[发明专利]一种基片样品架、镀膜设备及控制方法

说明书

本发明涉及OLED真空蒸镀装备技术领域，公开了一种基片样品架、镀膜设备及控制方法。所述基片样品架包括安装板；样品架单元，设置于所述安装板上，所述样品架单元包括用于承载基片的基片盘组件和用于承载掩膜板的掩膜架组件，所述掩膜架组件设置于所述基片盘组件的下方；基片盘升降驱动单元，设置于所述安装板上，所述基片盘升降驱动单元的输出端连接所述基片盘组件，所述基片盘升降驱动单元能够驱动所述基片盘组件下降或上升，以使所述基片与所述掩膜板对位贴合或分离；旋转单元，设置于所述安装板，所述旋转单元驱动所述样品架单元绕自身内轴转动。本发明解决了蒸镀过程中镀膜效果不均匀的问题。

技术领域

本发明涉及OLED真空蒸镀装备技术领域，尤其涉及一种基片样品架、镀膜设备及控制方法。

背景技术

有机薄膜电致发光显示器件(Organic Light-Emitting Diode，OLED)，是有机半导体材料在电场作用下发光的一项新兴技术，近年来得到了迅速发展。OLED照明产品的低能耗、环保、超薄、高色彩饱和度、面光源等优点，使其成为未来照明产品发展的主流趋势之一。

现如今OLED照明器件主要通过蒸发镀膜的方法制备，现有技术镀膜时，一般将掩膜板与基片对位后，对位指基片贴合于掩膜板。之后将两者及放置两者的工装在蒸镀真空环境中进行蒸镀。上述情况下，蒸镀完成后，易出现镀膜效果不均匀。

发明内容

本发明的目的在于提供一种基片样品架、镀膜设备及控制方法，用于解决蒸镀过程中镀膜效果不均匀的问题。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

提供了一种基片样品架，包括：

安装板；

样品架单元，设置于所述安装板上，所述样品架单元包括用于承载基片的基片盘组件和用于承载掩膜板的掩膜架组件，所述掩膜架组件设置于所述基片盘组件的下方；

基片盘升降驱动单元，设置于所述安装板上，所述基片盘升降驱动单元的输出端连接所述基片盘组件，所述基片盘升降驱动单元能够驱动所述基片盘组件下降或上升，以使所述基片与所述掩膜板对位贴合或分离；

旋转单元，设置于所述安装板，所述旋转单元驱动所述样品架单元绕自身内轴转动。

优选地，还包括设置于所述安装板上的样品架升降驱动单元，所述样品架升降驱动单元能够驱动所述样品架单元和所述旋转单元同步升降。

优选地，所述基片盘组件包括：

基片盘，所述基片盘上设置有用于放置所述基片的镂空区；

中间固定板，所述中间固定板位于所述基片盘的上方，且与所述基片盘连接；

隔板，所述隔板位于所述中间固定板与所述基片盘之间，所述隔板能够相对所述中间固定板沿竖直方向滑动，以抵压于所述基片；及

磁板组件，设置于所述隔板和所述中间固定板之间，且连接于所述基片盘升降驱动单元，所述磁板组件能够压设于所述隔板上，且所述磁板组件上升能够带动所述隔板向上运动。

优选地，所述基片盘组件还包括：

第一导向轴，其一端连接于所述隔板；

第一直线轴承，设置于所述中间固定板上，且套设于所述第一导向轴；

第一弹簧，所述第一弹簧的两端分别连接于所述第一导向轴的一端与所述第一直线轴承。

优选地，所述样品架升降驱动单元包括：

第一气缸，设置于所述安装板上；

气缸固定板，连接于所述第一气缸输出端，所述气缸固定板位于所述安装板上方，所述第一气缸驱动所述安装板相对于所述气缸固定板升降。