[发明专利]载置台构造以及处理装置

权利要求书

1.一种载置台构造，其设置在能够排出内部气体的处理容器内，用于载置被处理体，其特征在于，具备：

载置台，其载置上述被处理体，且由电介质构成；

加热单元，其设于上述载置台，对载置于上述载置台的上述被处理体进行加热；

由电介质构成的多个保护支柱管，它们以相对于上述处理容器的底部竖立的方式设置，上端部与上述载置台的下表面接合来支承上述载置台；

功能棒体，其插在上述各保护支柱管内并延伸到上述载置台，

在上述载置台上形成销插通孔，以便插通用于升降上述被处理体的推升销，

在上述销插通孔连结有销插通孔用吹扫气体供给单元，该销插通孔用吹扫气体供给单元具有从上述处理容器的外部向该销插通孔供给销插通孔用吹扫气体的销插通孔用气体通路，

上述保护支柱管作为上述销插通孔用通路的一部分，使从上述处理容器的外部供给的销插通孔用吹扫气体流通。

2.根据权利要求1所述的载置台构造，其特征在于，

上述载置台具有：载置台主体；和设置在上述载置台主体的上表面、由与形成上述载置台主体的电介质不同的不透明的电介质构成的热扩散板，

上述载置台主体和上述热扩散板，借助由陶瓷材料构成的载置台螺栓能自由拆装地被连结起来，

上述销插通孔，在上述载置台螺栓的长度方向上贯通该载置台螺栓地形成。

3.根据权利要求1所述的载置台构造，其特征在于，

在上述载置台螺栓上形成有销插通孔用气体喷射孔，其将上述销插通孔与上述销插通孔用气体通路之间连通。

4.根据权利要求3所述的载置台构造，其特征在于，

上述销插通孔用气体喷射孔，形成于上述载置台螺栓的长度方向的中心的上方。

5.根据权利要求2所述的载置台构造，其特征在于，

在上述载置台主体上设有上述载置台螺栓插通的主体侧螺栓孔，在上述载置台螺栓与上述主体侧螺栓孔之间，形成有使销插通孔用吹扫气体流通的螺栓周围间隙。

6.根据权利要求5所述的载置台构造，其特征在于，

上述销插通孔用气体通路具有用于贮留销插通孔用吹扫气体的气体贮留空间，该气体贮留空间形成于上述载置台主体与上述热扩散板之间。

7.根据权利要求6所述的载置台构造，其特征在于，

上述气体贮留空间，延伸到设置上述各载置台螺栓的位置的半径方向外侧。