[实用新型]一种卷绕式真空镀膜机靶材靶芯的改进结构

说明书

本实用新型公开了一种卷绕式真空镀膜机靶材靶芯的改进结构，所述靶芯包括靶头，所述靶头上依次套设有轴套、石墨碳环、弹簧和锁紧螺母，所述轴套与石墨碳环之间设有密封圈，所述锁紧螺母与弹簧之间设有垫环，所述靶头的外侧面上设有定位槽，所述定位槽位于垫环和石墨碳环的安装位上，并与靶头的轴线平行设置，所述垫环的内侧壁上设有与定位槽相适配的垫环定位销。本实用新型目的在于提供一种卷绕式真空镀膜机靶材靶芯的改进结构，这种改动结构简单，而且可以有效的防止靶材靶芯漏水现象的发生。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体为一种卷绕式真空镀膜机靶材靶芯的改进结构。

背景技术

目前，常用的靶芯组件主要是由阴极、靶头、轴套、石墨碳环、弹簧、垫片、锁紧螺母和聚合物环八大部分组成，组装时，聚合物环→轴套→密封圈→石墨环→弹簧→垫片→锁紧螺母2个。组装完成后，轴套最后是与靶材固定的，在靶材处于旋转状态时，阴极是固定不动的。在靶材旋转过程中，靶头上只有轴套是随靶材一起转动的，其余部分皆为静止不动。靶材旋转过程中，由于内部通有冷却水，为防止冷却水泄漏，除靶头头部与水管连接部分以外，其防止冷却水泄漏需密封的有两处：一是石墨碳环内部自带的密封圈密封，是属于静态密封，二是石墨碳环与轴套的接触处采用加装一个密封圈密封，这个密封圈主要是依靠弹簧给石墨碳环的弹力将其紧贴在轴套的下沿，使靶材旋转过程中，旋转状态下密封圈可以起到机械密封作用。但是，在组装扭紧锁紧螺母时，垫片通常会收到锁紧螺母扭力带来的旋转摩擦力和往轴套方向的挤压力，根据力的传递性，锁紧螺母旋转时容易通过摩擦力带动垫片旋转，进而会使弹簧尾部也会受到同向的旋转摩擦力，因无法消除或抵消弹簧收到的旋转摩擦力，会使弹簧在组装靶芯时受到旋转摩擦力的影响而产生一些形变，使安装过后的弹簧本体可能会存在各部分受力不匀的情况，这样就不能提供足够弹力施加于石墨碳环使密封圈紧压在轴套上，影响密封圈的密封性，导致靶材旋转过程中，密封圈的密封处可能出现不良密封，从而发生漏水的状况。

实用新型内容

针对上述存在的问题，本实用新型目的在于提供一种卷绕式真空镀膜机靶材靶芯的改进结构，这种改动结构简单，而且可以有效的防止靶材靶芯漏水现象的发生。

本实用新型可以通过以下技术方案来实现：

一种卷绕式真空镀膜机靶材靶芯的改进结构，所述靶芯包括靶头，所述靶头上依次套设有轴套、石墨碳环、弹簧和锁紧螺母，所述轴套与石墨碳环之间设有密封圈，所述锁紧螺母与弹簧之间设有垫环，所述靶头的外侧面上设有定位槽，所述定位槽位于垫环和石墨碳环的安装位上，并与靶头的轴线平行设置，所述垫环的内侧壁上设有与定位槽相适配的垫环定位销。本实用新型卷绕式真空镀膜机靶材靶芯的改进结构，主要是利用定位槽与垫环定位销的配合可以方便垫环的安装，而且垫环安装后，垫环内侧壁上的垫环定位销刚好卡在定位槽内，当旋紧锁紧螺母时，锁紧螺母会对垫环产生的旋转摩擦力和向轴套方向的挤压力，由于垫环上的垫环定位销卡在定位槽内，限制了垫环绕靶芯轴线的旋转运动，使垫环只能沿轴套方向挤压弹簧，而不会在旋转摩擦力的作用下产生旋转运动而带动弹簧发生扭转变形，使弹簧可以在使用时受力均匀，可以施加足够的弹力在石墨碳环上，当靶芯在旋转过程中，使石墨碳环与轴套可产生相互作用进而紧压密封圈，使密封圈可以在旋转状态下起到机械密封作用，进而可以起到防止靶材漏水的情况发生。

进一步地，所述定位槽为长条状的方形槽或长条状的U形槽，并与靶头的轴线平行设置。所述定位槽设置为长条的方形槽或U形槽，一方面可以便于定位槽的加工，另一方面可以给卡在定位槽内的垫环定位销起到导向作用，使垫环定位销可以沿着定位槽向轴套方向对弹簧施加压力。

进一步地，所述垫环定位销与垫环为一体成型结构；这样在生产加工垫环时就可以直接将垫环定位销与垫环一起加工生产出来，无需再另外加工垫环定位销，方便垫环的生产加工。

进一步地，所述靶头套设有轴套的一端上设有轴肩，中部设有与锁紧螺母螺纹连接的外螺纹。所述轴肩的设置可以用于限制轴套，并给轴套起到向弹簧方向的支撑作用力；所述外螺纹的设置可以方便锁紧螺母的安装。