[发明专利]研磨硅片用夹具

说明书

技术领域

本发明涉及一种夹具，特别涉及一种研磨硅片用夹具，属于硅片加工的技术领域。

背景技术

在硅片加工过程中，将硅棒加工成硅片后，硅片上会产生不规则的形状，为了不影响后续加工的质量，要将该不规则边去除。

传统的去除不规则边的工序是：将硅片用胶粘合在一起，再将不规则边研磨掉。但是将硅片粘合在一起存在以下缺点：

1、尺寸研磨工序结束后，进行表面研磨工序时，要先将粘合在一起的硅片通过溶解或清洗的方法分开，从而，增加了硅片的损坏率。

2、由于硅片是通常胶粘合在一起的，虽然，通过清洗会将胶液去除，但仍会有残余的化合物留存，从而，影响硅片表面的平整度，给下道工序增加难度。

为了解决上述技术问题，近来，出现了一种夹具，该夹具包括定位夹，定位夹内设有夹紧板及锁紧螺杆，锁紧螺杆一端插入定位夹内，并顶在夹紧板上，使用时，将硅片排列整齐的放在空位夹内，调节锁紧螺杆，使夹紧板将硅片夹紧，该夹具解决了上述技术问题，但该夹具是通过锁紧螺杆推动夹紧板，实现硅片夹紧的，使用时，硅片与夹紧板之间没有任何缓冲，研磨过程中，容易使硅片产生损坏。

 

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种结构简单的研磨硅片用夹具，该夹具可避免研磨过程中，硅片的损坏。

为了解决上述技术问题，本发明研磨硅片用夹具，包括定位夹、夹紧装置，定位夹内设有夹紧板，其中，所述夹紧装置包括连接板，所述连接板固定设有所述定位夹内壁上，所述连接板与所述夹紧板相平行，所述连接板与所述夹紧板之间设有至少一个弹簧，所述弹簧两端分别与所述连接板及所述夹紧板固定连接。

上述的研磨硅片用夹具，其中，所述弹簧为碟簧。

本发明可实现以下有益效果：

由于所述夹紧装置包括连接板，所述连接板固定设有所述定位夹内壁上，所述连接板与所述夹紧板相平行，所述连接板与所述夹紧板之间设有至少一个弹簧，所述弹簧两端分别与所述连接板及所述夹紧板固定连接，夹紧板夹紧硅片后，研磨过程中硅片因震动松动时，硅片在弹簧弹力的作用下，自动调节，避免硅片松开，且本发明结构简单。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步说明。

为了解决上述技术问题，本发明研磨硅片用夹具，包括定位夹1，夹紧板2，夹紧装置，定位夹1内设有夹紧板2，所述夹紧装置包括连接板3，所述连接板4固定设有所述定位夹1内壁上，所述连接板3与所述夹紧板2相平行，所述连接板3与所述夹紧板2之间设有弹簧5，所述弹簧5两端分别与所述连接板3及所述夹紧板2固定连接。弹簧5的数量不受限制，可以为一个，两个或多个，根据具体要求进行设计。本实施例中优选弹簧5为碟簧，弹簧5数量为五个，弹簧5分布在连接板的四个角落及中心部位。工作时，将硅片卡在夹紧板与定位夹之间，将弹簧5压紧，通过弹簧5的反作用力，将硅片夹紧。

这里本发明的描述和应用是说明性的，并非想将本发明的范围限制在上述实施例中，因此，本发明不受本实施例的限制，任何采用等效替换取得的技术方案均在本发明保护的范围内。