[发明专利]一种导电光刻胶及使用该导电光刻胶的OLED电极及制造方法有效

专利信息
申请号: 201210385363.2 申请日: 2012-10-12
公开(公告)号: CN102929101A 公开(公告)日: 2013-02-13
发明(设计)人: 邱勇;沈波涛;王龙;甘帅燕 申请(专利权)人: 昆山维信诺显示技术有限公司;清华大学;北京维信诺科技有限公司
主分类号: G03F7/004 分类号: G03F7/004;G03F7/016;G03F7/008;G03F7/00;G03F7/16;H01L51/52;H01L51/54;H01L51/56
代理公司: 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 代理人: 寇海侠
地址: 215300 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 导电 光刻 使用 oled 电极 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种导电光刻胶,其特征在于,所述导电光刻胶包括:

a)电阻率小于10×10-8Ω·m的导电介质,其质量百分含量为50%-70%;

b)成膜树脂,其质量百分含量为15%-25%;

c)光敏剂,其质量百分含量为1%-5%;

d)溶剂,其质量百分含量为10%-25%;

e)添加剂,其质量百分含量0-5%。

2.根据权利要求1所述的导电光刻胶,其特征在于,所述导电介质为导电金属粒子或者导电合金粒子。

3.根据权利要求2所述的导电光刻胶,其特征在于,所述导电介质为银粒子,其粒径在0.05-1.5μm。

4.根据权利要求1或2或3所述的导电光刻胶,其特征在于,所述成膜树脂为热塑性树脂;所述光敏剂为芳香族酮类衍生物或安息香醚类衍生物;所述溶剂为高沸点有机溶剂;所述添加剂包括流平剂、增稠剂和消泡剂中的至少一种。

5.一种OLED电极,包括电极和电极引线,所述电极与所述电极引线相连接,其特征在于,所述电极引线部分包括ITO层,以及覆盖在ITO层上的如权利要求1-4任一所述的导电光刻胶形成的涂层。

6.根据权利要求5所述的OLED电极,其特征在于,所述导电光刻胶层的厚度为1-10μm。

7.根据权利要求6所述的OLED电极,其特征在于,所述导电光刻胶层的厚度为4μm。

8.一种OLED电极的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:

S1:采用光刻工艺,在ITO基板上制备出电极和电极引线的图形;

S2:清洗;

S3:在基板带有电极的一面上涂布一层如权利要求1-4任一所述的导电

光刻胶,制备覆盖所述电极引线层的导电光刻胶层;

S4:前烘、干燥;

S5:利用掩膜紫外曝光、显影形成电极引线图案;

S6:后烘、固化。

9.根据权利要求8所述的OLED电极的制备方法,其特征在于,所述步骤S3中所述导电光刻胶层采用的涂布方法为狭缝涂布。

10.根据权利要求8或9所述的OLED电极的制备方法,其特征在于,所述步骤S3中所述导电光刻胶层的厚度为4μm。

11.根据权利要求8-10任一所述的OLED电极的制备方法,其特征在于,所述步骤S6中后烘的温度范围为130℃-250℃。

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