[实用新型]薄膜厚度传感器和蒸镀设备有效
| 申请号： | 201320140108.1 | 申请日： | 2013-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN203112920U | 公开（公告）日： | 2013-08-07 |
| 发明（设计）人： | 元裕太;李周炫;梁逸南;洪瑞 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;G01B7/06 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄膜 厚度 传感器 设备 | ||
1.一种薄膜厚度传感器，用于蒸镀工艺中薄膜厚度的检测，其特征在于，包括：
至少两个导向管，每个所述导向管的第一端位于同一位置，每个所述导向管的第二端分别朝向不同方向；
所述导向管的第一端处设置有晶体振子和用于检测所述晶体振子谐振频率的检测装置；
或者，每个所述导向管中设置有晶体振子，所述导向管的第一端处设置有用于检测每个所述导向管中晶体振子谐振频率的检测装置。
2.根据权利要求1所述的薄膜厚度传感器，其特征在于，还包括与所述检测装置电连接的用于根据所述晶体振子谐振频率计算获得薄膜厚度或蒸发速率的处理器。
3.根据权利要求2所述的薄膜厚度传感器，其特征在于，还包括与所述处理器电连接的显示装置。
4.根据权利要求3所述的薄膜厚度传感器，其特征在于，
所述显示装置为显示多组数字的数字显示器，所述数字显示器所显示的数字组数与所述导向管的数量相等；
每组所述数字用于分别显示根据每个所述导向管中晶体振子谐振频率获得的薄膜厚度或蒸发速率。
5.根据权利要求3所述的薄膜厚度传感器，其特征在于，
所述显示装置为带有刻度的表盘显示器。
6.根据权利要求5所述的薄膜厚度传感器，其特征在于，
所述表盘显示器中的表盘分为多个显示区域，所述表盘显示器中的显示区域的数量与所述导向管的数量相等；
每个所述显示区域用于分别显示根据每个所述导向管中晶体振子谐振频率获得的薄膜厚度或蒸发速率。
7.一种蒸镀设备，其特征在于，包括：
如权利要求1至6中任意一项所述的薄膜厚度传感器；
多个蒸发源；
在所述薄膜厚度传感器中，每个导向管的第二端分别朝向每个所述蒸发源。
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