[发明专利]研磨硅片用夹具无效
| 申请号： | 201210586520.6 | 申请日： | 2012-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN103009240A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 聂金根 | 申请（专利权）人： | 镇江市港南电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/27 | 分类号： | B24B37/27 |
| 代理公司： | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人： | 季萍 |
| 地址： | 212132 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨 硅片 夹具 | ||
【权利要求书】：
1.研磨硅片用夹具，包括定位夹、夹紧装置，定位夹内设有夹紧板，其特征在于，所述夹紧装置包括连接板，所述连接板固定设有所述定位夹内壁上，所述连接板与所述夹紧板相平行，所述连接板与所述夹紧板之间设有至少一个弹簧，所述弹簧两端分别与所述连接板及所述夹紧板固定连接。
2.如权利要求1所述的研磨硅片用夹具，其特征在于，所述弹簧为碟簧。
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