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- [实用新型]萃取装置-CN99224988.0无效
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吴士杰
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吴士杰
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1999-09-03
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2000-08-30
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B01D11/00
- 该萃取装置包括萃取液贮槽、管路、超临界状态发生器和萃取器。其要点是用超临界状态发生器取代现有的萃取装置中的高压泵。超临界状态发生器由圆柱形发生器壳体和加热水套构成,加热水套套装在圆柱形发生器壳体上。超临界状态发生器通过管路分别与萃取液贮槽和萃取器连接。本实用新型由于去掉了高压泵,大幅度降低了产品的生产成本,且使用方便。
- 萃取装置
- [发明专利]色谱仪-CN201810155318.5有效
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服部考成
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株式会社岛津制作所
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2018-02-23
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2021-10-08
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G01N30/02
- 在色谱仪(1)中，在将色谱柱内的液体置换成超临界状态的二氧化碳时，通过流量控制部(432)控制第1泵的动作，以恒定压力供给超临界状态的二氧化碳。因此，在将色谱柱内的液体置换成超临界状态的二氧化碳时，能够抑制对色谱柱施加过量的压力。另外，流量控制部(432)控制第1泵(3)的动作，以使得其后当超临界状态的二氧化碳的流量达到规定的流量时，以恒定流量供给超临界状态的二氧化碳。因此，能够使在色谱仪(1)中用于供给超临界状态的二氧化碳的动作自动化，能够提高用户的操作性。
- 色谱仪
- [发明专利]基板处理方法及基板处理装置-CN202180021242.7在审
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山口侑二
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株式会社斯库林集团
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2021-01-13
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2022-12-06
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H01L21/304
- 在超临界干燥处理中，一边防止因气液界面的产生而引起的基板的污染，一边通过处理流体以较高的置换效率置换附着于基板的液体。为了该目的，本发明的基板处理方法具备如下步骤：第一步骤(步骤S104)，对收容基板的腔室内导入气相的处理流体；第二步骤(步骤S105)，使腔室内的处理流体自气相不经由液相而变化为超临界状态；第三步骤(步骤S106)，使腔室内的处理流体自超临界状态变化为液相；第四步骤(步骤S107)，使腔室内的处理流体自液相变化为超临界状态；及第五步骤(步骤S108)，使腔室内的处理流体自超临界状态不经由液相而变化为气相并自腔室排出
- 处理方法装置
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