[发明专利]光器件层的移换装置和激光加工机

权利要求书

1.一种光器件层的移换装置，在外延基板的表面隔着缓冲层层叠光器件层而形成光器件晶片，将所述光器件晶片的光器件层隔着接合金属层与移设基板接合而形成复合基板，在从外延基板的背面侧对缓冲层照射激光光线从而破坏缓冲层后，剥离外延基板，由此将光器件层转移设置到移设基板，所述光器件层的移换装置的特征在于，

所述光器件层的移换装置具有：第一保持构件，所述第一保持构件具有用于对复合基板的移设基板侧进行保持的第一保持面；第二保持构件，所述第二保持构件具有与所述第一保持面相对并对复合基板的外延基板侧进行保持的第二保持面；以及分离构件，所述分离构件用于使所述第一保持构件和所述第二保持构件向相对接近和远离的方向移动。

2.根据权利要求1所述的光器件层的移换装置，其中，

所述光器件层的移换装置具有剥离辅助构件，所述剥离辅助构件用于使所述第一保持构件和第二保持构件在与所述第一保持面和第二保持面平行的面内相对移位。

3.一种激光加工机，在外延基板的表面隔着缓冲层层叠光器件层而形成光器件晶片，将所述光器件晶片的光器件层隔着接合金属层与移设基板接合而形成复合基板，对所述复合基板的缓冲层照射激光光线来破坏缓冲层，所述激光加工机的特征在于，

所述激光加工机具有：第一保持构件，所述第一保持构件具有用于对复合基板的移设基板侧进行保持的第一保持面；激光光线照射构件，所述激光光线照射构件用于对由所述第一保持构件保持的复合基板的缓冲层照射激光光线；第二保持构件，所述第二保持构件具备与所述第一保持构件的所述第一保持面相对并对所述复合基板的外延基板侧进行保持的第二保持面；以及分离构件，所述分离构件用于使所述第一保持构件和所述第二保持构件向相对接近和远离的方向移动。

4.根据权利要求3所述的激光加工机，其中，

所述激光加工机具有：复合基板盒工作台，所述复合基板盒工作台用于载置收纳有复合基板的复合基板盒；搬送构件，所述搬送构件用于将载置在所述复合基板盒工作台上的复合基板盒中所收纳的复合基板搬送到所述第一保持构件；以及定位构件，所述定位构件用于将所述第二保持构件定位到所述第一保持构件的被加工物搬入搬出位置以及载置外延基板盒的外延基板盒载置部。