[发明专利]显示装置、阵列基板及其制作方法有效
申请号: | 201310020447.0 | 申请日: | 2013-01-18 |
公开(公告)号: | CN103077944A | 公开(公告)日: | 2013-05-01 |
发明(设计)人: | 崔贤植;李会;徐智强;严允晟 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/02 | 分类号: | H01L27/02;H01L21/77 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 王莹 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示装置 阵列 及其 制作方法 | ||
技术领域
本发明涉及显示技术领域,特别是涉及一种显示装置、阵列基板及其制作方法。
背景技术
随着科学技术的发展,平板显示器已取代笨重的CRT显示器日益深入人们的日常生活中。目前,常用的平板显示器包括LCD(LiquidCrystal Display,液晶显示器)和OLED(Organic Light-Emitting Diode,有机发光二极管)显示器。在成像过程中,LCD显示器中每一液晶像素点都由集成在TFT阵列基板中的薄膜晶体管(Thin Film Transistor,TFT)来驱动,再配合外围驱动电路,实现图像显示。
在ADS模式下,在阵列基板上形成有两层透明电极(可以由氧化铟锡ITO来制作),通常将其中一层ITO电极应用为公共电极,而将另外一层ITO电极应用为像素电极。传统结构中,通常将公共电极与栅电极进行水平配置;当公共电极电阻较高时,其所产生的代表性不良为绿色缺陷(Greenish)。该绿色缺陷为接在公共电极上的电阻较大时引发的电压差而产生的不良。
测量面板上的绿色缺陷时发现,在栅线延伸方向(后续简称横向)上的缺陷值相似,幅度差异较小;而在数据线延伸方向(后续简称纵向)的缺陷值,随着距离公共电极的起始部分越远,则缺陷值越大。从面板的整体上看,横向的公共电极改善效果较好,但纵向的公共电极改善效果较差。
为了解决上述问题,现有技术中采用增设一层与ITO公共电极电性连接的金属层来实现降低纵向上公共电极的电阻值,但这样需要额外增加一次掩膜版构图工艺,加大生产成本,降低生产效率。
发明内容
(一)要解决的技术问题
本发明要解决的技术问题是提供一种显示装置、阵列基板及其制作方法,以克服现有的阵列基板因公共电压均一性差而导致出现的绿色缺陷。
(二)技术方案
为了解决上述技术问题,本发明一方面提供一种阵列基板,包括:基板,设置于所述基板上的多条栅线以及与所述栅线交叉设置的数据线;所述阵列基板还包括:多条横向公共电极线和多个纵向公共电极线;所述向公共电极线位于所述数据线的下方,而且所述横向公共电极线和所述纵向公共电极线电连接。
进一步地,所述横向公共电极线和所述纵向公共电极线均与所述栅线同层设置;所述纵向公共电极线分段位于相邻栅线之间。
进一步地,还包括覆盖在横向公共电极线和纵向公共电极线上的栅极绝缘层,所述栅极绝缘层上设有有源层、源漏电极层和树脂层,所述树脂层上设有第一过孔和第二过孔;
在所述树脂层上方形成有公共电极层,所述公共电极层通过所述第一过孔和第二过孔连接所述横向公共电极线和纵向公共电极线。
进一步地,所述公共电极层具有板状结构或狭缝状结构的公共电极。
进一步地,还包括位于所述公共电极层上的钝化层,以及位于钝化层上的像素电极层;
所述像素电极层具有狭缝状结构,且所述像素电极层与所述阵列基板上的薄膜晶体管的漏电极通过过孔电连接。
再一方面,本发明还提供一种显示装置,包括上述的阵列基板。
另一方面,本发明还提供一种制作阵列基板的方法,包括:
步骤1、在基板上沉积栅金属膜,通过一次构图工艺同时形成包括栅电极、横向公共电极线和纵向公共电极线的图案;
步骤2、在完成步骤1的基板上形成包括栅极绝缘层,通过构图工艺形成栅极绝缘层的图案并形成过孔;
步骤3、在完成步骤2的基板上沉积半导体层,通过构图工艺形成有源层的图案;
步骤4、在完成步骤3的基板上形成源漏金属膜,通过一次构图工艺形成包括源电极、漏电极及数据线的图案;所述纵向公共电极线分段位于数据线的下方;
步骤5、在完成步骤4的基板上形成树脂膜,通过构图工艺形成包括树脂层的图案,并形成与所述栅极绝缘层上形成的过孔正对的第一过孔和第二过孔,所述第一过孔对应于横向公共电极线,所述第二过孔对应于纵向公共电极线的位置;
步骤6、在完成步骤5的基板上形成公共电极层,通过构图工艺形成公共电极层的图案,所述公共电极层通过第一过孔与横向公共电极线连接,所述公共电极层通过第二过孔与纵向公共电极线连接;
步骤7、在完成步骤6的基板上形成钝化层,通过构图工艺在钝化层形成过孔;
步骤8、在完成步骤7的基板上形成像素电极层,通过构图工艺形成像素电极的图案,所述像素电极层通过过孔与漏电极相连。
进一步地,在上述步骤8中形成的像素电极具有狭缝状结构,所述狭缝状结构对应所述阵列基板的透光区域。
(三)有益效果
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的