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[发明专利]一种防着板结构的加工方法-CN201110000511.X有效
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;范文新 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2011-01-04 - 公布日： 2011-05-25 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：一种防着板结构的加工方法，所述方法包括：提供防着板毛坯；对所述防着板进行毛坯下料；粗铣防着板两表面；然后精铣防着板的防着面；在防着板的防着面加工形成凹凸不平结构，所用加工工具为球头铣刀。本发明采用的加工方法解决了防着板的防着面的凹凸不平结构不整齐，容易变形的问题，加工后获得的防着板的防着面的凹凸不平结构均匀，尺寸精度较高，表面光洁度较好。
一种防着板结加工方法

[发明专利]一种防着板表面处理方法-CN201010527225.4有效
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;陈玉蓉 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2010-10-29 - 公布日： 2011-04-13 - 主分类号： C23C4/12 文献下载
摘要：一种防着板表面处理方法，所述方法包括：提供表面光滑的防着板；对所述防着板的防着面进行图案化处理，形成凹凸不平的防着面；在所述防着面进行喷砂处理；将进行喷砂处理后的防着面进行熔射处理。在光滑的防着板的表面进行图案化、喷砂和熔射处理后，使得防着板表面达到防腐蚀、防锈、耐磨、润滑、表面粗糙化、吸附、绝缘、绝热等目的。同样可以使得防着板的防着面达到均匀的粗糙度；使得防着板更加容易吸附靶材原子或大尺寸的颗粒，使其不掉落在基片上，从而增加了防着板的沉淀能力，提高溅射机内壁清洁度；提高了溅镀的成膜率；延长了防着板的使用寿命
一种防着表面处理方法

[实用新型]一种真空溅镀用新型防着板-CN202222738859.5有效
发明人：李婷 -专利权人：苏州普瑞赛光电科技有限公司
申请日： 2022-10-18 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空溅镀用新型防着板，包括防着基板，防着基板内部一侧开设有凹槽，凹槽内部通过弹簧弹性滑动设置有支撑板，防着基板一侧开设有通孔，通孔内插设有防着凸板，且多个防着凸板垂直安装在支撑板一侧，防着基板一侧安装有下支架，下支架中部安装有调节螺栓，且支撑板一侧通过调节螺栓进行调节限位，防着凸板一端设置有尖端，且尖端内部开设有散热孔，本实用新型通过防着基板内部弹性插设有的防着凸板和支撑板，且支撑板一侧通过调节螺栓进行调节限位，使得通过旋转调节螺栓，能够调节防着凸板的凸出高度，从而满足不同凹凸程度的防着基板一侧防着使用处理，有利于提高防着的效率。
一种真空溅镀用新型防着

[发明专利]一种氧化铟锡防着板表面处理方法-CN202211171549.8在审
发明人：张炎 -专利权人：苏州佰圣康精密机械有限公司
申请日： 2022-09-26 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种氧化铟锡防着板表面处理方法，包括以下六个步骤：氧化铟锡毛坯板处理、待加工板校正、防着面粗铣加工、防着面精铣加工、防着面结构加工和喷砂熔射处理。通过对防着板表面进行刻蚀凹槽，使得防着板表面粗糙化；将表面凹凸的防着板表面进行喷砂处理，可以使得防着板表面形成均匀的粗糙度；将喷砂后的防着板表面进行熔射处理，除了形成更均匀的粗糙度之外，还增加了防着板的耐腐蚀性，通过对氧化铟锡防着板的加工部位进行多次校正，且校正周期短，氧化铟锡防着板使得应力释放完全，能保证产品加工后的平行度与平面度保持一致性与稳定性，提高防着板加工效率，符合生产要求。
一种氧化防着表面处理方法

[发明专利]一种防着板花纹加工方法-CN202211312533.4在审
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;李炀 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-10-25 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： B23D7/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种防着板花纹加工方法，将待加工防着板固定后，依次对所述待加工防着板进行粗刨削与精刨削，加工得到防着板花纹，不仅可以控制刨削的精度为IT9～IT8，刨削后防着板的表面粗糙度为0.4～1.6μm，直线度可达0.02mm/m，还可以加工大尺寸的防着板，节省设备成本，节约单个防着板的加工时间，减小对刀具的损坏，增加防着板的吸附面积，提高防着板的使用寿命。
一种防着花纹加工方法

[实用新型]一种用于真空溅射镀膜的改良防着板-CN201921763668.6有效
发明人：梅德忠 -专利权人：苏州德润达电子科技有限公司
申请日： 2019-10-21 - 公布日： 2020-07-03 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于真空溅射镀膜的改良防着板，包括防着板本体，上层防着面和下层防着面，所述上层防着面设于防着板本体的上表面，所述下层防着面设于防着板本体的下表面，所述上层防着面和下层防着面由若干防着块和沉积流道组成，所述防着块为梯形块结构，相邻两个防着块中心间距为5‑10mm，相邻两个防着块之间的沉积流道宽为2‑5mm，所述防着块的斜面倾角为45°‑80°，所述防着板本体侧面设有安装孔，所述防着板本体上表面及下表面设有加厚层本实用新型的优点在于：采用双层防着面增加了防着板的沉淀能力，同时在安装孔位处设有加厚层，防止在几次清洗防着板后安装孔不可用，提高其使用寿命。
一种用于真空溅射镀膜改良防着

[发明专利]一种防着板切换溅镀机构-CN201810863311.9在审
发明人：孙建忠 -专利权人：苏州康普雷森精密机械有限公司
申请日： 2018-08-01 - 公布日： 2018-11-02 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种防着板切换溅镀机构，包含机架，机架内设有溅镀源、输送台和工作台，工作台设置在输送台上，溅镀源设置在工作台的上方，输送台的两侧均设置有防着板组件；所述防着板组件包含防着板、旋转支架和托架；所述防着板沿竖向设置，防着板的上下两侧均设置有弯折部，两侧的弯折部相互对称；所述旋转支架水平设置，旋转支架与防着板的后侧配合；所述托架设置在防着板的下侧，托架与下侧的弯折部配合；由于飞溅出的靶材大多沉积在防着板的中下部，因此，长时间使用后，可沿旋转支架将防着板上下换位，使防着板上下都可以较为均匀的接受靶材，减少防着板拆换清理的频率，从而降低了成本，节省了人力。
防着板旋转支架弯折部工作台托架溅镀源输送台靶材溅镀上下两侧竖向设置水平设置飞溅拆换沉积对称换位配合

[实用新型]一种防着板切换溅镀机构-CN201821230255.7有效
发明人：孙建忠 -专利权人：苏州康普雷森精密机械有限公司
申请日： 2018-08-01 - 公布日： 2019-05-07 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种防着板切换溅镀机构，包含机架，机架内设有溅镀源、输送台和工作台，工作台设置在输送台上，溅镀源设置在工作台的上方，输送台的两侧均设置有防着板组件；所述防着板组件包含防着板、旋转支架和托架；所述防着板沿竖向设置，防着板的上下两侧均设置有弯折部，两侧的弯折部相互对称；所述旋转支架水平设置，旋转支架与防着板的后侧配合；所述托架设置在防着板的下侧，托架与下侧的弯折部配合；由于飞溅出的靶材大多沉积在防着板的中下部，因此，长时间使用后，可沿旋转支架将防着板上下换位，使防着板上下都可以较为均匀的接受靶材，减少防着板拆换清理的频率，从而降低了成本，节省了人力。
防着板旋转支架弯折部工作台托架溅镀源输送台靶材溅镀本实用新型上下两侧竖向设置水平设置飞溅拆换沉积对称换位配合

[发明专利]一种溅射机-CN201611254636.4有效
发明人：张毅 -专利权人：武汉华星光电技术有限公司
申请日： 2016-12-30 - 公布日： 2019-04-30 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开一种溅射机，其中，所述溅射机的腔体内设有：中央防着板，其两侧分别设有侧边防着板，所述侧边防着板与所述中央防着板间隔设置；条形靶，其设置在所述侧边防着板远离所述中央防着板的一侧，所述侧边防着板靠近所述条形靶的侧面上开有凹槽本发明的溅射机结构简单，能够防止喷射腔室内存在颗粒，通过在侧边防着板上开有凹槽，还能有效防止侧边防着板与中央防着板之间的间距变小而导致异常放电的发生，异常放电将侧边防着板表面的铝熔射层溅出，而污染氧化铟锡膜层
溅射机边防防着板氧化铟锡膜层异常放电防止污染间隔设置板表面喷射腔熔射层有效地变小溅出体内室内侧面污染

[实用新型]防着板、防着板-靶材组件及等离子体溅射设备-CN201220632542.7有效
发明人：赵欣凯;刘勃;李胜斌;李正勋;金相起;车奉周;刘占伟 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司
申请日： 2012-11-26 - 公布日： 2013-06-19 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型提供一种防着板、防着板-靶材组件及等离子体溅射设备，属于等离子技术领域，其可解决现有的防着板和防着板-靶材组件的导致非侵蚀区域较大，防着板需要频繁更换的问题。本实用新型的防着板包括用于遮挡靶材上表面边缘的突出部。本实用新型的防着板能够防止ITO粉尘回落到靶材上；同时，防着板能减少靶材的非侵蚀区域，延长了防着板的更换周期，从而减少镀膜工艺中形成颗粒和缺陷，防止镀膜的良品率下降。
防着组件等离子体溅射设备

[发明专利]防着板及物理气相沉积设备-CN201810463698.9在审
发明人：胡小波 -专利权人：深圳市华星光电技术有限公司
申请日： 2018-05-15 - 公布日： 2018-09-28 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供一种防着板及物理气相沉积设备。本发明的防着板包括支撑架及能转动设于支撑架上的多条防着条，所述多条防着条能组合形成一个防着面，所述多条防着条转动后能组合形成另一个防着面，当一个防着面沉积膜层较厚时可以翻转使用另一个防着面，防止沉积膜层过厚造成脱落或颗粒污染，保证沉积效果，可提高防着板使用寿命，应用于物理气相沉积设备还可减少防着板的更换和清洗工序，提高设备的稼动率。
防着板物理气相沉积设备沉积膜层支撑架转动颗粒污染清洗工序使用寿命翻转稼动率沉积应用保证

[实用新型]一种可拆分式蒸镀机防着板-CN202222225016.5有效
发明人：刘炜 -专利权人：上海拓赛半导体材料有限公司
申请日： 2022-08-24 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及蒸镀机领域，具体涉及一种可拆分式蒸镀机防着板，其技术方案是：包括蒸镀源与第一防着板，蒸镀源左右两侧对称设置有固定板，还包括第一拆装机构、电动升降杆、第二拆装机构、第二防着板与第三防着板，所述第一防着板与第二防着板均通过第一拆装机构连接在固定板顶部，所述第一防着板与第二防着板的相对面相贴合，所述电动升降杆固定连接在固定板侧部，所述第三防着板通过第二拆装机构连接在电动升降杆顶部，本实用新型的有益效果是：在延长防着板的使用周期的同时，能够使得防着板正反面均可被利用
一种拆分式蒸镀机防着

[发明专利]一种防着组件以及蒸镀设备-CN201910137494.0有效
发明人：金明洙;曾利 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;绵阳京东方光电科技有限公司
申请日： 2019-02-25 - 公布日： 2021-01-22 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及显示技术领域，公开了一种防着组件以及蒸镀设备，该防着组件包括用于防止坩埚喷嘴被堵塞的主防着板，主防着板朝向坩埚喷嘴的一侧表面为开口朝向坩埚喷嘴的凹面。在使用上述主防着组件时，主防着板的凹面开口朝向坩埚喷嘴、用以防止坩埚喷嘴被堵塞。由于主防着板朝向坩埚喷嘴的一侧表面为凹面，则凹形结构增大了主防着板朝向坩埚喷嘴一侧的表面积，使得单位时间内，主防着板朝向坩埚喷嘴一侧形成的附着层在主防着板正对坩埚喷嘴的中部积累量减少，可有效削弱防着板上材料剥落
一种防着组件以及设备

[实用新型]一种防着板固定装置-CN202222892168.0有效
发明人：张炎 -专利权人：苏州佰圣康精密机械有限公司
申请日： 2022-11-01 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种防着板固定装置，包括防着板固定框体和防着板，所述防着板固定框体的内部设有可折叠内框，所述可折叠内框的内框边侧设有防滑条，所述可折叠内框内的底部设有拆装槽，所述拆装槽的内部的前端设有固定销柱该实用新型中在防着板固定框体的内部设有可折叠内框，且可折叠内框是通过固定铰链连接，通过固定铰链可以将可折叠内框的顶部旋转，使底部与防着板固定框体分离打开，将防着板从拆装槽内抽出，再将新的防着板更换，通过可折叠内框可以将防着板的四个边进行锁定，使防着板与内腔贴合更平整，防着板更换，只需将可折叠内框打开或关闭操作，操作步骤简单，不需要借助工具，单人操作。
一种防着固定装置

[发明专利]防着板以及溅射装置-CN201810328992.9在审
发明人：胡小波 -专利权人：深圳市华星光电技术有限公司
申请日： 2018-04-13 - 公布日： 2018-08-10 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种防着板以及溅射装置。该防着板包括防着母板以及设置在所述防着母板上的冷却结构；所述冷却结构，用于在所述防着母板的温度大于预设温度时，降低所述防着母板的温度。该方案通过在防着母板上设置冷却结构，将防着母板的温度控制在一定温度范围内，提高了溅射效率。
母板冷却结构防着板溅射装置溅射预设

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