.3微米-1.2微米。

10.一种MEMS麦克风封装结构，其特征在于，包括：

具有容纳腔的外壳，所述外壳上设有声孔，所述声孔将所述外壳的内部和外部连通；

麦克风器件，所述麦克风器件固定设置在所述外壳内；

权利要求1-9任意之一所述的防尘结构，所述载体与所述外壳固定连接；

所述网格膜封闭所述声孔；和/或，所述网格膜间隔于所述声孔与所述麦克风器件之间。