[发明专利]一种芯片封装结构及其制造方法在审
申请号: | 201910520072.1 | 申请日: | 2019-06-17 |
公开(公告)号: | CN110211946A | 公开(公告)日: | 2019-09-06 |
发明(设计)人: | 任玉龙;孙鹏;曹立强 | 申请(专利权)人: | 上海先方半导体有限公司 |
主分类号: | H01L23/538 | 分类号: | H01L23/538;H01L21/768 |
代理公司: | 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313 | 代理人: | 张东梅 |
地址: | 200000 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 芯片 转接板 芯片焊盘 布线层 导电通孔 电连接 嵌入槽 塑封层 芯片封装结构 第二面 介质层 焊球 填胶 外接 绝缘保护 芯片背面 背对背 芯片包 层间 填充 金属 覆盖 制造 | ||
本发明公开了一种芯片封装结构,包括:塑封层;第一芯片,所述第一芯片包覆在所述塑封层内,且所述第一芯片具有第一芯片焊盘;转接板,所述转接板的第一面与所述塑封层、第一芯片背面相连,所述转接板具有芯片嵌入槽和导电通孔;引线,所述引线电连接所述第一芯片焊盘至所述导电通孔;第二芯片,所述第二芯片设置在所述转接板的所述芯片嵌入槽中,且所述第二芯片与所述第一芯片背对背;填胶层,所述填胶层填充所述第二芯片与所述芯片嵌入槽之间的间隙,并覆盖除第二芯片焊盘位置外的所述第二芯片;重新布局布线层,设置在所述转接板的第二面,且所述重新布局布线层与所述导电通孔、所述第二芯片焊盘电连接;介质层,所述介质层设置在所述转接板的第二面,用于所述重新布局布线层的层间和同层金属间的绝缘保护;以及外接焊球,所述外接焊球与所述重新布局布线层电连接。
技术领域
本发明涉及芯片封装技术领域,尤其涉及一种芯片封装结构及其制造方法。
背景技术
随着电子产品进一步小型化的发展,多芯片通过PCB基板实现互连的方案在很多情况下逐渐被多芯片组件(MCM)取代。多芯片组件(MCM)是指多个集成电路芯片电连接于共用电路基板上,并利用它实现芯片间互连的组件,是一种典型的高度集成组件。这些组件中的各芯片通常采用引线键合、载带键合或倒装芯片的方式未密封地组装在多层互连的基板上,然后经过塑封形成封装结构。比起将芯片直接安装在PCB上,MCM具有一定的优势。例如:(1)缩短了芯片间传输路径,提升了性能,同时具有低电源自感、低电容、低串扰以及低驱动电压等优点;(2)具有小型化和多功能的优点,且系统电路板的I/O数得以减少;(3)可广泛应用于专用集成电路,尤其是生产周期短的产品。(4)可实现混合型封装结构,形成功能组件模块。(5)提高了产品可靠性。
虽然多芯片组件具有诸多优点,但现有的多芯片封装结构还是基于基板、引线键合等技术实现,其封装体积、多芯片间的互连距离还相对较大。
为了实现多芯片集成后具有更小的封装体积、更小的信号延迟,本发明提出一种芯片封装结构及其制造方法,实现多芯片集成,并进一步缩小了多芯片封装结构的体积,减小了多芯片互连距离,降低了信号延迟。
发明内容
针对现有的多芯片组件还存在的封装体积还较大,芯片间互连距离还较长,多芯片间的信号延迟等问题,根据本发明的一个方面,提供一种芯片封装结构,包括:
塑封层;
第一芯片,所述第一芯片包覆在所述塑封层内,且所述第一芯片具有第一芯片焊盘;
转接板,所述转接板的第一面与所述塑封层、第一芯片背面相连,所述转接板具有芯片嵌入槽和导电通孔;
引线,所述引线电连接所述第一芯片焊盘至所述导电通孔;
第二芯片,所述第二芯片设置在所述转接板的所述芯片嵌入槽中,且所述第二芯片与所述第一芯片背对背;
填胶层,所述填胶层填充所述第二芯片与所述芯片嵌入槽之间的间隙,并覆盖除第二芯片焊盘位置外的所述第二芯片;
重新布局布线层,设置在所述转接板的第二面,且所述重新布局布线层与所述导电通孔、所述第二芯片焊盘电连接;
介质层,所述介质层设置在所述转接板的第二面,用于所述重新布局布线层的层间和同层金属间的绝缘保护;以及
外接焊球,所述外接焊球与所述重新布局布线层电连接。
在本发明的一个实施例中,所述塑封层的材料为环氧树脂或固化胶或EMC。
在本发明的一个实施例中,具有M个第一芯片,其中M≥2。
在本发明的一个实施例中,所述转接板为硅基转接板。
在本发明的一个实施例中,所述转接板的导电通孔为导电铜柱。
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