[发明专利]谐振器以及谐振器的谐振频率调控方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，尤其是谐振器以及谐振器的谐振频率调控方法。

背景技术

谐振器，英文Resonators；式谐振器就是指产生谐振频率的电子元件，常用的分为石英晶体谐振器和陶瓷谐振器。产生频率的作用，具有稳定，抗干扰性能良好的特点，广泛应用于各种电子产品中。石英晶体谐振器的频率精度要高于陶瓷谐振器，但成本也比陶瓷谐振器高。谐振器主要起频率控制的作用，所有电子产品涉及频率的发射和接收都需要谐振器。谐振器的类型按照外形可以分为直插和贴片式两种。

随着通讯技术的快速发展，通讯设备的中心频率有了大幅提升，因此，通讯系统对选频器件——滤波器的性能、尺寸等诸多方面也有了更高的要求，并且，通讯系统的小型化以及集成化也已经成为了系统发展的必然趋势。 然而，对于现有的传统滤波器来说，当通讯系统的中心频率提升到足够高时，例如中心频率达到千兆赫兹以上，那么由于其自身性能等原因的限制，现有的传统滤波器显然并不能够满足通讯系统集成化和小型化的需求。因此，为了克服传统滤波器的上述缺陷，市场上开发出了多种新型的滤波器，例如薄膜体声波谐振器滤波器，而由于新型滤波器具有体积小、品质因数高、工作频率高以及与半导体工艺兼容性高的诸多优点，使其在通讯领域有着更加广阔的市场前景。那么，就薄膜体声波谐振器滤波器而言，它是通过对多个薄膜体声波谐振器进行串联和并联所形成的拓扑结构来实现对信号的滤波的，因此，滤波器中谐振器的谐振频率直接影响着滤波器的通带位置，也就是说，谐振器的谐振频率对滤波器的滤波效果有着直接的影响。因此，为了使新型滤波器的滤波效果更好，在传统的谐振器工艺中，主要是通过改变谐振器表面的质量负载的厚度来实现对谐振器谐振频率的调控的，也就是说，现有技术是通过采用半导体工艺中传统的沉积、光刻以及刻蚀等方法来实现对谐振器谐振频率的调控。 但是，对于上述传统的谐振器谐振频率的调控方法，普遍是存在着调控成本高、时间长，以及操作复杂和调控精度低的问题，此外，由于在上述传统调控过程中需要用到光刻胶、刻蚀液等化学制剂，因此，其也会对操作人员和环境带来一定的危害。

针对以上的问题，在这里我们提出谐振器以及谐振器的谐振频率调控方法。

发明内容

本发明针对背景技术中的不足，提供了谐振器以及谐振器的谐振频率调控方法。

本发明为解决上述技术不足，采用改性的技术方案，谐振器以及谐振器的谐振频率调控方法，包括谐振器，所述谐振器包括压电层和多个电极层；在所述谐振器表面形成多层分子薄膜，所述压电层包括有无线传输单元、射频协议单元和电子调控单元，所述无线传输单元、射频协议单元和电子调控单元依次电连接，其中，所述射频协议单元由射频收发单元和协议单元控制器顺序组成。

作为本发明的一种优选实施方式，所述电子调控单元实现电子微型控制，预先在电子调控单元通过程序编写录入指令编码信息库和指令发送方式代码；所述电子调控单元通过电子脉冲接收信号，并从写入的指令编码信息库中获取与该遥控指令对应的指令编码信息；所述电子调控单元采用代码指令发送方式，将获取的指令编码信息发送出去。

作为本发明的一种优选实施方式，所述电子调控单元包括微型存储芯片、中央处理芯片和指令收发芯片；所述存储芯片，用于存储编码信息；所述中央处理芯片，用于整体控制，从存储器中获取编码信息并进行解释翻译进行执行，接收传送的遥控指令，从指令编码信息库中获取与该遥控指令对应的指令编码信息，将获取的指令编码信息发送给指令收发芯片；所述指令收发芯片，用于将接收的指令编码信息处理完成后发送出去。

作为本发明的一种优选实施方式，具体调频实施方法包括如下，

a，谐振器之间或者谐振器与半导体芯片之间首先通过射频无线网络组成自组网，在自组网中用谐振器的程序代码作为识别码进行识别，并将谐振器的程序代码记录在每个谐振器的组网记录库中；

b，完成自组网后，半导体芯片使用密码及辅助认证信息登录远程的电路主板中心，将自组网中的所有谐振器的程序代码传送到中央处理芯片，使用中央处理芯片中的谐振器程序代码库对这些传送到的程序代码进行识别，谐振器或半导体芯片按照程序代码的类别从中央处理芯片的控制指令集中下载对应的控制指令子集到自组网中的谐振器半导体芯片中，传送到自组网中的谐振器中，实现自组网中谐振器的协同、联动运行控制；

c，对电子调控单元进行初始化设置，通过电子调控单元对谐振器的程序代码上传到电子调控单元的谐振器程序代码库中，同时要编制协同、联动使用该谐振器的应用程序，并上传到中央处理芯片的应用程序集中；