[发明专利]工件加工模具、工件加工方法及埋管结构有效

专利信息
申请号: 201910363848.3 申请日: 2019-04-30
公开(公告)号: CN111842849B 公开(公告)日: 2022-02-22
发明(设计)人: 赵仁洁;杨超;张丽;朱文洁 申请(专利权)人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
主分类号: B22D19/16 分类号: B22D19/16;F16L9/02
代理公司: 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 代理人: 王宏婧
地址: 201203 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 工件 加工 模具 方法 结构
【说明书】:

发明涉及一种工件加工模具、工件加工方法及埋管结构,旨在实现埋管制造时不同管路的精确定位,提升埋管的制造能力和应用范围。具体的,先要制作工件加工模具,包括上模、下模和定位装置,定位装置包括上定位结构和/或下定位结构,上定位结构形成于上模,下定位结构形成于下模,上定位结构和/或下定位结构的形态与管路形状一致;然后执行合模工艺,将管路埋入上模和下模之间,并利用上定位结构和/或下定位结构定位固定管路;最后执行预定的处理工艺,例如利用模具材料的局部热熔,或金属型铸造或砂型铸造等工艺,得到埋管结构;这样做定位效果好,定位精度高,而且能够实现各种管路的定位,并克服了现有难以定位异型管路或大幅面管路的问题。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域,具体涉及一种工件加工模具、工件加工方法及埋管结构。

背景技术

对于工程应用中的水冷或空冷需求,需要制造内部带有管路的金属薄壁件。此类埋管零件内部通水或者通气,与外部形成热交换而达到冷却的目的。

为了较好的散热,埋管零件的外壁需要在满足强度需求的前提下尽可能地薄,而且由于埋管零件的内壁需要接触水或者气,因此内壁管路材料存在一定限制,但在工程上往往又需要导热性较高的金属冷盘,比如铝质或铜质冷盘。铝质或铜质冷盘虽然导热效果好,但是在水冷过程可能会发生电化学腐蚀。为此,工程上也有采用不锈钢材质冷盘,此虽然抗腐蚀能力较强,但是导热性远不如铝或者铜。

因此,兼具导热性和耐腐蚀性的金属冷盘已成为当前的发展趋势。但是现有较成熟的冷盘制造工艺存在管与管之间的间隙较厚、工艺难度高、成品率低、基体与管路之间贴合不紧密等问题,且内部可埋的金属管有限,这些极大地限制了埋管类零件的制造能力与应用范围。

发明内容

为解决上述技术问题,本发明的一个目的在于提供一种工件加工方法,旨在制造一种能够兼顾耐腐蚀性和导热性的埋管结构,从而满足水冷或空冷的需要。

本发明的另一个目的在于提供一种工件加工方法,旨在简化埋管的制造工艺,降低制造成本。

本发明的又一个目的在于提供一种工件加工方法,旨在实现薄壁埋管的加工制造,降低薄壁埋管制造的报废率。

本发明的还一个目的在于提供一种采用上述工件加工方法制备而成的埋管结构,可减少埋管结构加工时的报废率,并提高埋管结构的冷却和耐腐蚀性能。

为实现上述目的,本发明提供了一种工件加工方法,包括:

制作上模、下模和定位装置,所述定位装置包括上定位结构和/或下定位结构,所述上定位结构形成于所述上模,所述下定位结构形成于所述下模上,且所述上定位结构和/或所述下定位结构的形态与管路形状一致;

执行合模工艺,将管路埋入所述上模和下模之间,并利用所述上定位结构和/或下定位结构将所述管路进行定位固定;

执行预定的处理工艺,得到一埋管结构。

在一个实施例中,所述定位装置包括上定位结构和下定位结构,所述上定位结构为形成于所述上模的上定位槽,所述下定位结构为形成于所述下模的下定位槽,所述上定位槽与所述下定位槽合围的形状与所述管路的形状一致;

所述执行合模工艺的步骤包括:将所述管路埋入所述上模和下模之间,并利用所述上定位槽和下定位槽同时对所述管路进行定位固定;

所述执行预定的处理工艺的步骤包括:执行加热工艺,对所述管路进行加热,以使所述管路将其周围的上模和下模材料熔化,而使得所述上模、下模和管路相接合,得到一埋管结构。

可选的,在执行合模工艺时,还包括对上模和下模进行机械固定;或者,当所述上模、下模和管路相接合后,还包括对上模和下模进行机械固定。

可选的,先执行加热工艺,后执行合模工艺。

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