[发明专利]等离子体化学气相生长装置

权利要求书

1.一种等离子体化学气相生长装置，通过使供给到反应炉内的工艺气体等离子体化而分解，而在设置于该反应炉内的工件上生成膜，其特征在于，

具备附着抑制片，所述附着抑制片抑制工艺气体向所述反应炉的内壁的附着，

所述附着抑制片配置于所述反应炉内的工件的设置位置与所述反应炉的内壁之间，

所述附着抑制片是由多个第一纤维束和多个第二纤维束构成的织物，所述多个第一纤维束在第一方向上延伸并且分别由多个纤维构成，所述多个第二纤维束在与所述第一方向不同的第二方向上延伸并且分别由多个纤维构成，

在将所述附着抑制片的所述设置位置侧的面设为正面，将所述反应炉的内壁侧的面设为背面的情况下，在所述多个第一纤维束的各第一纤维束中，位于比所述第二纤维束靠正面侧处且在正面露出的正面侧部分与位于比所述第二纤维束靠背面侧处且未在正面露出的背面侧部分在所述第一方向上交替排列，在所述多个第二纤维束的各第二纤维束中，位于比所述第一纤维束靠正面侧处且在正面露出的正面侧部分与位于比所述第一纤维束靠背面侧处且未在正面露出的背面侧部分在所述第二方向上交替排列。

2.根据权利要求1所述的等离子体化学气相生长装置，其特征在于，

所述多个第一纤维束的各第一纤维束和所述多个第二纤维束的各第二纤维束是多个纤维平行排列而成的纤维束。

3.根据权利要求1或2所述的等离子体化学气相生长装置，其特征在于，

在所述第一纤维束和所述第二纤维束的至少一方中，在将与延伸方向正交的方向中的所述第一纤维束和所述第二纤维束的至少一方的所述多个纤维的排列方向设为宽度方向，将与所述延伸方向和所述宽度方向的双方正交的方向设为厚度方向的情况下，宽度尺寸比厚度尺寸大。

4.根据权利要求3所述的等离子体化学气相生长装置，其特征在于，

在所述多个第一纤维束的各第一纤维束中，宽度为厚度的5倍以上，在所述多个第二纤维束的各第二纤维束中，宽度为厚度的5倍以上。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的等离子体化学气相生长装置，其中，

所述附着抑制片呈筒状，所述附着抑制片被配置成包围所述设置位置。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的等离子体化学气相生长装置，其特征在于，

在所述工件生成的膜是类金刚石碳膜，所述第一纤维束的所述纤维和所述第二纤维束的所述纤维是碳纤维。

7.根据权利要求6所述的等离子体化学气相生长装置，其特征在于，

在将所述类金刚石碳膜所含的碳中的具有金刚石构造的碳的比率设为基准比率的情况下，在所述附着抑制片中，所述碳纤维所含的碳中的具有金刚石构造的碳的比率与所述基准比率相等。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的等离子体化学气相生长装置，其特征在于，

在所述反应炉的内壁与所述附着抑制片之间配置有固定于所述内壁的固定部件，所述附着抑制片的多个部位由束缚部件束缚于所述固定部件。