[发明专利]侧翻式机械手

说明书

技术领域

本发明涉及一种机械手，特别是涉及一种侧翻式机械手。

背景技术

目前，侧翻式机械手末端主要采用气缸夹紧、电机经过带轮减速后与旋转轴相连接的结构形式，气缸的初始位置是缩进，卡爪也随之处于退回位置，抓取晶圆片时，卡爪随气缸伸出，夹紧晶圆片，然后电机带动旋转轴一起转动，晶圆由于受到卡爪的夹紧力因而不会掉落。

这种结构的缺点是电机传动部分、气动相关部件占用很大空间，而且增加了侧翻式机械手末端的质量，一般在3kg左右，严重影响了手臂运行时的平稳性以及手指的定位精度；同时该结构形式复杂，零部件数量较多，经济性不好。

发明内容

鉴于以上内容，有必要提供一种通过电机直接驱动旋转轴的侧翻式机械手。

一种侧翻式机械手，包括有壳体、电机、旋转轴及用以抓取晶圆片的手指，所述手指直接固定在旋转轴上，所述电机固定在所述壳体内并具有转动轴，所述旋转轴安装在壳体的一端且与所述转动轴固定一起，所述电机在驱使转动轴转动时能够带动旋转轴转动。

在一实施方式中，所述旋转轴与转动轴是通过键固定一起。

在一实施方式中，所述手指与旋转轴各开设有气路通道，所述手指的气路通道与所述旋转轴的气路通道气路连接，且所述旋转轴的气路通道与一个直通相连，所述直通位于所述壳体外部，用以连接一个气管。

在一实施方式中，所述手指与旋转轴各开设有气路通道，所述手指的气路通道与所述旋转轴的气路通道气路连接，且所述旋转轴的气路通道通过一个弯头与一条盘绕在所述壳体内的气管相连，所述弯头位于所述壳体内部。

在一实施方式中，所述手指是通过所述气路通道而使其能够将晶圆片牢牢吸附住。

在一实施方式中，所述壳体包括有用以收容电机的本体，所述本体的前端固定有安装板，所述旋转轴通过滚动轴承与所述安装板转动固定一起。

在一实施方式中，所述旋转轴的后端固定有轴端压紧环，所述轴端压紧环位于所述壳体内并抵靠在所述滚动轴承上。

在一实施方式中，所述壳体还包括有端盖，所述端盖固定在所述安装板的前端，并套在所述旋转轴，所述旋转轴上套设有旋转弹簧张力密封圈，用以密封所述安装板与所述旋转轴之间的间隙，所述端盖抵靠在所述旋转弹簧张力密封圈的前端上，用以阻旋转弹簧张力密封圈脱离旋转轴。

在一实施方式中，所述旋转弹簧张力密封圈位于所述端盖与所述滚动轴承之间。

在一实施方式中，所述侧翻式机械手还包括底座，所述壳体固定在底座上，所述底座上设有用以调平的螺丝。

与现有技术相比，在上述侧翻式机械手中，通过电机能够直接驱动旋转轴，以带动手指完成侧翻，从而使手指在侧翻时更平稳性、定位精度也更高，另外，上述侧翻式机械手由于零部件数量较少，因此成本较低、经济性好。

附图说明

图1是本发明侧翻式机械手的一较佳实施方式的一主视图。

图2是图1的俯视图。

图3是图1的左视图。

图4是图1的剖视图。

图5是本发明侧翻式机械手的另一较佳实施方式的一剖视图。

主要元件符号说明