[发明专利]卷到卷基底沉积设备

说明书

公开了一种卷到卷基底沉积设备，其可以控制沉积区域的宽度和长度以调节膜的尺寸。该卷到卷基底沉积设备包括沉积区域控制器，该沉积区域控制器设置在供应至室内部的柔性基底与向柔性基底供应沉积材料的沉积单元之间，以调节在柔性基底的一个表面上的由沉积材料形成的膜的宽度和长度。

本申请要求于2016年11月30日提交的韩国专利申请第10-2016-0162013号的权益，其通过引用并入本文，如同在本文中完全阐述的一样。

技术领域

本发明涉及卷到卷基底沉积设备，并且更具体地，涉及可以控制沉积区域的宽度和长度以调节膜的尺寸的卷到卷基底沉积设备。

背景技术

近来，由于数字技术的发展，以目前商业化的平板显示器如触摸面板、OLED等的高性能研究为中心，正在大力开发下一代显示装置。其中，可弯曲或可折叠而不损失显示装置的特性的柔性显示装置不仅被用作常规平板显示装置的替代品，而且还被应用于下一代显示装置，例如电子纸。

柔性显示装置通过在柔性基底如膜上沉积膜如有机发光二极管而形成。柔性显示装置以卷到卷方式形成，其中在使柔性基底卷绕在辊上的条件下连续地进行沉积过程。

图1是示意性地示出常规的卷到卷基底沉积设备的图。

如图1中示例性示出的，常规的卷到卷基底沉积设备包括设置在室10中的一个或更多个沉积单元20。卷到卷基底沉积设备接收卷绕在外部退绕辊30上的柔性基底50，在柔性基底50的一个表面上形成指定的膜，然后将柔性基底50输出至外部重绕辊40。在此，室10中的沉积单元20向通过传送辊15移动的柔性基底50的一个表面供应沉积材料，由此在柔性基底50的该表面上形成指定的膜。在此，未描述的附图标记35和45分别表示导引和传送柔性基底50的导引辊。

然而，常规的卷到卷基底沉积设备不能控制从沉积单元20供应的沉积材料的沉积区域，并因此，沉积材料沉积在柔性基底50的一个表面的整体之上，以形成膜55。

因此，为了调节形成在柔性基底50上的膜55的尺寸，应当执行附加的图案化工艺，例如光刻工艺或激光工艺。

发明内容

因此，本发明涉及一种卷到卷基底沉积设备，其基本上消除了由于相关技术的限制和缺点而引起的一个或更多个问题。

本发明的一个目的是提供一种卷到卷基底沉积设备，其可以控制沉积区域的宽度和长度，以调节膜的尺寸。

本发明另外的优点、目的和特征将在下面的描述中部分地阐述，并且在考察了下面的内容的情况下对于本领域普通技术人员而言将部分地变得显见，或者可以从本发明的实践中获知。本发明的目的和其他优点可以通过在所撰写的说明书和其权利要求书以及附图中具体指出的结构来实现和获得。

为了实现这些目的和其他优点并且根据本发明的目的，如在本文中所实施和广泛描述的，卷到卷基底沉积设备包括：沉积单元，所述沉积单元向连续供应至室内部的柔性基底的一个表面供应沉积材料；以及沉积区域控制器，所述沉积区域控制器调节在柔性基底的所述表面上的由沉积材料形成的膜的宽度和长度。

沉积区域控制器设置在室内的柔性基底与沉积单元之间，并且在柔性基底的所述表面上限定的沉积区域中形成阻挡区域，以调节膜的宽度和长度。

应理解，本发明的前述一般描述和下面的详细描述均是示例性的和说明性的，并且旨在提供对所要求保护的本发明的进一步说明。

附图说明

包括附图以提供对本发明的进一步理解并且附图被并入本申请中且构成本申请的一部分，所述附图示出了本发明的实施方案并且与说明书一起用于说明本发明的原理。在附图中：

图1是示意性地示出常规的卷到卷基底沉积设备的图；