[发明专利]一种应用于引信的MEMS电磁能量疏导器件及其制备方法

说明书

本发明公开了一种应用于引信的MEMS电磁能量疏导器件及其制备方法。本发明的MEMS电磁能量疏导器件包括绝缘衬底、电磁能量疏导质量块、多个环形驱动电极、电磁能量吸收层、多对电磁能量疏导导线、薄膜吸收层、多对电磁能量疏导引脚和封装壳体；本发明基于各类型弹药的引信系统，结合微机电系统工艺制备了电磁能量疏导器件，解决了传统引信电磁防护受到尺寸限制的问题，并通过电磁驱动，实现机构通断，完成电磁能量的疏导，提高了引信系统乃至整个弹药的安全性能。

技术领域

本发明涉及引信的安全技术，具体涉及一种应用于引信的MEMS电磁能量疏导器件及其制备方法。

背景技术

为了确保各类导弹中引信功能安全可靠，引信安全系统得到了迅速的发展。在现阶段各类弹药的使用过程中，引信无可避免的面临各种环境的干扰，例如在勤务处理阶段，引战系统的火工品容易受到静电、电磁脉冲的干扰，出现误触发现象，造成人员伤亡及财产损失；在弹药的发射及整个弹道过程中，引信控制系统及整个传爆序列容易受到外界环境或者敌方的干扰(静电、恒流、强电磁脉冲)，例如：雷电、核电磁脉冲(NEMP)、静电电磁脉冲(ESDEMP)、电路中负载的通断等过程都会在电路上产生很强的瞬态干扰，统称为浪涌电压(电流)。这种浪涌电压(电流)含有非常大的能量，如进入设备，不仅会引起干扰，而且会导致设备中的器件、部件和电路严重损坏，因此必须采取措施防止浪涌的冲击。传统的引战系统为了解决这类问题，普遍采用加屏蔽罩隔离电磁干扰，但是，由于屏蔽层、屏蔽罩尺寸较大，加之引信系统小型化，传统方法不再使用；面对恒流、静电干扰，在控制端或者火工品两端设置TVS(瞬态电压抑制二极管)，可以有效的吸收静电、恒流能量，并瞬间泄放大量的电流，实现能量疏导。但是由于TVS管本身存在的阻抗匹配问题，限制了其吸收能量的性能。

发明内容

针对以上对电磁信号屏蔽存在的限制，本发明提出了一种应用于引信的MEMS电磁能量疏导器件及其制备方法，通过在引信控制单元和火工品周围排布MEMS电磁能量疏导器件，实现对异常电磁能量的吸收。

本发明的一个目的在于提出一种应用于引信的MEMS电磁能量疏导器件。