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- [发明专利]加载端口及包括加载端口的基板输送系统-CN201710547109.0有效
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夏目光夫;谷山育志;吉川雅顺
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昕芙旎雅有限公司
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2017-07-06
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2023-08-15
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H01L21/677
- 本发明提供一种加载端口及包括加载端口的基板输送系统，即使在使具有旋转机构的加载端口的容器的交接位置与不具有旋转机构的加载端口一致的情况下，也能够避免容器旋转时容器与门部等的碰撞。加载端口(4)包括：基座(20)，其具有开口部；门部(21)，其设于基座，用于开闭开口部；框架，其设置为在与基座正交的前后方向上从基座向前方突出，并支承载置盘；旋转机构，其使载置盘绕铅垂轴线旋转；以及移动机构，在利用OHT将FOUP载置于载置盘之后，且在旋转机构使载置盘旋转之前或者正在旋转的过程中，使门部及载置盘中的至少一者远离另一者。因为FOUP与门部等相对地远离，所以能够避免FOUP旋转时与门部等发生碰撞。
- 加载端口包括输送系统
- [发明专利]碗式送料器-CN201911376106.0有效
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迎邦晓
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昕芙旎雅有限公司
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2019-12-27
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2023-06-13
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B65G27/02
- 本发明能适当地进行工件的层限制并且抑制碗式送料器的搬运能力降低。本发明的碗式送料器(1)包含收纳工件的碗(11)和使碗(11)振动的碗侧振动源(16)，碗(11)包括从其周缘部向上倾斜的壁面(11b)，壁面(11b)包含沿周向形成的螺旋状的搬运槽(12)和在螺旋状的搬运槽(12)的一部分外侧沿螺旋状的搬运槽(12)的一部分形成的多个层限制用搬运槽(60)，俯视时，在层限制用搬运槽(60)的搬运方向下游侧的端部，螺旋状的搬运槽12的底部(12t)的位置向径向外侧切换至层限制用搬运槽(60)的底部(60t)的位置。
- 碗式送料器
- [发明专利]润滑油供应设备和配备其的旋转测试装置-CN202180061928.9在审
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小仓学
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昕芙旎雅有限公司
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2021-08-24
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2023-06-09
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G01M17/007
- 本公开提供了一种技术，该技术能够防止轴承在电力供应由于断电等而停止时由于轴的惯性旋转而损坏。向轴承供应润滑油的润滑油供应设备(6)包括：供应器(61)，其将储存在临时储存器(611)中的润滑油与压缩空气一起缓慢地供应到轴承，临时储存器(611)临时储存润滑油；润滑油供应路径(621)，其在一端连接到临时储存器(611)并且在另一端连接到储存润滑油的润滑油储存器(620)；输送器(622)，其设置在润滑油供应路径(621)中并且经由润滑油供应路径(621)输送储存在润滑油储存器(620)中的润滑油，以充入临时储存器(611)；空气供应路径(631)，其在一端连接到供应器(61)并且在另一端连接到供应压缩空气的压缩空气供应器(630)；以及蓄压器(633)，其设置在空气供应路径(631)中以用于积聚压缩空气。
- 润滑油供应设备配备旋转测试装置
- [发明专利]装载端口-CN202210918009.5在审
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小川建;石原裕挥;杉本俊哉
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昕芙旎雅有限公司
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2022-08-01
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2023-04-04
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H01L21/677
- 本发明提供了一种装载端口。该装载端口包括：框架，该框架包括开口，传送目标物体能够经由该开口以基本上水平的姿势通过；装载端口门，该装载端口门被配置为与能够打开和关闭存储容器的装载/卸载端口的容器门接合，并且被配置为打开和关闭所述框架的开口，该存储容器包括能够以多级方式容纳传送目标物体的狭槽；以及映射机构，该映射机构被配置为经由开口和装载/卸载端口来映射关于容纳状态的信息，该容纳状态包括在所述存储容器中的每个所述狭槽中存在或不存在所述传送目标物体。
- 装载端口
- [发明专利]机器人输送装置-CN201680065918.1有效
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重田贵司;河合俊宏;竹內晴纪;须田佳雅;五味久;尾崎成则
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昕芙旎雅有限公司
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2016-10-28
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2023-03-24
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H01L21/677
- 使整个输送空间的气体循环。机器人输送装置(1)具有：供输送机器人(20)配置的输送空间(10)；以及多个循环流路(30)，其用于使输送空间(10)内的气体循环。在输送空间(10)的周边配置有成为由输送机器人(20)输送的输送物的输送目的地的多个周边空间(50)。输送空间(10)经由多个开口(15)与多个周边空间(50)分别连通。多个循环流路(30)以避开包括多个开口(15)在内的输送机器人(20)的作业区域(20R)的方式设置于隔着输送空间(10)的位置。多个循环流路(30)设置于形成输送空间(10)的柱构件(10P1～10P10)的内部。
- 机器人输送装置
- [发明专利]动力传递系统的试验装置-CN202211110461.5在审
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东山勇志
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昕芙旎雅有限公司
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2022-09-13
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2023-03-17
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G01M17/00
- 本发明提供一种动力传递系统的试验装置，具有分别与车辆用动力传递差动装置的第一输出轴及第二输出轴连接的发电机，得到能够抑制分配给所述第一输出轴及所述第二输出轴的转矩的变动的结构。动力传递系统的试验装置(1)是对具有传递驱动源产生的驱动力并分配给第一输出轴(D1)及第二输出轴(D2)的车辆用动力传递差动装置(D)的动力传递系统进行试验的装置。动力传递系统的试验装置具有：第一发电机(11)和第二发电机(12)，其分别与第一输出轴和第二输出轴连接，作为车辆用动力传递差动装置的负载发挥功能；第一控制装置(14)，其基于通过将第一发电机的旋转速度反馈给速度指令而得到的转矩指令，进行第一发电机和第二发电机的驱动控制。
- 动力传递系统试验装置
- [发明专利]设备前端模块-CN202211096469.0在审
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河合俊宏;小仓源五郎
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昕芙旎雅有限公司
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2022-09-06
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2023-03-10
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H01L21/677
- 一种设备前端模块，其设置有循环路径，该循环路径包括形成在外壳内的基板传送空间以及被构造为使气体从基板传送空间的一侧流回到另一侧的返回路径，该设备前端模块包括：分隔壁，其被构造为将基板传送空间与返回路径分开；捕获部件，其设置在返回路径中、在气体通过循环路径循环的状态下具有比基板传送空间更高的压力并且被构造为捕获流过返回路径的气体中包含的粒子；以及连接管，其被构造为将在设置在基板传送空间中的预定的设备内流动的气体引导到返回路径，其中连接管在气体流动方向上在捕获部件的上游侧连接至返回路径。
- 设备前端模块
- [发明专利]EFEM、惰性气体供给量控制方法-CN202211019342.9在审
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大泽真弘;河合俊宏
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昕芙旎雅有限公司
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2022-08-24
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2023-03-03
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H01L21/677
- 本发明提供能够避免氮气的浪费而以预定使用量将框体内压力始终保持为微正压的EFEM，包含：惰性气体供给总量设定部(11)，基于框体(2)内的氧浓度设定向框体(2)内供给的惰性气体供给总量；门打开和底部吹扫判定部(12)，针对每个装载口(3)判定FOUP(4)的门是否是打开状态且是否是底部吹扫装置(36)进行的底部吹扫处理中；框体内惰性气体供给量运算部(13)，在判定部(12)的判定结果为是的情况下，基于从惰性气体供给总量减去该装载口(4)的底部吹扫装置(36)的底部吹扫惰性气体供给量而得的值运算向框体(2)内的惰性气体供给量，根据基于运算部(13)的运算结果而决定的惰性气体供给量指令值控制向框体(2)内的惰性气体供给量。
- efem惰性气体供给量控制方法
- [发明专利]EFEM和装载端口-CN202210951196.7在审
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河合俊宏;谷山育志;小宫宗一;重田贵司
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昕芙旎雅有限公司
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2016-07-12
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2022-12-06
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H01L21/677
- 本发明提供在使FOUP和EFEM连通时防止大气进入到FOUP和EFEM内的门开闭系统和具备门开闭系统的装载端口。该门开闭系统包括：基体(41)，其构成将输送空间与外部空间隔离的壁的一部分；开口部(92)，其设于基体；门(81)，其能够开闭开口部；第1密封构件(94)，其用于将基体和容器(7)之间密封；第2密封构件(96)，其用于将基体和门之间密封；密闭空间，在处于容器隔着第1密封构件与开口部相抵接的状态时，该密闭空间由基体、第1密封构件、第2密封构件、盖体(72)以及门构成；第1气体注入部(87)，其用于向密闭空间注入气体；以及第2气体排出部(88)，其用于对密闭空间进行排气。
- efem装载端口
- [发明专利]装载端口-CN202210974529.8在审
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铃木淳志;谷山育志
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昕芙旎雅有限公司
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2016-07-12
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2022-12-06
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H01L21/677
- 本发明提供在将FOUP连接于壳体时能够将周边空间保持清洁的装载端口。该装载端口包括：基体(41)，其构成将输送空间(9)与外部空间隔离的壁的一部分；开口部(92)，其设于基体(41)；门(81)，其能够进行开口部(92)的开闭、盖体相对于收纳有收纳物的容器的固定和固定的解除；以及第1密封构件(94)，其用于将基体和容器之间密封，门(81)的容器侧的端面(81c)的至少一部分位于比第1密封构件(94)的容器侧的端部靠输送空间(9)侧的位置。
- 装载端口
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