[发明专利]一种导电光刻胶及使用该导电光刻胶的OLED电极及制造方法有效
申请号: | 201210385363.2 | 申请日: | 2012-10-12 |
公开(公告)号: | CN102929101A | 公开(公告)日: | 2013-02-13 |
发明(设计)人: | 邱勇;沈波涛;王龙;甘帅燕 | 申请(专利权)人: | 昆山维信诺显示技术有限公司;清华大学;北京维信诺科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/016;G03F7/008;G03F7/00;G03F7/16;H01L51/52;H01L51/54;H01L51/56 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 寇海侠 |
地址: | 215300 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 导电 光刻 使用 oled 电极 制造 方法 | ||
1.一种导电光刻胶,其特征在于,所述导电光刻胶包括:
a)电阻率小于10×10-8Ω·m的导电介质,其质量百分含量为50%-70%;
b)成膜树脂,其质量百分含量为15%-25%;
c)光敏剂,其质量百分含量为1%-5%;
d)溶剂,其质量百分含量为10%-25%;
e)添加剂,其质量百分含量0-5%。
2.根据权利要求1所述的导电光刻胶,其特征在于,所述导电介质为导电金属粒子或者导电合金粒子。
3.根据权利要求2所述的导电光刻胶,其特征在于,所述导电介质为银粒子,其粒径在0.05-1.5μm。
4.根据权利要求1或2或3所述的导电光刻胶,其特征在于,所述成膜树脂为热塑性树脂;所述光敏剂为芳香族酮类衍生物或安息香醚类衍生物;所述溶剂为高沸点有机溶剂;所述添加剂包括流平剂、增稠剂和消泡剂中的至少一种。
5.一种OLED电极,包括电极和电极引线,所述电极与所述电极引线相连接,其特征在于,所述电极引线部分包括ITO层,以及覆盖在ITO层上的如权利要求1-4任一所述的导电光刻胶形成的涂层。
6.根据权利要求5所述的OLED电极,其特征在于,所述导电光刻胶层的厚度为1-10μm。
7.根据权利要求6所述的OLED电极,其特征在于,所述导电光刻胶层的厚度为4μm。
8.一种OLED电极的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
S1:采用光刻工艺,在ITO基板上制备出电极和电极引线的图形;
S2:清洗;
S3:在基板带有电极的一面上涂布一层如权利要求1-4任一所述的导电
光刻胶,制备覆盖所述电极引线层的导电光刻胶层;
S4:前烘、干燥;
S5:利用掩膜紫外曝光、显影形成电极引线图案;
S6:后烘、固化。
9.根据权利要求8所述的OLED电极的制备方法,其特征在于,所述步骤S3中所述导电光刻胶层采用的涂布方法为狭缝涂布。
10.根据权利要求8或9所述的OLED电极的制备方法,其特征在于,所述步骤S3中所述导电光刻胶层的厚度为4μm。
11.根据权利要求8-10任一所述的OLED电极的制备方法,其特征在于,所述步骤S6中后烘的温度范围为130℃-250℃。
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