[发明专利]一种用于离子束刻蚀机的工件台有效
| 申请号： | 201610967437.1 | 申请日： | 2016-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN106531601B | 公开（公告）日： | 2018-03-20 |
| 发明（设计）人： | 佘鹏程;龚俊;彭立波;毛朝斌 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/305 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙)43008 | 代理人： | 周长清,徐好 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于离子束刻蚀机的工件台，包括扫描小车、装设于扫描小车上的基片台及装设于基片台上的基片盘，所述基片盘上设有多个基片定位区，所述基片台上开设有冷却气体进口且上表面设有输气槽，各基片定位区开设有冷却气体出口，所述冷却气体进口和所述冷却气体出口分别与所述输气槽连通。本发明具有结构简单、冷却效果好、产品合格率高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 离子束 刻蚀 工件 | ||
【主权项】：
一种用于离子束刻蚀机的工件台，包括扫描小车（1）、装设于扫描小车（1）上的基片台（2）及装设于基片台（2）上的基片盘（3），所述基片盘（3）上设有多个基片定位区（31），其特征在于：所述基片台（2）上开设有冷却气体进口（21）且上表面设有输气槽（22），各基片定位区（31）开设有冷却气体出口（32），所述冷却气体进口（21）和所述冷却气体出口（32）分别与所述输气槽（22）连通。
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