[实用新型]一种化学气相沉积升降装置

权利要求书

1.一种化学气相沉积升降装置，其特征在于，所述化学气相沉积升降装置至少包括：静电吸盘、升降顶杆和夹持件；所述升降顶杆呈L型，升降顶杆的顶端穿过所述静电吸盘；所述升降顶杆的尾端插设于所述夹持件中；所述夹持件的上表面作为卡板从竖直方向上卡住升降顶杆尾端。

2.根据权利要求1所述的化学气相沉积升降装置，其特征在于：化学气相沉积升降装置包括至少三条所述升降顶杆，每一条升降顶杆由一个夹持件所夹持。

3.根据权利要求1所述的化学气相沉积升降装置，其特征在于：所述夹持件具有一容纳所述升降顶杆尾端的空间，所述夹持件侧面设有一升降顶杆尾端插入的缺口。

4.根据权利要求1所述的化学气相沉积升降装置，其特征在于：所述升降顶杆的尾端中设有第一孔体。

5.根据权利要求3所述的化学气相沉积升降装置，其特征在于：所述夹持件上设有穿透自身侧壁且与所述第一孔体相匹配的第二孔体。

6.根据权利要求1所述的化学气相沉积升降装置，其特征在于：所述化学气相沉积升降装置还包括一固定件，该固定件插设于所述第一孔体和第二孔体中。