|
钻瓜专利网为您找到相关结果 5672348个,建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]OPC建模过程中调整数据权重的方法-CN202211049648.9在审
-
夏禹
-
上海华力集成电路制造有限公司
-
2022-08-30
-
2023-04-11
-
G03F7/20
- 本发明提供一种OPC建模过程中调整数据权重的方法,获取晶圆的ADI关键尺寸数据,根据ADI关键尺寸生成第一数据文件;根据数据文件形成多个量测点,量测点用于形成opc模型,设置每个量测点的权重设置规则;根据权重设置规则设置每个量测点的初始权重,之后进行光学模拟形成opc模型;根据权重设置规则调整每个量测点的权重,根据调整后的权重形成第二数据文件;根据第二数据文件迭代opc模型;重复执行上述的方法迭代opc模型至其边缘放置误差满足目标值。本发明通过事先设置的权重设置规则自动遍历数据文件,修改权重后输出新的数据文件进行下一步的拟合优化;从而缩短了建模时间,并且避免了由于手动调整引起的错误。
- opc建模过程调整数据权重方法
|