[实用新型]一种卷绕式真空镀膜机靶材靶芯的改进结构有效
| 申请号： | 201820347815.0 | 申请日： | 2018-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN207973799U | 公开（公告）日： | 2018-10-16 |
| 发明（设计）人： | 徐祖元 | 申请（专利权）人： | 广东汉能薄膜太阳能有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京尚伦律师事务所 11477 | 代理人： | 赵真 |
| 地址： | 517000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 靶芯 靶材 垫环 卷绕式真空镀膜机 改进结构 石墨碳环 定位槽 靶头 本实用新型 锁紧螺母 弹簧 轴套 密封圈 漏水现象 轴线平行 安装位 定位销 内侧壁 适配 | ||
1.一种卷绕式真空镀膜机靶材靶芯的改进结构，所述靶芯包括靶头(1)，所述靶头(1)上依次套设有轴套(2)、石墨碳环(3)、弹簧(4)和锁紧螺母(5)，所述轴套(2)与石墨碳环(3)之间设有密封圈(8)，所述锁紧螺母(5)与弹簧(4)之间设有垫环(6)，其特征在于：所述靶头(1)的外侧面上设有定位槽(101)，所述定位槽(101)位于垫环(6)和石墨碳环(3)的安装位上，并与靶头(1)的轴线平行设置，所述垫环(6)的内侧壁上设有与定位槽(101)相适配的垫环定位销(601)。
2.根据权利要求1所述的卷绕式真空镀膜机靶材靶芯的改进结构，其特征在于：所述定位槽(101)为长条状的方形槽或长条状的U形槽。
3.根据权利要求1所述的卷绕式真空镀膜机靶材靶芯的改进结构，其特征在于：所述垫环定位销(601)与垫环(6)为一体成型结构。
4.根据权利要求1所述的卷绕式真空镀膜机靶材靶芯的改进结构，其特征在于：所述靶头(1)套设有轴套(2)的一端上设有轴肩(102)，中部设有与锁紧螺母(5)螺纹连接的外螺纹(103)。
5.根据权利要求4所述的卷绕式真空镀膜机靶材靶芯的改进结构，其特征在于：所述轴肩(102)与轴套(2)之间设有聚合物环(7)。
6.根据权利要求1所述的卷绕式真空镀膜机靶材靶芯的改进结构，其特征在于：所述石墨碳环(3)的内侧壁上设有碳环定位销(301)，所述碳环定位销(301)与定位槽(101)相适配。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东汉能薄膜太阳能有限公司，未经广东汉能薄膜太阳能有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201820347815.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种磁控溅射磁场结构
- 下一篇：用于处理基板的系统
- 同类专利
- 专利分类
