专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]湿蚀刻清洗机台自动紧急补水系统-CN200610118341.4有效
  • 刘伟;邵业明 - 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
  • 2006-11-15 - 2008-05-28 - B08B3/00
  • 本发明公开一种湿蚀刻清洗机台自动紧急补水系统,其包括提供超纯水超纯水供应装置,与超纯水供应装置输出端串连的常闭阀门,与常闭阀门输出端串连的蚀刻槽;该系统还包括一个与常闭阀门并联的常开阀门,其输入端连接到超纯水供应装置的输出端与现有技术相比,本发明的系统在断电的情况下,当晶圆在蚀刻槽内蚀刻的时间超过预定时间,常开阀门就会开启,超纯水经由常开阀门,漏液探测器,单向阀门注入蚀刻槽内,从而有效防止断电情况下超纯水不能及时注入蚀刻槽而造成晶圆报废
  • 蚀刻清洗机台自动紧急水系
  • [发明专利]短流程超纯水制造系统-CN202110332725.0有效
  • 高永钢;史志伟;杨阳;苏成龙;王鹏;李开明 - 北京中科瑞升资源环境技术有限公司
  • 2021-03-26 - 2021-12-21 - C02F9/10
  • 本申请涉及超纯水提取技术领域,尤其是涉及一种短流程超纯水制造系统。一种短流程超纯水制造系统,包括中空纤维纳滤膜处理单元以及真空多效膜蒸馏处理单元;中空纤维纳滤膜处理单元用于对原水纳滤处理;中空纤维纳滤膜处理单元的出水端与真空多效膜蒸馏处理单元的进水端连通,真空多效膜蒸馏处理单元用于对纳滤处理后的水进行蒸馏处理以获取到超纯水本申请提供的超纯水制造系统整体结构简单,流程短,方便维护且成本低;超纯水的产水率较高,水质更好更稳定;减少固体危废和液体危废的排放量,更加环保节能。
  • 流程超纯水制造系统
  • [实用新型]超纯水制备系统-CN201520709980.2有效
  • 李文灿;宁贵勇;杨勇;张量;张秀峰;曾威;吕剑明 - 珠海格力电器股份有限公司
  • 2015-09-14 - 2016-02-24 - C02F9/02
  • 本实用新型涉及一种超纯水制备系统,所述超纯水制备系统包括依次相连接的前置过滤器、一级过滤装置、二级过滤装置、三级过滤装置和EDI超纯水模块,其中,所述一级过滤装置包括超滤组件;二级过滤装置包括反渗透膜组件本实用新型提供的超纯水制备系统设置有多级过滤装置,多级过滤装置设置合理,其制备的超纯水无杂质、细菌、病毒、有机物等污染离子,水质电阻率达到大于15ΜΩ以上,水质满足尿素溶液的各项技术指标要求,可根据车用尿素溶液的输出容量要求,现场源源不断制备超纯水
  • 超纯水制备系统
  • [实用新型]一种生成低电阻率超纯水的装置-CN202023220606.6有效
  • 蒋新;李晓波;施利君;宋金林 - 苏州晶洲装备科技有限公司
  • 2020-12-28 - 2021-09-10 - C02F9/04
  • 本实用新型涉及一种生成低电阻率超纯水的装置,包括二氧化碳供给管路、超纯水供给管路、二氧化碳溶解装置,其中,所述二氧化碳溶解装置包括密闭的壳体、设置在壳体内的纤维膜管以及设置在壳体上的二氧化碳进口、二氧化碳出口、纯水进口、纯水出口,二氧化碳进口与二氧化碳出口与所述壳体导通,所述纯水进口与纯水出口与所述纤维膜管的两端分别连接导通,所述二氧化碳供给管路与所述二氧化碳进口相连,所述超纯水供给管路与所述纯水进口相连。本申请能够有效地将二氧化碳溶解于超纯水中,并能精确控制超纯水的电阻率,保证超纯水电阻率的高稳定性,从而确保最终产品的良品率。
  • 一种生成电阻率超纯水装置
  • [实用新型]一种超纯水系统-CN202021148507.9有效
  • 王祥 - 王祥
  • 2020-06-19 - 2021-03-05 - C02F9/08
  • 本实用新型提供一种超纯水系统,其包括通过管道依次连通的PP棉过滤器、软化树脂过滤器、活性炭过滤器、进水电磁阀、增压泵、反渗透膜过滤器、紫外线杀菌器、超纯化树脂柱和UF超滤膜,PP棉过滤器的进水管道上设有水质检测仪一,纯水出水管道上设有纯水取水阀,还设有检测纯水的水质检测仪二,反渗透膜过滤器的废水出口与废水排出管道连通且废水排出管道上设废水排放阀,UF超滤膜的出水口与超纯水出水管道连通,超纯水出水管道上设有水质检测仪三和超纯水取水阀优点为,具有进水、纯水超纯水的多路水质检测,有利于系统稳定运行和保证取用水的水质达到相应标准;可实现根据需要灵活取用纯水超纯水的功能,适用性好。
  • 一种超纯水系统
  • [发明专利]一种微波制备低钠煤的方法-CN201710043934.7在审
  • 张守玉;江锋浩;黄小河;李昊;张一帆;王才威 - 上海理工大学
  • 2017-01-19 - 2017-05-24 - C10L5/04
  • 本发明提供了一种微波制备低钠煤的方法,用于降低高钠煤中的钠含量,具有这样的特征,包括步骤一,将高钠煤进行粉碎,得到颗粒状的高钠煤;步骤二,按一定重量比向颗粒状的高钠煤里加入超纯水进行润湿,得到润湿煤,一定重量比为将润湿煤放入微波炉中,在400~1000W的加热功率下,将润湿煤加热至100~350℃并恒温300~3600s;步骤四,将微波处理过的润湿煤冷却至10~30℃,得到微波脱钠煤;步骤五,按一定重量比向微波脱钠煤中加入超纯水,对微波脱钠煤进行水洗并不断搅拌,水洗时间为60~3600s,一定重量比0.01~0.2;步骤六,水洗结束后进行固液分离,分离后的固体为提质煤;以及步骤七,将提质煤进行热风干燥处理,得到低钠煤。
  • 一种微波制备低钠煤方法
  • [发明专利]一种半导体设备的水路系统和水路气泡消除方法-CN202310725584.8在审
  • 万亿;尹艳超;吴凤丽;张艳娟;张佳琦 - 拓荆科技(上海)有限公司
  • 2023-06-16 - 2023-08-11 - B01D19/00
  • 水路系统包括:水路输送管路,其两端分别连接提供超纯水的厂务端和使用超纯水的反应腔室,水路输送管路的内部包括多个气泡监测装置,用以检测输送的超纯水中的原始气泡含量;第一气泡析出装置,设置于水路输送管路中,根据原始气泡含量,对超纯水进行一级气泡析出,获得第一气泡含量;第二气泡析出装置,设置于脱气腔室的下方,根据第一气泡含量,对流经脱气腔室的超纯水进行二级气泡析出,获得第二气泡含量;以及脱气腔室,基于第二气泡含量,调整对超纯水的脱气速率。本发明能够降低供水端到反应腔之间的长距离传输水路中的气泡含量,保证进入反映腔的超纯水纯度,提升湿氧工艺效果。
  • 一种半导体设备水路系统气泡消除方法

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