[发明专利]装载端口、EFEM

权利要求书

1.一种装载端口，其配置于晶圆搬运室的前表面且具备载物台，该载物台能够载置能够在内部收纳晶圆的FOUP，其特征在于，

沿高度方向设置多层上述载物台，

在将各上述载物台配置于能够使上述FOUP紧贴上述晶圆搬运室的前表面的、晶圆存取位置的状态下，能够在上述载物台与上述晶圆搬运室内之间对收纳在上述各载物台上的上述FOUP内的晶圆进行存取，

上述装载端口具备移动机构，该移动机构使至少最上层的载物台以外的载物台在FOUP交接位置与上述晶圆存取位置之间沿前后方向进退移动，在上述FOUP交接位置，在上述载物台与FOUP搬运装置之间交接上述FOUP。

2.根据权利要求1所述的装载端口，其中，

将上述最上层的载物台构成为能够在上述晶圆存取位置与上述FOUP交接位置之间沿前后方向进退移动。

3.根据权利要求1或2所述的装载端口，其中，

将至少最上层的载物台以外的上述载物台的上述FOUP交接位置设定为俯视时彼此一致的位置。

4.一种EFEM，其特征在于，

该EFEM由晶圆搬运室和一台以上权利要求1～3中任一项所述的装载端口构成，该晶圆搬运室以使上述装载端口与该晶圆搬运室的前表面相邻的方式设置。